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기판 상에 설치된 접촉 제어 전극과 연결되는 제1 앵커 구조체와, 상기 기판 상에 설치된 분리 제어 전극과 연결되는 제2 앵커 구조체를 포함하는 앵커부;상기 제1 앵커 구조체와 연결되며 가열 시 상기 기판에 접근하도록 변형되는 제1 구동체와, 상기 제2 앵커 구조체와 연결되며 가열 시 상기 기판으로부터 이격되도록 변형되는 제2 구동체와, 상기 제1 구동체 및 상기 제2 구동체가 각각 서로의 변형에 의해 변형 가능하되 절연되도록 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체를 연결시키는 연결체를 포함하는 몸체부; 및상기 연결체에 구비되고, 전도성 재질로 이루어져 상기 기판 상에 설치된 신호 전극과 접촉하여 전기적인 연결을 형성하는 접촉부를 포함하며,상기 제1 구동체 및 상기 제2 구동체 중 어느 하나가 가열되어 변형됨에 따라 상기 접촉부가 상기 신호 전극과 접촉되거나 분리되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제1 항에 있어서,상기 제1 구동체는 상기 제1 앵커 구조체로부터 연장 형성되는 제1 변형부재와, 상기 제1 변형부재의 자유 단부에 구비되는 제1 연결부재를 포함하고,상기 제2 구동체는 상기 제2 앵커 구조체로부터 연장 형성되는 제2 변형부재와, 상기 제2 변형부재의 자유 단부에 구비되는 제2 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제2 항에 있어서,상기 제1 구동체는 서로 평행하게 배치되는 두 개의 상기 제1 변형부재를 포함하고, 상기 제1 연결부재는 두 개의 상기 제1 변형부재 각각의 자유 단부를 연결시키며,상기 제2 구동체는 서로 평행하게 배치되는 두 개의 상기 제2 변형부재를 포함하고, 상기 제2 연결부재는 두 개의 상기 제2 변형부재 각각의 자유 단부를 연결시키며,상기 제1 변형부재와 상기 제2 변형부재는 서로 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제3 항에 있어서,두 개의 상기 제2 변형부재는 두 개의 상기 제1 변형부재의 사이에 배치되며,상기 제1 연결부재는 상기 제2 연결부재보다 자유단 측에 더 가까이 배치되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제1 항에 있어서,상기 연결체는 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체 간의 열전달을 차단하는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제1 항에 있어서,상기 접촉부는 상기 기판을 향하여 돌출 형성된 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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제2 항에 있어서,상기 제1 연결부재는, 기판 상에 설치된 접지 전극의 상측에 배치되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체
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기판 상에 설치된 접촉 제어 전극, 분리 제어 전극 및 신호 전극을 덮도록 희생층을 형성하는 단계;상기 신호 전극 상방의 상기 희생층 상에 전도성 재료를 증착시켜 접촉부를 형성하는 단계;상기 접촉 제어 전극 및 상기 분리 제어 전극 상방의 상기 희생층을 제거하고 상기 접촉 제어 전극과 상기 분리 제어 전극 상에 각각 제1 앵커 구조체 및 제2 앵커 구조체를 형성하는 단계;상기 제2 앵커 구조체와 연결되며, 가열 시 상기 기판에 접근하도록 변형되는 제2 구동체를 상기 희생층 상에 형성하는 단계;상기 제2 구동체, 상기 접촉부 및 상기 희생층 상에 연결체를 형성하는 단계;상기 연결체 상에 상기 제1 앵커 구조체와 연결되며 가열 시 상기 기판으로부터 이격되도록 변형되는 제1 구동체를 형성하는 단계; 및상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하며,상기 연결체는 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체가 각각 서로의 변형에 의해 변형 가능하되 절연되도록 상기 제1 구동체와 상기 제2 구동체를 연결시키며,상기 제1 구동체 및 상기 제2 구동체 중 어느 하나가 가열되어 변형됨에 따라 상기 접촉부가 상기 신호 전극과 접촉되거나 분리되는 것을 특징으로 하는 스위치 구조체 제조방법
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