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번갈아가며 형성된 절연막과 전극막을 가지고, 절연막과 전극막을 관통하는 다층 플러그를 가지는 셀 영역; 및
상기 셀 영역으로부터 제1 방향으로 신장되고, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 단차를 가지는 컨택 영역을 포함하는 플래시 메모리
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제1항에 있어서, 상기 다층 플러그는 외곽을 향해 ONO(Oxide-Nitride-Oxide) 구조를 가지고, 중심 부위는 다결정 실리콘으로 구성되는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리
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제1항에 있어서, 상기 컨택 영역은 상부로 갈수록 좁은 폭을 가지는 다수개의 단차막들로 구성되는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리
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제3항에 있어서, 상기 단차막은 상기 절연막 및 상기 전극막으로 구성되며, 하나의 단차막을 구성하는 상기 절연막 및 전극막은 동일한 프로파일을 가지는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리
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5
제1항에 있어서, 상기 플래시 메모리는, 상기 셀 영역의 상부에 비트라인과 전기적 연결을 달성하기 위한 비트라인 배선영역을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리
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6
제5항에 있어서, 상기 비트라인 배선영역은 상기 제1방향으로 신장되고 패턴화된 스트링 선택영역; 및
상기 스트링 선택영역과 전기적으로 연결된 비트 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리
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7
제1항에 있어서, 상기 컨택 영역은 다수개의 단차 그룹들을 가지고, 각각의 단차그룹은 인접한 단차그룹과 단차를 가지는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리
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8
제7항에 있어서, 상기 단차 그룹들은 상부로 갈수록 좁은 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리
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제7항에 있어서, 상기 단차 그룹들은 상기 제1 방향으로 상호간에 단차를 가지고, 하나의 단차 그룹을 형성하는 단차막들은 상기 제2 방향으로 상호간에 단차를 가지는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리
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10
절연막 및 전극막을 순차적으로 적층하고, 상기 절연막 및 전극막을 관통하는 다층 플러그를 형성하는 단계;
최상층의 상기 전극막 상부에 선택 절연막 및 선택 도전막을 형성하고 상기 선택 절연막 및 선택 도전막을 관통하고 상기 다층 플러그에 전기적으로 연결되는 스트링 플러그를 형성하는 단계;
상기 선택 절연막 및 선택 도전막에 대한 선택적 식각을 통해 스트링 선택 영역을 형성하여, 셀 영역과 제1 방향으로 신장된 컨택 영역을 정의하는 단계; 및
상기 컨택 영역에 대한 순차적 패턴 전사를 통해 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향의 단차를 가지는 다수의 단차막들을 형성하는 단계를 포함하는 플래시 메모리의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 플래시 메모리의 제조방법은 다수의 단차막을 형성하는 단계 이후에, 상기 셀 영역 및 상기 컨택 영역을 양분하는 트렌치를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 다층 플러그는 상기 셀 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 스트링 선택 영역은 상기 선택적 식각을 통해 상기 제1 방향으로 신장된 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리의 제조방법
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제13항에 있어서, 상기 셀 영역과 상기 컨택 영역을 정의하는 단계는 상기 셀 영역 및 상기 컨택 영역을 양분하는 트렌치를 형성하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 상기 플래시 메모리의 제조방법은 다수의 단차막을 형성하는 단계 이후에, 상기 스트링 선택 영역에 대한 식각을 통해 상기 제1 방향으로 신장된 패턴화된 스트링 선택 영역을 형성하고, 상기 셀 영역 및 상기 컨택 영역을 양분하는 트렌치를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리의 제조방법
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셀 트랜지스터가 구비된 셀 영역과 연결되고, 워드라인에 전기적으로 연결되는 컨택 영역을 가지는 플래시 메모리에 있어서,
상기 셀 영역과 상기 컨택 영역의 배치방향과 다른 방향으로 형성된 단차를 가지는 다수의 단차막이 포함된 컨택 영역을 가지는 플래시 메모리
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제16항에 있어서, 상기 컨택 영역은 상기 셀 영역으로부터 제1 방향으로 배치되고, 상기 단차막들은 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 단차를 형성하되, 상부로 갈수록 작은 면적을 가지는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리
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제17항에 있어서, 상기 단차막은 절연막 및 전도막으로 구성되며, 하나의 상기 단차막을 구성하는 상기 절연막 및 전도막은 동일한 프로파일을 가지는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리
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