| 1 |
1
시드 용액, 성장 용액 및 제어 용액을 혼합하여 나노 입자를 합성하는 마이크로 디바이스로서,디스크 형상의 제1 패턴 형성층(110);상기 제1 패턴 형성층(110)의 하면에 결합되는 제2 패턴 형성층(150); 및상기 제2 패턴 형성층(150)의 하면에 결합되는 폐쇄층(190)을 포함하며,상기 제1 패턴 형성층(110)은 상기 제2 패턴 형성층과 마주하는 하면에 형성된 시드 용액 분배용 제1 패턴부(120)와 성장 용액 분배용 제2 패턴부를 구비하며,상기 제2 패턴 형성층(150)은 상기 폐쇄층(190)과 마주하는 면에 형성되고 원주방향을 따라서 배치되는 다수의 단위 패턴(160)을 구비하며,상기 다수의 단위 패턴 각각은 반응 챔버(162)와, 상기 반응 챔버보다 반경방향 안쪽에 위치하고 상기 반응 챔버와 연결되는 시드 용액 유입 챔버(164)와, 상기 반응 챔버보다 반경방향 안쪽에 위치하고 상기 반응챔버와 연결되는 성장 용액 유입 챔버(166)와, 상기 반응 챔버보다 반경방향 안쪽에 위치하고 상기 반응챔버와 연결되는 제어 용액 저장 챔버(168)를 구비하며,상기 제1 패턴부(120)는 원주방향을 따라서 지그재그 형태로 연장되고 상기 시드 용액 유입 챔버와 연결되는 제1 메인 패턴(121)을 구비하고, 상기 제2 패턴부(130)는 원주방향을 따라서 지그재그 형태로 연장되고 상기 성장 용액 유입 챔버와 연결되는 제2 메인 패턴(131)을 구비하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서,상기 단위 패턴은 상기 시드 용액 유입 챔버로부터 반경방향 바깥쪽으로 연장되는 제1 연결 채널(165)과, 상기 성장 용액 유입 챔버로부터 반경방향 바깥쪽으로 연장되는 제2 연결 채널(167)과, 상기 제어 용액 저장 챔버로부터 반경방향 바같쪽으로 연장되는 제3 연결 채널(169)를 더 구비하며,상기 제1 연결 채널, 상기 제2 연결 채널 및 상기 제3 연결 채널은 원심력이 작용하는 경우에만 반경방향 바깥쪽으로 유체의 통과를 허용하며,상기 제1, 제2, 제3 연결 채널은, 상기 제3 연결 채널의 유체 통과를 허용하는 원심력이 상기 제2 연결 채널의 유체 통과를 허용하는 원심력보다 크고, 상기 제1 연결 채널의 유체 통과를 허용하는 원심력이 상기 제3 연결 채널의 유체 통과를 허용하는 원심력보다 크도록 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서,상기 단위 패턴은 상기 반응 챔버의 반경방향 안쪽에 연결되는 개구부(163)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 5 |
5
청구항 1에 있어서,상기 제2 패턴부는 상기 제1 패턴부보다 반경방향 바깥쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서,상기 제1 패턴 형성층은 상기 제1 패턴부로 시드 용액을 주입하기 위한 관통공 형태의 제1 주입구(129)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 7 |
7
청구항 1에 있어서,상기 제1 패턴 형성층은 상기 제2 패턴부로 성장 용액을 주입하기 위한 관통공 형태의 제2 주입구(139)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
청구항 1에 있어서,상기 제1 패턴부는 상기 제1 메인패턴에 형성되는 제1 외측 모서리부로부터 반경방향 바깥쪽으로 연장되는 제1 외측 연장부(128)를 더 구비하며,상기 제1 외측 연장부(128)의 반경방향 바깥 끝단이 상기 시드 용액 유입 챔버와 통하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 10 |
10
청구항 9에 있어서,상기 제1 패턴부는 원주방향을 따라서 이어지는 다수의 Y자 형태의 채널을 구비하며,상기 Y자 형태의 채널 각각의 부피는 동일한 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 11 |
11
청구항 1에 있어서,상기 제2 패턴부는 상기 제2 메인패턴에 형성되는 제2 외측 모서리부로부터 반경방향 바깥쪽으로 연장되는 제2 외측 연장부(138)를 더 구비하며,상기 제2 외측 연장부(138)의 반경방향 바깥 끝단이 상기 성장 용액 유입 챔버와 통하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 12 |
