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광학 리소그래피 장치 및 광학 리소그래피 장치에 사용되는광학 헤드 제조방법

  • 기술번호 : KST2015127116
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 평행광을 제공하는 평행광 제공부와, 상기 평행광을 복수의 영역으로 구획하고, 각 영역의 빛이 통과 및 차단되도록 제어하며, 각 영역을 통과한 빛을 각각 집광하는 광학헤드와, 상기 광학헤드에서 조사되는 빛에 의해 기판에 패터닝 작업을 수행하도록 기판을 구동시키는 기판 구동부로 구성되어, 소형화가 가능하고 제조비용을 줄일 수 있으며 마이크로렌즈 어레이의 광축 정렬오차를 최소화할 수 있는 광학 리소그래피 시스템 및 그 제조방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01)
출원번호/일자 1020080015649 (2008.02.21)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0964285-0000 (2010.06.09)
공개번호/일자 10-2008-0078565 (2008.08.27) 문서열기
공고번호/일자 (20100616) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020070017734   |   2007.02.22
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.21)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강신일 대한민국 서울 동작구
2 임지석 대한민국 경기 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김선민 대한민국 서울특별시 강남구 도산대로**길 ** *층 (신사동, 여암빌딩)(특허법률사무소광야)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0128529-87
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0407166-10
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0736775-86
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.12.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0818060-51
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0818063-98
6 등록결정서
Decision to grant		 2010.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0111513-65
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
평행광을 제공하는 평행광 제공부와; 상기 평행광을 복수의 영역으로 구획하고, 각 영역의 빛이 통과 및 차단되도록 제어하며, 각 영역을 통과한 빛을 각각 집광하는 광학헤드와; 상기 광학헤드에서 조사되는 빛에 의해 기판에 패터닝 작업을 수행하도록 기판을 구동시키는 기판 구동부를 포함하고, 상기 광학헤드는 복수 개의 영역으로 구획되고 각 영역은 빛이 통과 및 차단되도록 제어되는 공간 광변조기와; 상기 공간 광변조기의 상면에 일체로 몰딩되어 형성되고, 평행광을 상기 각 영역과 맵핑되도록 분리시키고 빛의 경로를 굴절시키는 제1마이크로렌즈 어레이와; 상기 공간 광변조기의 하면에 일체로 몰딩되어 형성되고, 상기 각 영역을 통과하는 빛을 집광시키는 제2마이크로렌즈 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 리소그래피 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 평행광 제공부는 단일 파장을 발생시키는 광원과, 상기 광원에서 발생된 빛을 평행광으로 변환하는 콜리메타로 구성되는 것을 특징으로 하는 광학 리소그래피 장치
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 광학 헤드는 상기 공간 광변조기와 제1마이크로렌즈 어레이 사이와 상기 공간 광변조기와 제2마이크로렌즈 어레이 사이 중 적어도 어느 하나에 설치되는 무반사 코팅막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 리소그래피 장치
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 광학 헤드는 상기 광학 헤드와 기판 사이의 거리를 측정하여 광학헤드와 기판 사이의 거리가 일정하게 유지되도록 하는 거리 측정센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 리소그래피 장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 기판 구동부는 PZT 액츄에이터가 사용되는 것을 특징으로 하는 광학 리소그래피 장치
8 8
제1항의 광학 리소그래피 장치용 광학 헤드를 제조하기 위한 제조방법으로서, 공간 광변조기의 상부 유리기판의 표면에 제1폴리머를 도포하는 단계와; 렌즈 패턴이 형성된 제1몰드부재를 제1폴리머에 가압한 후 경화시켜서 제1마이크로렌즈 어레이를 제작하는 단계와; 공간 광변조기의 하부 유리기판의 표면에 제2폴리머를 도포하는 단계와; 렌즈 패턴이 형성된 제2몰드부재를 제2폴리머에 가압한 후 경화시켜서 제2마이크로렌즈 어레이를 제작하는 단계와; 제1몰드부재와 제2몰드부재를 공간 광변조기에서 분리시키는 단계를 포함하는 광학 리소그래피 장치용 광학 헤드 제조방법
9 9
삭제
10 10
제 8 항에 있어서, 상기 제1폴리머 및 제2폴리머는 광 경화성 폴리머와 열 경화성 폴리머 중 어느 하나가 사용되는 것을 특징으로 하는 광학 리소그래피 장치용 광학 헤드 제조방법
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1 WO2008102995 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2008102995 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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