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유전 탄성체로 이루어진 필름과, 상기 필름의 상면과 하면에 각각 구비된 제1전극과 제2전극을 포함하는 구동부;
상기 구동부의 임피던스를 센싱하는 임피던스 센싱부; 및
상기 임피던스 센싱부에서 센싱된 임피던스의 크기에 따라 상기 구동부에 인가되는 전원의 조건을 제어하여 상기 구동부의 동작을 제어하는 전원공급 및 제어부를 포함하되,
상기 임피던스 센싱부는 구동부에 직렬로 연결된 외부 저항에 인가되는 전압을 검출하여 상기 구동부의 임피던스를 센싱하는 것을 특징으로 하는 유전 탄성체를 이용한 자가 센싱 액츄에이터
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제1항에 있어서,
상기 구동부는 복수의 필름이 적층된 구조로서 각 필름층 사이에는 서로 인접한 두 필름에 대해 각각 제1전극 및 제2전극으로 기능하는 전극이 배치된 것을 특징으로 하는 유전 탄성체를 이용한 자가 센싱 액츄에이터
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삭제
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제1항 또는 제2항에 있어서,
외부 부하조건에 따른 구동부의 임피던스와 구동부에 인가되는 전원의 조건에 관한 관계정보가 저장된 메모리를 더 포함하고,
상기 전원공급 및 제어부는 상기 센싱된 임피던스의 크기에 대응하는 외부 부하의 크기 및 상기 외부 부하의 크기에 대응하는 전원 조건을 상기 관계정보에서 검색하고, 검색 결과에 따라 구동부에 인가되는 전원 조건을 제어하는 것을 특징으로 하는 유전 탄성체를 이용한 자가 센싱 액츄에이터
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5
제4항에 있어서,
상기 전원 조건은 구동부에 인가되는 전압의 세기 또는 주파수 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유전 탄성체를 이용한 자가 센싱 액츄에이터
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제5항에 있어서,
상기 구동부의 임피던스는 외부 부하가 증가하면 감소하고, 외부 부하가 감소하면 증가되는 것을 특징으로 하는 유전 탄성체를 이용한 자가 센싱 액츄에이터
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유전 탄성체로 이루어진 구동부에 전원이 인가된 상태에서 상기 구동부의 임피던스를 센싱하는 제1단계;와
상기 제1단계에서 센싱된 임피던스의 크기에 따라 상기 구동부에 인가되는 전원의 조건을 제어하여 상기 구동부의 동작을 제어하는 제2단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유전 탄성체를 이용한 자가 센싱 액츄에이터의 제어방법
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제7항에 있어서, 상기 제2단계는,
상기 제1단계에서 센싱된 임피던스의 크기와, 외부 부하가 없는 상태에서 상기 인가된 전원 조건에 대응하는 임피던스와의 차이가 설정값 이상인지 여부를 판단하는 제3단계;와
상기 제3단계의 판단결과가 설정값 미만이면 현재 인가되는 전원 조건을 유지하고, 설정값 이상이면 새로운 전원 조건을 산출하고 산출된 조건에 따라 상기 구동부에 전원을 인가하는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유전 탄성체를 이용한 자가 센싱 액츄에이터의 제어방법
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제8항에 있어서,
상기 전원 조건은 구동부에 인가되는 전압의 세기 또는 주파수 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유전 탄성체를 이용한 자가 센싱 액츄에이터의 제어방법
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