12
청구항 11에 있어서,상기 제2 패턴부는 원주방향을 따라서 이어지는 다수의 Y자 형태의 채널을 구비하며,상기 Y자 형태의 채널 각각의 부피는 동일한 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 13 |
13
청구항 1에 있어서,상기 제1 메인 패턴(121)에 형성되는 다수의 제1 외측 모서리부(123) 각각이 상기 다수의 단위 패턴 각각의 시드 용액 유입 챔버와 일대일로 연결되고, 상기 제2 메인 패턴(131)에 형성되는 다수의 제2 외측 모서리부(133) 각각이 상기 다수의 단위 패턴 각각의 성장 용액 유입 챔버와 일대일로 연결되는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 14 |
14
청구항 6에 있어서,상기 제1 패턴부는 상기 제1 메인 패턴에 형성된 제1 내측 모서리부(122)로부터 반경방향 안쪽으로 연장된 제1 내측 연장부(126)를 더 구비하며,상기 제1 주입구(129)는 상기 제1 내측 연장부(126)의 반경방향 안쪽 끝단에 위치하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 15 |
15
청구항 7에 있어서,상기 제2 패턴부는 상기 제2 메인 패턴에 형성된 제2 내측 모서리부(132)로부터 반경방향 안쪽으로 연장된 제2 내측 연장부(136)를 더 구비하며,상기 제2 주입구(139)는 상기 제2 내측 연장부(136)의 반경방향 안쪽 끝단에 위치하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 16 |
16
청구항 1에 있어서,상기 제1 패턴 형성층은 상기 다수의 단위 패턴 각각의 제어 용액 저장 챔버에 대응하여 형성되는 관통공 형태의 다수의 제3 주입구(140)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 합성용 마이크로 디바이스
|
| 17 |
17
원주방향을 따라서 배치되는 다수의 단위 패턴(160); 시드 용액 분배를 위한 제1 패턴부(120); 및 성장 용액 분배를 위한 제2 패턴부(130)를 포함하며, 상기 다수의 단위 패턴 각각은 반응 챔버(162)와, 상기 반응 챔버보다 반경방향 안쪽에 위치하고 상기 반응 챔버와 제1 연결 채널(165)을 통해 연결되는 시드 용액 유입 챔버(164)와, 상기 반응 챔버보다 반경방향 안쪽에 위치하고 상기 반응챔버와 제2 연결 채널(167)을 통해 연결되는 성장 용액 유입 챔버(166)와, 상기 반응 챔버보다 반경방향 안쪽에 위치하고 상기 반응챔버와 제3 연결 채널(169)을 통해 연결되는 제어 용액 저장 챔버(168)를 구비하며, 상기 제1 연결 채널, 상기 제2 연결 채널 및 상기 제3 연결 채널은 원심력이 작용하는 경우에만 유체의 통과를 허용하며, 상기 제3 연결 채널의 유체 통과를 허용하는 원심력은 상기 제2 연결 채널의 유체 통과를 허용하는 원심력보다 크고, 상기 제1 연결 채널의 유체 통과를 허용하는 원심력이 상기 제3 연결 채널의 유체 통과를 허용하는 원심력보다 크도록 형성된 마이크로 디바이스를 이용하여 나노 입자를 합성하는 방법으로서,상기 마이크로 디바이스를 상기 제2 연결 채널의 유체 통과를 허용하는 원심력이 작용하도록 제1 회전 속도로 회전시켜서 성장 용액을 상기 반응 챔버로 유입시키는 단계;상기 마이크로 디바이스를 상기 제3 연결 채널의 유체 통과를 허용하는 원심력이 작용하도록 상기 제1 회전 속도보다 높은 제2 회전 속도로 회전시켜서 제어 용액을 상기 반응 챔버로 유입시키는 단계; 및상기 마이크로 디바이스를 상기 제1 연결 채널의 유체 통과를 허용하는 원심력이 작용하도록 상기 제2 회전 속도보다 높은 제3 회전 속도로 회전시켜서 시드 용액을 상기 반응 챔버로 유입시키는 단계를 포함하는 마이크로 디바이스를 이용한 나노 입자 합성 방법
|
| 18 |
18
청구항 17에 있어서,상기 마이크로 디바이스를 상기 제3 회전 속도로 회전시킨 후에, 회전 방향을 반복적으로 바꿔서 혼합 효율을 향상시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 디바이스를 이용한 나노 입자 합성 방법
|
