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기판 상에 반도체층을 도포하는 반도체층 형성 단계;
상기 반도체층 상에 금속층을 도포하는 금속층 형성 단계;
상기 금속층 상에 레지스트층을 도포하는 레지스트층 형성 단계;
스탬프를 이용하여 제1 돌기와 상기 제1 돌기보다 더 낮게 형성된 제2 돌기를 포함하는 패턴을 형성하는 다단 패터닝 단계; 및
에칭에 의하여 상기 제2 돌기의 아래에 위치하는 반도체층이 표면으로 나타나고, 상기 제1 돌기의 아래에 위치하는 금속층이 표면으로 나타나도록 하는 에칭 단계;
를 포함하는 바이오 센서의 제조 방법
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제1 항에 있어서,
상기 반도체층 형성 단계는 상기 기판 상에 실리콘층을 형성하는 단계와 상기 실리콘층을 불순물로 도핑하는 단계를 포함하는 바이오 센서의 제조 방법
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제2 항에 있어서,
상기 불순물은 3족 물질 또는 5족 물질로 이루어진 바이오 센서의 제조 방법
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4
제1 항에 있어서,
상기 에칭 단계에서 반도체층이 표면으로 나타난 패턴은 소스 전극과 드레인 전극을 형성하고, 상기 금속층이 표면으로 나타난 패턴은 게이트 전극을 형성하는 바이오 센서의 제조 방법
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5
제4 항에 있어서,
상기 소스 전극과 상기 드레인 전극은 채널로 연결된 바이오 센서의 제조 방법
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제5 항에 있어서,
상기 채널과 상기 게이트 전극 사이에는 나노 갭이 형성된 바이오 센서의 제조 방법
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7
제6 항에 있어서,
상기 나노 갭에 수용기를 부착하기 위한 접착층을 형성하는 단계를 포함하는 바이오 센서의 제조 방법
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8
제7 항에 있어서,
상기 접착층은 자기조립 단분자막(SAM; self assembled monolayer)으로 이루어진 바이오 센서의 제조 방법
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제7 항에 있어서,
상기 나노 갭의 접착층에 화학 물질 또는 바이오 물질로 이루어져 특정한 바이오 물질과 결합하는 수용기를 부착하는 단계를 포함하는 바이오 센서의 제조 방법
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제1 항에 있어서,
상기 금속층은 Au로 이루어진 바이오 센서의 제조 방법
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제1 항에 있어서,
상기 바이오 센서는 JFET 타입으로 이루어진 바이오 센서의 제조 방법
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제1 항에 있어서,
상기 스탬프는 제1 홈과 상기 제1 홈보다 더 낮게 형성된 제2 홈을 갖는 바이오 센서의 제조 방법
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