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적외선 신호를 흡수하여 감지 신호를 출력하는 복수의 감지셀;상기 감지셀과 동일한 전기적 특성을 갖되, 적외선 신호에 반응하지 않으면서 기준 신호를 출력하는 복수의 암맹셀; 및상기 감지 신호 및 상기 기준 신호의 직류 성분을 공통적으로 제거하는 스키밍셀;을 포함하고,상기 감지 신호 및 상기 기준 신호에 기초하여, 적외선 신호를 감지하기 위한 감지셀값을 생성하는, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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제1항에 있어서,상기 감지셀값은, 동일한 열에 연결된 복수의 암맹셀이 출력한 기준 신호의 평균값을 산출하고, 상기 감지셀 각각이 출력한 감지 신호에서 상기 평균값을 차감하여 생성된 값인, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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제1항에 있어서,상기 감지셀값은, 동일한 행에 연결된 복수의 암맹셀이 출력한 다중 기준 신호의 평균값을 산출하고, 상기 감지셀 각각이 출력한 감지 신호에서 상기 평균값을 차감하여 생성된 값인, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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제1항에 있어서,상기 암맹셀은 적외선 신호를 반사하기 위한 적외선 반사막을 셀 내부에 포함하는, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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제4항에 있어서,상기 암맹셀은 상기 감지셀과 동일한 볼로미터 바디 구조를 갖고 상기 감지셀보다 두꺼운 금속 전극을 포함하는, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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제1항에 있어서,상기 암맹셀의 셀 외부에 구비된 하단 반사막은 기판과의 간격이 0
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제1항에 있어서,상기 암맹셀의 셀 외부에 구비된 하단 반사막은 기판과의 간격이 4㎛ 이상 8㎛ 이하인, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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제1항에 있어서,상기 암맹셀은 상기 감지셀과 동일한 볼로미터 바디 구조를 갖되 레그부가 갖고 있는 열전도도보다 큰 열전도도를 갖기 위한 열전달경로를 더 포함하는, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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9
제1항에 있어서,상기 암맹셀은 상기 감지셀과 동일한 볼로미터 바디 구조를 갖되 열전도도를 높이기 위한 추가 앵커를 더 포함하는, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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10
제1항에 있어서,상기 암맹셀의 열전도도는 상기 감지셀이 갖는 열전도도의 10배 이상 1000배 이하인, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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11
제1항에 있어서,상기 암맹셀로 향하는 적외선을 차폐하기 위한 게터 및 금속 반사막 중 적어도 하나를 셀 외부 상단 패키지 윈도우 내에 포함하는, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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12
제11항에 있어서,상기 게터 및 상기 금속 반사막은 진공패키지 윈도우를 사이에 두고 소정 거리 이격된, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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13
제11항에 있어서,상기 게터 및 상기 금속 반사막은 서로 인접하게 배치된, 다중 차동 신호 검출을 이용한 MBA
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