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마이크로 볼로미터에서 필 팩터를 높이기 위한 픽셀 디자인

  • 기술번호 : KST2014047105
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 볼로미터에서 필 팩터를 높이기 위한 픽셀 디자인은, 기판 상부의 반사 금속층을 포함하는 하부층; 상기 하부층 상부의 공동; 상기 공동 상부의 볼로미터층과 그 위의 투과 금속층을 포함하는 상부층; 상기 하부층 및 상기 상부층의 절연을 위한 절연층; 및 상기 상부층을 지지하는 앵커를 포함하는 각 볼로미터 픽셀들의 배열로 이루어진 볼로미터 어레이에 있어서, 상기 볼로미터 픽셀 네 개가 상기 앵커 하나를 공유하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G01J 5/20 (2006.01) G01J 5/02 (2006.01) G01J 1/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020110002456 (2011.01.10)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1180647-0000 (2012.09.03)
공개번호/일자 10-2012-0080965 (2012.07.18) 문서열기
공고번호/일자 (20120919) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.01.10)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김경민 대한민국 대전광역시 서구
2 김희연 대한민국 대전광역시 유성구
3 김병일 대한민국 대전광역시 유성구
4 경기명 대한민국 대전광역시 유성구
5 박재홍 대한민국 대전광역시 유성구
6 이귀로 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0019662-11
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0061291-86
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0218061-83
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.03.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0218071-39
5 등록결정서
Decision to grant
2012.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0496528-92
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상부의 반사 금속층을 포함하는 하부층; 상기 하부층 상부의 공동; 상기 공동 상부의 볼로미터층과 그 위의 투과 금속층을 포함하는 상부층; 상기 하부층 및 상기 상부층을 절연하기 위한 절연층; 및 상기 상부층을 지지하는 앵커를 포함하는 각 볼로미터 픽셀들의 배열로 이루어진 볼로미터 어레이에 있어서, 상기 볼로미터 픽셀 네 개가 상기 앵커 하나를 공유하는 것을 특징으로 하는 볼로미터 어레이
2 2
제1항에 있어서,상기 볼로미터층은 비정질 실리콘으로 이루어지고 상기 투과 금속층은 티타늄으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 볼로미터 어레이
3 3
제1항에 있어서,상기 상부층에는 상기 투과 금속층을 ㄹ자형, 일자형, 및 사각형 중 어느 하나의 형태로 에칭하여 제거되고 남은 부분이 저항노선으로 형성되는 것을 특징으로 하는 볼로미터 어레이
4 4
제1항에 있어서,상기 볼로미터 어레이는 포컬 플레인 어레이를 사용하는 것을 특징으로 하는 볼로미터 어레이
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2012096478 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
2 WO2012096478 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2012096478 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
2 WO2012096478 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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