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구동 장치에 의해 위치 조정이 가능한 지지 부재;상기 지지 부재의 단부에 결합되며 상기 지지 부재의 중심축과 일치하는 중심축을 가지는 회전체;대상물과 마주하는 상기 회전체의 일측에 고정되며 상기 대상물의 2차원 이미지를 획득하는 카메라; 및상기 지지 부재와 교차하는 연결 부재에 의해 상기 회전체에 결합되고, 상기 대상물에 대해 틸트각(θ)을 갖도록 위치하며, 상기 회전체에 의해 회전하면서 상기 대상물의 3차원 형상 정보를 획득하는 레이저 스캐너를 포함하는 3차원 검사 장비
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제1항에 있어서,상기 대상물은 지지면에 고정되고,상기 지지 부재와 상기 회전체는 상기 중심축이 상기 지지면과 직교하도록 위치하는 3차원 검사 장비
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제2항에 있어서,상기 연결 부재는 상기 지지 부재와 직교하며, 상기 지지면과 평행을 이루는 3차원 검사 장비
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제2항에 있어서,상기 지지 부재는 상기 대상물을 향해 뻗은 직선형 부재이고,상기 카메라와 상기 레이저 스캐너 및 상기 구동 장치가 제어부에 연결되는 3차원 검사 장비
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제4항에 있어서,상기 제어부는 위치 보정 알고리즘을 내장하며, 상기 카메라에 의해 획득한 상기 레이저 스캐너의 레이저빔 경로로부터 상기 지지 부재의 위치 보정을 위한 제어 신호를 생성하여 상기 구동 장치로 출력하는 3차원 검사 장비
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제1항에 따른 3차원 검사 장비의 위치 보정 방법으로서,상기 레이저 스캐너가 회전하면서 상기 대상물을 향해 레이저빔을 조사하고, 상기 카메라가 레이저빔 경로를 촬영하는 촬영 단계;제어부에서 상기 레이저빔 경로가 정원(正員)인지 타원호(楕圓弧) 조합체인지 판단하는 판별 단계;상기 레이저빔 경로가 타원호 조합체일 때 상기 제어부에서 타원호 조합체를 구성하는 제1 타원호의 긴 반지름 r1과 제2 타원호의 짧은 반지름 r2를 산출하며, 하기 수학식을 이용하여 상기 대상물에 대한 상기 지지 부재와 상기 회전체의 틀어짐 방향과 틀어짐 각도(α)를 연산하는 연산 단계; 및(여기서, L1은 상기 지지 부재와 상기 회전체의 길이 합, L2는 상기 회전체와 상기 대상물 사이의 거리, W는 상기 회전체의 중심과 상기 레이저 스캐너 사이의 거리, θ는 상기 레이저 스캐너의 틸트각을 나타낸다
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제6항에 있어서,상기 타원호 조합체는 제1 타원의 절반인 상기 제1 타원호와 제2 타원의 절반인 상기 제2 타원호가 둥글게 이어진 형상이고,상기 제1 타원은 상기 제2 타원의 긴 지름을 자신의 짧은 지름으로 포함하는 타원인 3차원 검사 장비의 위치 보정 방법
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제7항에 있어서,상기 제2 타원호는 상기 지지 부재와 상기 회전체의 틀어짐 방향을 향해 위치하고, 상기 제1 타원호의 장축과 상기 제2 타원호의 단축을 연결하는 가상의 선이 틀어짐 방향과 일직선 상에 위치하며,상기 제어부는 상기 제2 타원호의 위치와 상기 가상의 선으로부터 틀어짐 방향을 산출하는 3차원 검사 장비의 위치 보정 방법
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제6항에 있어서,상기 판별 단계에서 상기 레이저빔 경로가 정원일 때 보정 작업이 종료되고,상기 보정 단계 이후 다시 상기 촬영 단계부터 반복 실행되는 3차원 검사 장비의 위치 보정 방법
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