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기판 상에 배치된 제1 전극과 제2 전극을 전기적으로 연결시키거나 차단시키는 스위치 구조체로서,상기 기판을 향하여 둥근 형상으로 볼록하게 돌출 형성되고, 내측에 중공을 가지는 반원통형 형상으로 형성된 접촉 스프링을 구비하며, 상기 접촉 스프링이 상기 기판에 접근하거나 상기 기판으로부터 이격될 수 있도록 이동 또는 변형 가능하게 상기 기판에 결합되는 스위치 몸체를 포함하고,상기 접촉 스프링은 외력에 의해 탄성적으로 변형 가능하며, 전도성 재질로 이루어지고,상기 접촉 스프링은 상기 스위치 몸체의 이동 또는 변형에 의해 상기 제1 전극과 접촉되거나 이격되도록 이동 가능하며,상기 접촉 스프링이 상기 제1 전극과 접촉함으로써, 상기 제1 전극은 상기 제2 전극과 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제1 항에 있어서,상기 접촉 스프링은 상기 제1 전극과 접촉 시 탄성적으로 변형되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제1 항에 있어서,상기 제2 전극은 상기 접촉 스프링과 상이한 위치의 상기 스위치 몸체와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제3 항에 있어서,상기 제2 전극과 전기적으로 연결되도록 상기 제2 전극 상에 고정되는 연결부를 더 포함하며,상기 스위치 몸체는 상기 연결부에 대해 휨 변형이 가능한 외팔보 형태로 상기 연결부로부터 연장 형성되고,상기 접촉 스프링은 상기 스위치 몸체의 자유단에 위치하며,상기 연결부와 상기 접촉 스프링은 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제1 항에 있어서,상기 접촉 스프링은 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 동시에 접촉 및 분리 가능한 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제5 항에 있어서,상기 스위치 몸체가 휨 변형이 가능하게 외팔보 형태로 연장 형성되는 연결부를 더 포함하고,상기 접촉 스프링은 상기 스위치 몸체의 자유단에 위치하며,상기 연결부와 상기 접촉 스프링은 상기 스위치 몸체에 구비된 절연부에 의해 서로 전기적으로 차단되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제1 항에 있어서,상기 스위치 몸체는, 전도성 재질로 이루어지며, 상기 스위치 몸체와 인접하여 배치된 구동 전극으로부터 발생하는 인력 또는 척력에 의해 이동 또는 변형 가능한 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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기판 상에 배치된 제1 전극과 제2 전극을 전기적으로 연결시키거나 차단시키는 스위치 구조체의 제조 방법으로서,상기 제1 전극 상에 희생층을 형성하고, 상기 희생층 상에 에칭용 패턴을 가지는 금속 마스크를 형성하는 단계;상기 에칭용 패턴의 하측에 위치하는 상기 희생층의 일부를 제거하여 오목부를 형성하고, 상기 금속 마스크를 제거하는 단계;상기 희생층 상에 전도성 재료를 증착시켜, 상기 오목부에 의해 둥근 형상을 가지도록 하방으로 볼록하게 돌출되고, 내측에 중공을 가지는 반원통형 형상으로 형성되는 접촉 스프링을 포함하는 접극층을 형성하는 단계; 및상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하며,상기 접촉 스프링은 외력에 의해 탄성적으로 변형 가능하고, 상기 제1 전극과 접촉되거나 이격되도록 이동 가능하며,상기 접촉 스프링이 상기 제1 전극과 접촉함으로써, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 오목부는 등방성 식각에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 접극층의 다른 부분과 동일한 면을 이루도록, 상기 접촉 스프링 상측의 오목한 부분을 채우는 충진부를 형성하는 단계;상기 접극층과 상기 충진부 상에 전도성 재료를 증착시켜, 상기 접극층과 전기적으로 연결되는 전도층을 형성하는 단계; 및상기 충진부를 제거하는 단계를 더 포함하는 스위치 구조체 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 희생층은 폴리이미드 재질로 이루어지며, 플라즈마 애싱에 의해 제거되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 금속 마스크를 형성하기 전에, 상기 제1 전극과 동일 평면 상의 상기 제2 전극의 상측에 위치하는 상기 희생층의 일부를 제거하고, 상기 제2 전극과 전기적으로 연결되도록 상기 희생층이 제거된 부분을 전도성 재료로 충진시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체 제조 방법
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