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초고성능 나노 기반 수소 센서

  • 기술번호 : KST2014018296
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탄성 소재로 이루어진 기판 표면에 전이금속 또는 그 합금 박막을 배치한 후, 탄성 기판에 인장력을 작용시킴으로써, 상기 박막에 나노 갭을 형성시키고, 형성된 나노 갭을 통하여 수소를 검출하는 수소 센서 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 수소 센서 제조방법은 복잡한 공정을 갖는 종래의 수소 센서 제조방법(반도체식, 접촉연소식, FET(field effect transistor)방식, 전해질식(전기화학식), 광섬유식, 압전식, 열전식 등) 또는 크기가 크고, 가격이 비싸고 불편한 방식의 상용화된 수소센서(접촉연소식 수소센서, 팔라듐 합금과 열판 결합형 수소센서, Pd/Ag 합금 고체상 수소센서, Pd 게이트 FET 수소센서 등)의 경우와는 달리, 단시간에 물리적인 인장력만을 인가하여 균일한 형태의 나노 갭을 갖는 전이금속 또는 그 합금 박막을 기판 상에 배열할 수 있으므로, 고성능의 수소 센서를 초저가로 제작할 수 있다. 전이금속, 수소센서, 인장력
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090132402 (2009.12.29)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1067557-0000 (2011.09.19)
공개번호/일자 10-2011-0075841 (2011.07.06) 문서열기
공고번호/일자 (20110927) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.29)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이우영 대한민국 서울 마포구
2 이준민 대한민국 경기도 성남시 수정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0810113-07
2 보정요구서
Request for Amendment		 2009.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0100836-72
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0000893-72
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.09.10 수리 (Accepted) 9-1-2010-0055155-26
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0517530-87
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전이금속 또는 그 합금 박막을 탄성 기판의 표면에 배치하는 단계; 및 상기 탄성 기판에 인장력을 작용시켜 상기 탄성 기판 표면에 배치된 상기 박막에 나노 갭을 형성하는 단계; 를 포함하되, 상기 인장력의 인가 시에, 상기 박막은 인장력이 작용한 방향으로 인장되는 동시에, 인장력이 작용한 방향의 수직 방향으로 압축하고, 상기 인장력의 회수 시에, 상기 박막은 인장력이 회수된 방향으로 다시 압축되는 동시에, 인장력이 회수된 방향의 수직방향으로 다시 인장하는 것에 의해 상기 나노 갭을 형성하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 전이금속은 Pd, Pt, Ni, Ag, Ti, Fe, Zn, Co, Mn, Au, W, In, Al중 1선택된 1종이상인 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 합금은 Pd-Ni, Pt-Pd, Pd-Ag, Pd- Ti, Pd-Fe, Pd-Zn, Pd-Co, Pd-Mn, Pd-Au, Pd-W, Pt-Ni, Pt-Ag, Pt-Ag, Pt-Ti, Fe-Pt, Pt-Zn, Pt-Co, Pt-Mn, Pt-Au, Pt-W중 선택된 1종이상인 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 전이금속은 Pd이며, 상기 합금은 Pd합금인 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 기판은 0
6 6
제1항에 있어서, 상기 인장력은 상기 탄성 기판에 1
7 7
제1항에 있어서, 상기 탄성 소재는 천연고무, 합성고무, 또는 폴리머를 이용하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 합성고무는 부타디엔계 고무, 이소프렌계 고무, 클로로프렌계 고무, 니트릴계 고무, 폴리우레탄계 고무, 및 실리콘계 고무로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 실리콘계 고무는 PDMS(polydimethylsiloane)인 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 인장력은 상기 탄성 기판에 1 회 이상 반복 작용하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 인장력은 상기 탄성 기판에 1 방향 이상으로 작용하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 인장력은 제 1 방향, 상기 제 1 방향과 수직을 이루는 제 2 방향, 그리고 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향과는 다른 방향을 이루는 제 3방향으로 반복 인가되는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
13 13
제 1항에 있어서, 상기 전이금속 또는 그 합금 박막의 두께가 1㎚ 내지 100㎛의 범위를 만족하는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조방법
14 14
제1항에 있어서, 상기 탄성 기판은 0
15 15
제1항에 있어서, 상기 나노 갭이 형성된 상기 전이금속 또는 그 합금 박막을 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
16 16
제1항에 있어서, 상기 나노 갭이 형성된 상기 전이금속 또는 그 합금 박막을 이온 밀링하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
17 17
제1항에 있어서, 상기 형성된 나노 갭은 1㎚ 내지 10㎛의 폭을 가짐을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
18 18
탄성 소재로 이루어진 기판; 제1항 내지 제17항 중 어느 한 방법에 의해 다수개의 나노 갭이 형성된 전이금속 또는 그 합금 박막; 및 상기 박막의 양단에 형성된 전극; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02520928 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 JP05145463 JP 일본 FAMILY
3 JP24507037 JP 일본 FAMILY
4 KR101130084 KR 대한민국 FAMILY
5 KR101151662 KR 대한민국 FAMILY
6 US08468872 US 미국 FAMILY
7 US20110259083 US 미국 FAMILY
8 WO2011081245 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
9 WO2011081308 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
10 WO2011081308 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2012507037 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP5145463 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 WO2011081245 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 학술진흥재단, 한국과학재단 연세대학교 산학협력단 중점연구소지원, 중견연구자지원사업(핵심연구사업) 나노융합 그린에너지 원천기술 개발, 나노선 기반 고감도 선택적 환경 센서 어레이 개발