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열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015125643
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다양한 입자 발생수단에 의해 생성된 에어로졸 형태의 나노입자를 균일 속도장 내에서 열영동(thermophoretic) 효과를 이용하여 제어하여 기판상의 목표한 위치에 정밀하게 제어된 상태로 증착시킴으로써, 수 나노미터에서 수백 나노미터의 스케일을 갖는 나노입자를 전극물질인 기판 위에 정밀한 크기와 정확도로 패터닝할 수 있는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 온도 구배, 열영동, 열전소자, 유기태양전지, 전자 주개, 전자 받개
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020090120294 (2009.12.07)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1079420-0000 (2011.10.27)
공개번호/일자 10-2011-0063922 (2011.06.15) 문서열기
공고번호/일자 (20111102) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.07)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황정호 대한민국 서울 용산구
2 박성은 대한민국 서울특별시 강남구
3 김상윤 대한민국 서울특별시 마포구
4 박재홍 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0752567-61
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0152999-69
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0365718-40
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0365719-96
5 등록결정서
Decision to grant		 2011.10.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0592312-22
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나노입자가 분사되는 분사노즐; 상기 분사노즐을 통해 분사된 나노입자가 증착되는 기판; 및 상기 기판에 증착되는 나노입자의 거동을 제어할 수 있도록 상기 분사노즐의 상부에 배치되는 상부 온도판과 상기 기판의 하부에 배치되는 하부 온도판과 상기 상부 온도판과 하부 온도판 사이에 온도 차가 발생하도록 상기 상,하부 온도판을 가열 또는 냉각시키는 열발생장치를 포함하는 온도구배 형성수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 상부 온도판은 하부 온도판보다 온도가 높도록 제어되는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 기판은 상기 분사노즐의 직하방에 위치하는 중앙부 영역과, 상기 중앙부 영역의 양 측면에 위치하는 측면부 영역으로 구획되고, 상기 중앙부 영역은 상기 측면부 영역보다 두께가 작게 형성된 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 하부 온도판은, 상기 중앙부 영역에 배치된 중앙부 온도판과; 상기 측면부 영역에 배치된 측면부 온도판으로 구성되고, 상기 중앙부 온도판과 상기 측면부 온도판은 서로 다른 온도차로 유지되도록 제어되는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 중앙부 온도판은 상기 측면부 온도판보다 온도가 낮도록 제어되는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 열발생장치는 열전소자(Thermo- Electronic Module)인 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치
8 8
제1항에 있어서, 상기 열발생장치는 구리 저항선인 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치
9 9
나노입자가 증착되는 기판과 그 기판 주위를 가열 또는 냉각하여 온도구배를 형성시킴으로써 분사노즐을 통해 분사되는 나노입자가 열영동에 의해 기판의 목표지점에 제어된 상태로 증착되도록 하는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 기판에 증착되는 나노입자의 증착 높이는 나노입자의 분사시간을 통해 제어되는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 방법
11 11
제9항에 있어서, 상기 기판 주위의 온도구배 형성은 분사노즐 상부의 온도판과 기판 하부의 온도판을 열발생장치를 통해 가열 또는 냉각시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 방법
12 12
전자 주개(donor) 물질과 전자 받개(acceptor) 물질로 구성된 콜로이드 상태의 폴리머 나노입자가 분사되는 분사노즐; 상기 분사노즐을 통해 분사된 나노입자가 활성 폴리머층으로 증착되는 기판; 및 상기 기판에 증착되는 상기 콜로이드 상태의 폴리머 나노입자의 거동을 제어할 수 있도록 상기 분사노즐의 상부에 배치되는 상부 온도판과 상기 기판의 하부에 배치되는 하부 온도판과 상기 상부 온도판과 하부 온도판 사이에 온도 차가 발생하도록 상기 상,하부 온도판을 가열 또는 냉각시키는 열발생장치를 포함하는 온도구배 형성수단; 을 이용하여 유기태양전지를 형성하는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치
13 13
삭제
14 14
제12항에 있어서, 상기 열발생장치는 열전소자(Thermo- Electronic Module)인 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치
15 15
제12항에 있어서, 상기 열발생장치는 구리 저항선인 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치
16 16
제12항에 있어서, 상기 기판에 증착되는 폴리머 나노입자의 증착 높이는 폴리머 나노입자의 분사시간을 통해 제어되는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 장치
17 17
전자 주개(donor) 물질과 전자 받개(acceptor) 물질로 구성된 콜로이드 상태의 폴리머 나노입자를 분사노즐을 통해 기판 위에 분사 및 증착시켜 유기태양전지를 형성하되, 상기 폴리머 나노입자가 증착되는 기판과 상기 기판 주위를 가열 또는 냉각하여 온도구배를 형성시킴으로써 상기 분사노즐을 통해 분사된 폴리머 나노입자가 열영동에 의해 상기 기판의 목표지점에 제어된 상태로 증착됨으로써 유기태양전지를 형성하는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 방법
18 18
제17항에 있어서, 상기 기판에 증착되는 폴리머 나노입자의 증착 높이는 폴리머 나노입자의 분사시간을 통해 제어되는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 방법
19 19
제17항에 있어서, 상기 기판 주위의 온도구배 형성은 분사노즐 상부의 온도판과 기판 하부의 온도판을 열발생장치를 통해 가열 또는 냉각시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 방법
20 20
제19항에 있어서, 상기 열발생장치는 열전소자(Thermo- Electronic Module)인 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 방법
21 21
제19항에 있어서, 상기 열발생장치는 구리 저항선인 것을 특징으로 하는 열영동 방법으로 나노입자를 제어 및 증착하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.