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스캐닝 기능을 포함하는 기판 검사 장치

  • 기술번호 : KST2023010912
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예는, 기판을 안착시키는 캐리어, 상기 캐리어로부터 일정거리 이격되어 상기 기판의 표면의 3차원 정보를 복원하여 상기 기판의 이상유무를 검사하되, 사전에 설정된 스캔 경로를 따라 상기 기판의 표면을 스캐닝하여 검사하는 검사 유닛 및 단일 파장 광을 방출하여 상기 검사 유닛으로 제공하는 광원부를 포함하고, 상기 검사 유닛은 홀로그래픽 복원 장치를 포함하며, 상기 홀로그래픽 복원 장치는 상기 광원부에서 방출된 단일 파장 광을 시준하기 위한 시준기, 기 시준기를 통과한 상기 단일 파장 광을 물체광 및 기준광으로 분할하는 광 분할기, 상기 광 분할기에 의해 분할된 상기 물체광을 통과시키는 물체광 대물 렌즈, 상기 광 분할기에 의해 분할된 상기 기준광을 반사시키는 광학 거울, 상기 물체광 대물 렌즈를 통과하여 상기 기판의 표면에서 반사된 물체광 및 상기 광학 거울에 의해 반사된 기준광이 각각 상기 광 분할기로 전달되어 형성되는 간섭 무늬를 기록하는 영상 센서 및 상기 영상 센서에서 상기 간섭무늬를 변환하여 생성된 물체 홀로그램의 강도(Intensity) 정보를 포함하는 이미지를 수신하여 저장하고, 상기 기판 표면의 3차원 형상 정보를 생성하는 프로세서를 포함하는, 스캐닝 기능을 포함하는 기판 검사 장치를 제공한다.
Int. CL G01N 21/88 (2006.01.01) G01N 21/45 (2006.01.01) G01B 11/24 (2006.01.01) G01B 11/25 (2006.01.01) G03H 1/04 (2006.01.01)
CPC G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01)
출원번호/일자 1020180129287 (2018.10.26)
출원인 주식회사 내일해
등록번호/일자 10-2202300-0000 (2021.01.07)
공개번호/일자 10-2020-0047169 (2020.05.07) 문서열기
공고번호/일자 (20210113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020210001509;
심사청구여부/일자 Y (2018.10.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 내일해 대한민국 경기도 성남시 중원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김병목 서울특별시 노원구
2 김지훈 서울특별시 성동구
3 성맑음 서울특별시 강서구
4 이상진 서울특별시 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인더웨이브 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***, *층(삼성동, 삼릉빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 기술보증기금 (취급지점: 판교기술평가센터) 부산광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-1062517-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.09.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0002110-69
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.01.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0030641-13
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.03.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0269219-50
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2020-0269218-15
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0514342-96
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2020.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-0878629-84
9 [법정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2020-0896571-46
10 법정기간연장승인서
2020.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0126423-97
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.09.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-1031365-72
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-1031349-41
13 등록결정서
Decision to Grant Registration
2020.10.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0685219-43
14 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2021.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2021-0016022-31
15 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2022.05.10 수리 (Accepted) 4-1-2022-5110199-07
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번호 청구항
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기판을 안착시키는 캐리어;상기 캐리어로부터 일정거리 이격되어 상기 기판의 표면의 3차원 정보를 복원하여 상기 기판의 이상유무를 검사하되, 사전에 설정된 스캔 경로를 따라 상기 기판의 표면을 스캐닝하여 검사하는 검사 유닛; 및단일 파장 광을 방출하여 상기 검사 유닛으로 제공하는 광원부;를 포함하고,상기 검사 유닛은 홀로그래픽 복원 장치를 포함하며, 상기 홀로그래픽 복원 장치는 상기 광원부에서 방출된 단일 파장 광을 시준하기 위한 시준기;상기 시준기를 통과한 상기 단일 파장 광을 물체광 및 기준광으로 분할하는 광 분할기;상기 광 분할기에 의해 분할된 상기 물체광을 통과시키는 물체광 대물 렌즈;상기 광 분할기에 의해 분할된 상기 기준광을 반사시키는 광학 거울;상기 물체광 대물 렌즈를 통과하여 상기 기판의 표면에서 반사된 물체광 및 상기 광학 거울에 의해 반사된 기준광이 각각 상기 광 분할기로 전달되어 형성되는 간섭 무늬를 기록하는 영상 센서; 및상기 영상 센서에서 상기 간섭무늬를 변환하여 생성된 물체 홀로그램의 강도(Intensity) 정보를 포함하는 이미지를 수신하여 저장하고, 상기 기판 표면의 3차원 형상 정보를 생성하는 프로세서;를 포함하고,상기 프로세서는 상기 이미지에 포함된 적어도 하나의 주파수 성분들을 확인하고, 적어도 하나의 주파수 성분들 중 실상(Real Image)에 대응되는 실상 성분들을 추출하고, 상기 실상 성분들에 기초하여 기준광과 켤레(Conjugate) 관계에 있는 보정광 및 상기 기판의 실상 정보를 포함하는 실상 홀로그램을 생성하며, 상기 보정광에 기초하여 상기 실상 홀로그램에서 상기 기준광의 정보가 제거된 중간 홀로그램을 생성하고, 상기 중간 홀로그램으로부터 생성된 상기 기판 표면의 3차원 형상 정보에 기초하여 곡률 수차 보정정보를 결정하는 적어도 하나의 파라미터를 결정하고, 상기 파라미터에 기초하여 상기 곡률 수차 보정정보를 생성하고, 상기 곡률 수차 보정정보에 기초하여 상기 중간 홀로그램에서 곡률 수차에 의한 오차가 제거된 보정 홀로그램을 생성하고, 상기 보정 홀로그램으로부터 상기 기판 표면의 상기 3차원 형상 정보를 생성하고,상기 프로세서는 상기 기판 표면의 3차원 형상을 지나가는 단면 상의 외곽선으로부터 상기 3차원 형상의 중심점의 좌표 및 상기 중심점과 상기 외곽선 사이의 길이를 상기 파라미터로 결정하고, 상기 파라미터를 참조하여 3차원 공간 상에 기준면을 생성하고, 상기 생성된 기준면을 이용하여 상기 곡률 수차 보정정보를 생성하고,상기 단면은 상기 물체광의 진행 방향과 평행한, 스캐닝 기능을 포함하는 기판 검사 장치
2 2
제1 항에 있어서, 상기 검사 유닛은 제1 방향을 따라 일렬로 배치되는 복수 개의 홀로그래픽 복원 장치를 구비하는, 스캐닝 기능을 포함하는 기판 검사 장치
3 3
제2 항에 있어서, 상기 광원부는 상기 홀로그래픽 복원 장치의 개수에 대응되는 복수 개의 광원을 구비하는, 스캐닝 기능을 포함하는 기판 검사 장치
4 4
제2 항에 있어서,상기 광원부는 하나의 광원으로 이루어지며, 상기 검사 유닛은 상기 광원부로부터 제공되는 상기 단일 파장 광을 상기 복수 개의 홀로그래픽 복원 장치로 균등하게 분배하는 광 분배부;를 더 포함하는, 스캐닝 기능을 포함하는 기판 검사 장치
5 5
제1 항에 있어서,상기 광원부에서 방출된 상기 단일 파장 광을 상기 검사 유닛으로 전달하는 광 파이버(optical fiber);를 더 구비하는, 스캐닝 기능을 포함하는 기판 검사 장치
6 6
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1 KR102437014 KR 대한민국 FAMILY

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