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비냉각형 적외선 센서 픽셀의 3차원 구조 및 이를 포함하는 적외선 열화상 장치

  • 기술번호 : KST2018007544
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 비냉각형 적외선 센서 픽셀의 3차원 구조에 관한 것으로, 비냉각형 적외선 센서를 구성하는 픽셀의 구조에 있어서, 기판; 상기 기판 상에 설치된 지지기둥; 상기 지지기둥에 일단이 연결된 연결레그; 및 상기 연결레그의 타단이 연결되어 상기 기판으로부터 공중으로 이격되어 위치하는 적외선 감지부를 포함하여 구성되며, 상기 연결레그는 상기 적외선 감지부의 양쪽에 2개가 연결되고, 상기 2개의 연결레그는 각각 다른 지지기둥에 연결되며, 상기 연결레그가 연결된 2개의 지지기둥 중에 적어도 하나는 인접한 다른 픽셀의 적외선 감지부에 일단이 연결된 연결레그의 타단이 함께 연결된 것을 특징으로 한다.본 발명은, 지지기둥을 인접한 픽셀에서 공유하여 사용함으로써, 지지기둥의 면적을 좁히지 않아서 지지기둥의 기계적 안정성은 유지하는 상태로 각 픽셀에서 지지기둥이 차지하는 면적을 줄일 수 있는 효과가 있다.또한, 각 픽셀에서 지지기둥이 차지하는 면적을 줄여 적외선 감지부의 면적을 넓힘으로써, 적외선 센서의 분해능과 성능이 향상되고, 나아가 웨이퍼 당 칩의 개수를 더 많이 획득하게 되어 제품의 가격 경쟁력을 높일 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G01J 5/48 (2006.01.01) G01J 5/08 (2006.01.01) G01J 5/20 (2018.01.01) H04N 5/33 (2006.01.01)
CPC G01J 5/48(2013.01) G01J 5/48(2013.01) G01J 5/48(2013.01) G01J 5/48(2013.01)
출원번호/일자 1020160161575 (2016.11.30)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1865889-0000 (2018.06.01)
공개번호/일자 10-2018-0061890 (2018.06.08) 문서열기
공고번호/일자 (20180611) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.30)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이완규 대한민국 대전시 유성구
2 오재섭 대한민국 대전시 서구
3 전호승 대한민국 경기도 의정

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-1175371-51
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.11.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0167896-02
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0813989-02
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0074356-20
6 등록결정서
Decision to grant		 2018.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0353979-12
7 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2019.01.14 수리 (Accepted) 7-8-2019-0000966-31
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
비냉각형 적외선 센서를 구성하는 픽셀의 구조에 있어서,기판;상기 기판 상에 설치된 지지기둥;상기 지지기둥에 일단이 연결된 연결레그; 및상기 연결레그의 타단이 연결되어 상기 기판으로부터 공중으로 이격되어 위치하는 적외선 감지부를 포함하여 구성되며,상기 연결레그는 상기 적외선 감지부의 양쪽에 2개가 연결되고, 상기 2개의 연결레그는 각각 다른 지지기둥에 연결되며,상기 연결레그가 연결된 2개의 지지기둥 중에 적어도 하나는 인접한 다른 픽셀의 적외선 감지부에 일단이 연결된 연결레그의 타단이 함께 연결된 것을 특징으로 하는 비냉각형 적외선 센서 픽셀의 3차원 구조
2 2
청구항 1에 있어서,상기 지지기둥은 상기 적외선 감지부의 주변에 4개가 위치하되 사각형의 모서리 자리에 각각 위치하고,상기 2개의 연결레그는 상기 4개의 지지기둥 중에 대각선에 위치하는 2개에 각각 연결되며,연결레그가 연결되지 않은 2개의 지지기둥은 인접한 다른 픽셀들의 연결레그에 연결된 것을 특징으로 하는 비냉각형 적외선 센서 픽셀의 3차원 구조
3 3
청구항 1에 있어서,상기 지지기둥은 상기 적외선 감지부의 주변에 사각형의 모서리 자리 중 서로 대각 방향에 2개가 위치하는 것을 특징으로 하는 비냉각형 적외선 센서 픽셀의 3차원 구조
4 4
청구항 1에 있어서,상기 비냉각형 적외선 센서가 마이크로 볼로미터형 적외선 센서인 것을 특징으로 하는 비냉각형 적외선 센서 픽셀의 3차원 구조
5 5
청구항 1에 있어서,상기 기판과 상기 적외선 감지부 사이의 간격이 1㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 비냉각형 적외선 센서 픽셀의 3차원 구조
6 6
청구항 5에 있어서,상기 기판과 상기 적외선 감지부 사이의 간격이 2㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 비냉각형 적외선 센서 픽셀의 3차원 구조
7 7
청구항 1 내지 청구항 6 중 하나의 3차원 구조를 갖는 픽셀들의 어레이로 구성된 적외선 감지기를 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 열영상 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 ㈜ 라온우리 국제공동기술개발사업(유로스타2) CMOS-MEMS-WLVP 기술이 융합된 나노단위제어방식의 저가격 고감도 열화상 카메라용 센서 및 산업맞춤형 시스템 개발
2 미래창조과학부 나노종합기술원 과학기술국제화사업〉글로벌 R＆D 기반구축사업〉해외우수연구기관유치사업 나노종합기술원-드렉셀 FIRST 나노기술 Co-OP 센터