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압전기판;상기 압전기판 위에 증착되고, 교류 신호를 인가받아 표면 탄성파를 발생시키는 SIDT(Slanted Finger Interdigital Transducer) 전극; 및블럭 형태로 이루어져 상기 SIDT 전극과 이격되어 상기 압전기판 위에 접착되고, 내부에는 단일의 연속상과 복수의 분산상이 각각 주입되어 서로 다른 복수의 액적이 교차로 생성되어 유동할 수 있도록 마이크로 스케일의 채널부가 형성되며, 상기 단일의 연속상과 복수의 분산상을 각각 주입하기 위한 복수의 주입구와 상기 연속상과 각각의 분산상으로 이루어져 교차로 생성되는 복수의 액적을 배출하기 위한 배출구가 각각 형성되는 미세 유체칩;을 포함하고,상기 연속상은 복수의 분산상과 섞이지 않는 유체이며, 복수의 분산상 상호간은 서로 섞이는 유체이고, 상기 복수의 분산상은 고체 입자가 포함된 분산상과 고체입자가 포함되지 않은 분산상으로 이루어지며,상기 교류 신호는 가진기와 휴지기가 교대로 반복되는 주기적 신호이고, 상기 교류 신호를 인가받아 SIDT 전극에서 발생된 표면 탄성파는 상기 채널부 내에서 액적이 유동하는 방향과 직각 방향으로 상기 채널부에 전달되는 것을 특징으로 하는 음향 방사력을 이용한 마이크로 스케일 액적 내 입자의 세정 및 농축 장치
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청구항 1에 있어서,상기 SIDT 전극은,상기 압전기판의 양측 단부에 형성된 각각의 제1전극단자 및 제2전극단자로부터 이들의 방향을 따라 서로 교번하고 서로를 향해 폭 방향으로 연장 형성되는 복수의 제1손가락 전극 및 제2손가락 전극이 서로의 사이에 끼워져 포크 2개의 끝이 마주보도록 겹치되 서로 닿지 않도록 엇갈리게 놓인 패턴 형상으로 증착된 것을 특징으로 하는 음향 방사력을 이용한 마이크로 스케일 액적 내 입자의 세정 및 농축 장치
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청구항 2에 있어서,상기 복수의 제1손가락 전극 및 제2손가락 전극을 이루는 금속선들은 의 너비를 가지며, 각 금속선 간의 간격도 로 형성되되, 여기서, λ는 상기 표면 탄성파의 파장인 것을 특징으로 하는 음향 방사력을 이용한 마이크로 스케일 액적 내 입자의 세정 및 농축 장치
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청구항 3에 있어서,상기 복수의 제1손가락 전극 및 제2손가락 전극의 각각의 너비와 상기 제1손가락 전극 및 제2손가락 전극 사이의 간격은 길이방향을 따라 선형적으로 가변되게 형성되어 전체적으로 사다리꼴 형상의 경사진 빗살무늬 형태를 이루는 것을 특징으로 하는 음향 방사력을 이용한 마이크로 스케일 액적 내 입자의 세정 및 농축 장치
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청구항 1에 있어서,상기 채널부는 십자가 형태로 이루어지되,상기 표면 탄성파가 진행하는 방향과 직각 방향으로 배치되되, 상기 연속상이 주입되는 제1주입구와 상기 배출구를 연결하는 제1채널; 및상기 제1주입구 부근의 제1채널 상류에 상기 표면 탄성파가 진행하는 방향으로 배치되되, 고체 입자를 포함한 제1분산상이 주입되는 제2주입구와 고체 입자를 포함하지 않는 제2분산상이 주입되는 제3주입구를 연결하는 제2채널;을 포함하여 이루어지며,상기 제1채널과 제2채널은 연통되게 형성되는 것을 특징으로 하는 음향 방사력을 이용한 마이크로 스케일 액적 내 입자의 세정 및 농축 장치
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청구항 1에 있어서,상기 미세 유체칩은, 실리콘 기반 폴리머(Silicon-based polymers), 고분자 화합물(Plastics), 유리(Glass)
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청구항 6에 있어서,상기 실리콘 기반 폴리머는, PDMS(Polydimethylsiloxane)인 것을 특징으로 하는 음향 방사력을 이용한 마이크로 스케일 액적 내 입자의 세정 및 농축 장치
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청구항 6에 있어서,상기 고분자 화합물은, PMMA(Polymethyl Methacrylate), PP(polypropylene), COC(cyclic olefin copolymer), 또는 PET(Polyethylene Terephthalate) 중 선택된 어느 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 음향 방사력을 이용한 마이크로 스케일 액적 내 입자의 세정 및 농축 장치
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청구항 6에 있어서,상기 미세 유체칩의 내부로 상기 표면 탄성파가 인가되도록 상기 미세 유체칩의 내부에는 상기 SIDT 전극과 인접한 면으로부터 채널부까지 캐비티가 형성되는 것을 특징으로 하는 음향 방사력을 이용한 마이크로 스케일 액적 내 입자의 세정 및 농축 장치
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청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 하나의 청구항에 따른 음향 방사력을 이용한 마이크로 스케일 액적 내 입자의 세정 및 농축 장치를 이용한 세정 및 농축 방법으로서,상기 세정 방법은,1) 교류 신호의 가진기 동안 표면 탄성파는 채널부의 음파집속구간으로 집속되어 종파로 변환된 다음 채널부 내부에 음향장을 형성하고,2) 연속상과 고체 입자가 포함된 분산상이 이루는 제1액적이 채널부를 통과하여 배출구 방향으로 진행하는 경우, 표면 탄성파에 의해 제1액적은 분할되어 일부는 음향장 내에 포획되고 나머지는 배출구를 향해 이동하는데, 제1액적에 포함된 고체 입자는 음향장에 의해 포획된 제1액적 내부에서 상기 배출구와 반대쪽에 집속되며,3) 뒤이어 생성되어 음파집속구간으로 들어선 제2액적은 포획된 제1액적과 병합되고,4) 병합된 액적은 다시 분할되는데, 이때 음향장에 포획된 액적은 제2액적의 일부이고 나머지 액적은 배출구를 향해 이동하며,5) 이때, 고체 입자는 음향 방사력에 의해 그 위치가 음향장 내에 고착되어 고체 입자가 부유하고 있는 매개용액(분산상)이 교체되면서 세정되고,6) 교류 신호의 휴지기 동안 음향장 내에 포획된 제2액적은 배출구로 배출되되, 교류 신호의 가진기를 제1액적과 제2액적이 음파집속구간을 지나가는데 필요한 시간과 일치시켜 한 쌍의 액적에 음파를 인가하는 것을 특징으로 하고,상기 농축 방법은, 교류 신호의 가진기를 제1액적과 제2액적이 음파집속구간을 지나가는데 필요한 시간보다 길게하여 복수의 액적 쌍에 음파를 인가함으로써, 상기 세정 방법과 동일한 방법으로 음향 방사력에 의해 고체 입자의 위치는 음향장 내에 고착되는 와중에 교차로 생성되는 액적의 분할과 병합이 반복적으로 이루어지도록 하여 음향장 내 고체 입자의 개체수를 증가시키는 것을 특징으로 하는 음향 방사력을 이용한 마이크로 스케일 액적 내 입자의 세정 및 농축 방법
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