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유체를 저장하는 유체 저장소; 및상기 유체 저장소의 유체로부터 10 ㎛ 이하의 직경을 갖는 액적을 생성하는 액적 생성기;를 포함하고,상기 액적 생성기는, 설정 작동 주파수로 진동 에너지를 발생시키는 압전 요소를 포함하는 미세입자 제거 장치
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제1항에 있어서,생성된 액적을 분산시키는 송풍기를 더 포함하는 미세입자 제거 장치
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제2항에 있어서,상기 액적 생성기, 상기 유체 저장소 및 상기 송풍기는 순차적으로 유동 스트림을 따라 일렬로 배열되는 미세입자 제거 장치
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제1항에 있어서,생성된 액적의 크기를 감소시키는 액적 크기 감소 구조체를 더 포함하고, 상기 액적 크기 감소 구조체는,상기 액적 생성기에 가깝게 위치되고, 제1직경을 갖는 제1베이스;상기 액적 생성기로부터 멀리 그리고 상기 제1베이스의 맞은편에 위치되고, 상기 제1직경보다 작은 제2직경을 갖고, 크기가 감소된 액적이 배출되는 배출구를 포함하는 제2베이스; 및제1베이스 및 상기 제2베이스와 함께 유동 챔버를 규정하는 연결 부분;을 포함하고,상기 배출구는 목표하는 액적의 크기에 맞게 사이즈 조절된 미세입자 제거 장치
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제1항에 있어서,생성된 액적의 크기를 감소시키는 액적 크기 감소 구조체를 더 포함하고, 상기 액적 크기 감소 구조체는,상기 액적 생성기에 가깝게 위치된 제1베이스;상기 액적 생성기로부터 멀리 그리고 상기 제1베이스의 맞은편에 위치되고, 크기가 감소된 액적이 배출되는 배출구를 포함하는 제2베이스;상기 제1베이스 및 상기 제2베이스를 연결하며 상기 제1베이스 및 상기 제2베이스와 함께 유동 챔버를 규정하는 연결 부분; 및상기 제1베이스 및 상기 제2베이스 사이에서 상기 유동 챔버를 분리하는 분리 레이어;를 포함하고, 상기 분리 레이어는 목표하는 액적의 크기에 맞게 사이즈 조절된 복수 개의 홀을 포함하는 미세입자 제거 장치
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제1항에 있어서,생성된 액적의 크기를 감소시키는 액적 크기 감소 구조체를 더 포함하고, 상기 액적 크기 감소 구조체는,멤브레인; 및상기 멤브레인에 형성된 복수 개의 개구;를 포함하고,상기 복수 개의 개구 중 인접하는 한 쌍의 개구는 목표하는 액적의 크기에 맞게 거리 조절된 미세입자 제거 장치
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제1항에 있어서,상기 액적 생성기는, 광 신호에 반응하여 열 에너지를 발생시키는 광열 요소; 및상기 광열 요소를 향해 광 신호를 발생시키는 광원;을 더 포함하는 미세입자 제거 장치
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유체를 저장하는 유체 저장소; 및상기 유체 저장소의 유체로부터 10 ㎛ 이하의 직경을 갖는 액적을 생성하는 액적 생성기;를 포함하고,상기 액적 생성기는,제1 직경 범위의 액적을 생성하는 압전 요소; 및상기 제1 직경 범위와 다른 제2 직경 범위의 액적을 생성하는 광열 요소;를 포함하는 미세입자 제거 장치
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