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고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계

  • 기술번호 : KST2015113361
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계에 관한 것으로, 외부에서 발생되는 진동에 의한 영향을 주파수 영역에서 완벽히 고립시킴으로써 측정대상물을 측정하는 간섭계에 있어서, 광을 출사하는 광원부, 상기 광원부에서 출사되는 광을 측정대상물에 조사시키고, 여기서 반사되는 광을 기준광과 측정광으로 분할한 후 이를 다시 간섭시켜 간섭무늬를 생성시키는 광전달부, 상기 광전달부에서 분할된 기준광을 연속적인 위상주사를 통해 주사하는 연속위상주사부 및 상기 광전달부를 통해 조사된 측정광과 상기 연속위상주사부를 통해 조사된 기준광에 의해 생성된 간섭무늬를 획득하는 고속카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 시스템 구성측면이나 해석 알고리즘 측면에서 매우 간소화할 수 있으며, step형태의 위상천이 방법에서 나타나는 비선형오차 및 측정 속도의 문제점을 해소할 수 있다. 진동둔감, 연속 위상 주사, 공통 경로, 고속 카메라, 간섭계
Int. CL G01B 11/25 (2006.01) G02B 5/00 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090030379 (2009.04.08)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1085061-0000 (2011.11.14)
공개번호/일자 10-2010-0111908 (2010.10.18) 문서열기
공고번호/일자 (20111118) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.04.08)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김승우 대한민국 대전광역시 유성구
2 박정재 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2009-0211484-81
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.08.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.09.13 수리 (Accepted) 9-1-2010-0056675-24
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0226756-40
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0489779-99
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0489778-43
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0457664-00
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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외부에서 발생되는 진동에 의한 영향을 주파수 영역에서 완벽히 고립시킴으로써 측정대상물을 측정하는 간섭계에 있어서, 광을 출사하는 광원부; 상기 광원부에서 출사되는 광을 측정대상물에 조사시키고, 여기서 반사되는 광을 기준광과 측정광으로 분할한 후 이를 다시 간섭시켜 간섭무늬를 생성시키는 광전달부; 상기 광전달부에서 분할된 기준광을 연속적인 위상주사를 통해 주사하는 연속위상주사부; 및 상기 광전달부를 통해 조사된 측정광과 상기 연속위상주사부를 통해 조사된 기준광에 의해 생성된 간섭무늬를 획득하는 고속카메라;를 포함하며, 상기 광전달부는, 상기 광원에서 출사되는 광을 전달받는 제 1λ/2지연판; 상기 λ/2지연판을 투과한 광을 편광 분리하는 제 1편광분리기; 상기 제 1편광분리기에서 입사받은 광을 원형편광시켜 대상물에 측정대상물에 조사하는 λ/4지연판; 상기 측정대상물에서 반사된 광이 다시 상기 제 1편광분리기를 투과하면 이를 입사받아 기준광과 측정광으로 분리하는 빔스플리터; 상기 빔스플리터에 조사되는 기준광을 입사받아 집광하는 포커싱렌즈; 상기 포커싱렌즈를 통해 집광된 광을 구면파로 점회절하여 상기 연속위상주사부로 전달하는 광파이버; 상기 빔스플리터를 통해 분리된 측정광을 반사시키는 미러; 상기 연속위상주사부에서 주사된 기준광과 상기 미러에서 반사된 측정관을 각각 전달받는 제 2λ/2지연판; 제 2λ/2지연판을 투과한 기준광과 측정광을 제 2편광분리기; 상기 제 2편광분리기를 투과한 광을 선형 편광시키는 선형편광기; 및 상기 선형 편광된 광을 상기 고속카메라로 입사시키는 결상렌즈;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계
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삭제
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제 1항에 있어서, 상기 연속위상주사부는, 상기 광전달부를 통해 기준광을 입사받는 평면파로 만드는 시준렌즈와, 상기 시준렌즈와 광파이버가 고정된 가이드를 등속도로 구동시키는 스테이지로 구성되는 것을 특징으로 하는 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 연속위상주사부는, 다중주기로 주사하는 것을 특징으로 하는 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 광파이버는, 싱글모드 광파이버인 것을 특징으로 하는 고속카메라와 연속위상주사방법을 이용한 진동둔감 간섭계
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제 1항, 제 3항, 제 4항 중 한 항에 있어서, 상기 연속위상주사부는, 위상주사속도를 발생 가능한 외부 진동 주파수를 고려하여 선택하는 것을 특징으로 하는 고속카메라와 연속위상주사방법을 이용한 진동둔감 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 고속카메라는, 각 픽셀에서의 주파수 영역 분석을 통해 위상 복원을 실시하는 것을 특징으로 하는 고속카메라와 연속위상주사방법을 이용한 진동둔감 간섭계
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삭제
9 9
제 3항에 있어서, 상기 스테이지는, PZT 소자로 구동되는 것을 특징으로 하는 고속카메라와 연속위상주사방법을 이용한 진동둔감 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 빔스플리터는, 90%의 투과특성을 가지는 것을 특징으로 하는 고속카메라와 연속위상주사방법을 이용한 진동둔감 간섭계
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US08144335 US 미국 FAMILY
2 US20100259762 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2010259762 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8144335 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.