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이송장치의 운동 오차 측정 기능을 겸비한 5자유도 운동 측정 장치

  • 기술번호 : KST2015174407
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 선형운동을 하는 리니어 스테이지의 운동 오차를 측정하는 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 선형(리니어) 이송 장치의 5자유도 운동을 측정할 수 있는 광학식 선형 엔코더에 관한 것으로 선형 운동을 하는 스테이지의 각운동 오차(pitching, yawing, rolling)와 수평오차(straightness error)를 3개의 PSD (position sensitive detector) 를 활용하여 실시간으로 측정하고, 이송 장치의 이송 거리를 스케일에서 반사되어 나오는 +1차와 -1차 광의 간섭을 활용하여 측정하는 5자유도 운동 측정 장치에 관한 것이다.
Int. CL G01B 11/00 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01)
CPC G01B 11/002(2013.01) G01B 11/002(2013.01) G01B 11/002(2013.01) G01B 11/002(2013.01)
출원번호/일자 1020100124907 (2010.12.08)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1210911-0000 (2012.12.05)
공개번호/일자 10-2012-0063780 (2012.06.18) 문서열기
공고번호/일자 (20121212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.08)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이선규 대한민국 광주광역시 북구
2 이차범 대한민국 광주광역시 북구
3 김규하 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장한특허법인 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, **층 (서초동, 서초지웰타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-0808697-58
2 보정요구서
Request for Amendment		 2010.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0111942-85
3 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)		 2010.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0827811-68
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.01.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.02.17 수리 (Accepted) 9-1-2012-0012706-12
7 등록결정서
Decision to grant		 2012.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0544800-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소정 파장의 레이저광을 출력하는 발광수단(10);리니어 스테이지(2)의 일측에 부착되어 상기 레이저광이 반사 및 회절되는 회절격자(20); 상기 레이저광이 상기 회절격자(20)에 도달하도록 광경로를 형성하는 제1 광분배기(31);상기 회절격자(20)에서 회절되어 수광된 0차광(L0), +1차광(L1), -1차광(L2)을 이용하여 상기 리니어 스테이지(2)의 요잉 오차, 피칭 오차, 롤링 오차, 수평 오차를 측정하는 제1 광학루프(40); 및상기 제1광학루프(40)를 거쳐 수광된 광을 이용하여 상기 리니어 스테이지(2)의 이송거리를 측정하는 제2 광학루프(50);를 포함하는 이송장치의 운동오차 측정 기능을 겸비한 5자유도 운동 측정 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 광학루프(40)는,상기 회절격자(20)에서 반사 및 회절되어 수광된 0차광(L0), +1차광(L1), -1차광(L2)을 각각 센싱하는 제1,2,3 위치검출센서(PSD0)(PSD+1)(PSD-1);를 포함하는 이송장치의 운동오차 측정 기능을 겸비한 5자유도 운동 측정 장치
3 3
제2항에 있어서,상기 제2 광학루프(50)는,상기 회절격자(20)에서 회절된 +1차광(L1), -1차광(L2)을 각각 반사시키는 제2,3 광분배기(32)(33);상기 제2,3 광분배기(32)(33)에서 반사되어 수광된 빛을 받아들여 특정 방향으로 편광된 빛을 출력하는 제1 편광 광분배기(51);상기 제1 편광 광분배기(51)에서 분배된 빛을 반사 또는 투과시키는 제2,3 편광 광분배기(52)(53); 및상기 제2,3 편광 광분배기(52)(53)에서 반사 또는 투과된 빛을 센싱하는 제1,2,3,4 포토 디텍터(61)(62)(63)(64);를 포함하는 이송장치의 운동오차 측정 기능을 겸비한 5자유도 운동 측정 장치
4 4
제3항에 있어서,상기 제1 편광 광분배기(31)에서 분배된 빛을 원형 편광 빔으로 변환해주는 1/4 파장판(55)을 더 포함하는 이송장치의 운동오차 측정 기능을 겸비한 5자유도 운동 측정 장치
5 5
제3항에 있어서,상기 요잉 오차, 피칭 오차, 롤링 오차 및 수평오차는 각각 다음과 같은 식에 의해 구해지는 이송장치의 운동오차 측정 기능을 겸비한 5자유도 운동 측정 장치
6 6
제3항에 있어서,상기 이송거리는 다음과 같은 식에 의해 구해지는 이송장치의 운동오차 측정 기능을 겸비한 5자유도 운동 측정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 광주과학기술원 국가지정연구실(NRL)사업 림광포인팅장치기술(3)
2 지식경제부 한국기계연구원 기술혁신사업 직선운동유니트정밀도예측및통합시뮬레이터개발[2/3]