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광을 조사하는 광원을 포함한 광원부;샘플이 배치된 샘플 스테이지;상기 광을 수신하여 광신호를 검출하는 광검출기를 포함한 광검출부; 상기 광원으로부터의 광이 샘플로 진행하는 광경로 상에 위치하는 패터닝부 - 상기 패터닝부는 미리 설정된 패턴으로 광을 패터닝하도록 구성됨; 및검출된 광신호에 기초하여 상기 샘플에 대한 사영 영역을 산출하고, 상기 사영 영역의 높이를 샘플의 높이로 결정하는 데이터 처리 장치를 포함하되,상기 광검출기에 의해 수신되는 광은 상기 샘플의 주위를 지나친 광, 또는 상기 샘플을 불완전 통과한 광을 포함하는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 광검출부는,상기 광검출기의 일 단면에 대하여 상기 샘플에 의한 사영 영역의 높이가 변하도록 구성되는 연결부를 더 포함하는 높이 측정 시스템
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제2항에 있어서,상기 데이터 처리 장치는 하나 이상의 사영 영역의 높이를 산출한 경우, 최대 값을 샘플의 높이로 결정하도록 더 구성되는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 샘플 스테이지는 상기 광원과 광검출기 사이의 광 경로에 평행하게 위치하는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는,상기 샘플 스테이지의 위치를 샘플 높이 측정의 기준으로 설정하도록 더 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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광을 조사하는 광원을 포함한 광원부;샘플이 배치된 샘플 스테이지;상기 광을 수신하여 광신호를 검출하는 광검출부; 및검출된 광신호에 기초하여 상기 샘플에 대한 사영 영역을 산출하고, 상기 사영 영역의 높이를 샘플의 높이로 결정하는 데이터 처리 장치를 포함하되,상기 데이터 처리 장치는,상기 샘플 스테이지의 위치를 샘플 높이 측정의 기준으로 설정하고, 미리 저장된 참조 테이블에 기초하여 측정된 샘플의 높이를 보정하도록 더 구성되며,상기 광검출부에 의해 수신되는 광은 상기 샘플의 주위를 지나친 광, 또는 상기 샘플을 불완전 통과한 광을 포함하고, 상기 참조 테이블은 높이 정보가 미리 알려진 참조 샘플에 대한 측정 결과를 포함한 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는,상기 미리 설정된 패턴과 검출된 광신호에 기초하여 샘플의 높이를 측정하도록 더 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는,상기 검출된 광신호의 세기에 기초하여 사영 영역을 산출하도록 더 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 광원부는,상기 상기 광원으로부터의 광이 샘플로 진행하는 광경로 상에 위치하는 필터를 더 포함하되, 상기 필터는 출력광의 파장이 입력광의 파장 보다 낮도록 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 광원부는 상기 광원과 샘플 스테이지 사이의 광 경로 상에 위치하는 제1 렌즈를 더 포함하고, 상기 광검출부는 상기 샘플 스테이지와 광검출기 사이의 광 경로 상에 위치하는 제2 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 샘플 스테이지는 수평 또는 수직으로 이동 가능하도록 더 구성되는 높이 측정 시스템
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제12항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는, 광신호가 검출되는 경우 검출된 광신호에 기초하여 형성된 샘플의 형상과 광검출기의 광신호 수신 가능 범위인 스캔 영역을 비교하여 샘플의 형상이 스캔 영역을 초과하는지 결정하고, 샘플의 형상이 스캔 영역을 초과하는 것으로 결정된 경우, 샘플을 이동시켜 스캔되지 않은 초과 부분을 포함한 부분 이미지를 생성하며, 그리고상기 부분 이미지를 조합하여 샘플의 단면 전체의 이미지를 획득하여 샘플의 높이를 산출하도록 더 구성되는 높이 측정 시스템
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제13항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는,샘플의 형상과 스캔 영역을 둘러싸는 프레임 간의 거리를 산출하여 상기 거리가 0인 경우 샘플의 형상이 스캔 영역을 초과하는 것으로 결정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제13항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는,광원부에서 광이 조사되었는데 광검출기가 응답하지 않은 경우 샘플의 형상이 스캔 영역을 초과하는 것으로 결정하도록 더 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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