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기판상에 형성된 접착층;상기 접착층의 상부에 형성된 전극층; 및상기 기판 및 전극층 상에 형성된 절연층;을 포함하며,상기 접착층 및 전극층은 패턴을 형성하고,상기 전극층의 적어도 일부가 외부로 노출되며,상기 절연층은 요철구조를 가지고,상기 요철구조가 상기 패턴과 대응되며,상기 요철구조는 상기 접착층 및 전극층의 패턴 위에 돌출부가 형성되고, 접착층 및 전극층이 없는 부분 위에 비돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 나노지형구조 미세전극칩
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기판상에 형성된 접착층;상기 접착층의 상부에 형성된 전극층; 상기 기판 및 전극층 상에 형성된 절연층; 및상기 절연층상에 코팅된 세포 친화성 고분자층;을 포함하며,상기 접착층 및 전극층은 패턴을 형성하고,상기 전극층의 적어도 일부가 외부로 노출되며,상기 절연층은 요철구조를 가지고,상기 요철구조가 상기 패턴과 대응되며,상기 요철구조는 상기 접착층 및 전극층의 패턴 위에 돌출부가 형성되고, 접착층 및 전극층이 없는 부분 위에 비돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 나노지형구조 미세전극칩
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3 |
3
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 요철구조는,상기 접착층 및 상기 전극층의 상부에 화학적 기상증착(CVD) 방법으로 절연층이 증착되어 형성되는 것을 특징으로 하는 나노지형구조 미세전극칩
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4 |
4
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 요철구조는,점(dot) 및 선(line) 또는 이들의 조합이 배열된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노지형구조 미세전극칩
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5 |
5
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 기판은, 유리, 플라스틱, 금속 및 실리콘으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 나노지형구조 미세전극칩
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6 |
6
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 접착층은, 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 은(Ag), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 주석(Sn), 몰리브덴(Mo), 루테늄(Ru) 및 인듐(In)으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 나노지형구조 미세전극칩
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7 |
7
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 접착층은, 10 ~ 50nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노지형구조 미세전극칩
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8
청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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9
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 전극층은,100 ~ 300nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노지형구조 미세전극칩
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10 |
10
청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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11
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 절연층은,200 ~ 1000nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노지형구조 미세전극칩
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12
제 2항에 있어서, 상기 세포 친화성 고분자층은,폴리도파민(polydopamine), 폴리라이신(polylysine), 라미닌(laminin) 및 파이브로넥틴(fibronectin) 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 나노지형구조 미세전극칩
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13
기판상에 접착층을 형성하는 단계(단계 1);상기 접착층상에 전극층을 형성하는 단계(단계 2);상기 접착층 및 전극층을 패터닝하는 단계(단계 3);상기 단계 3의 기판상에 절연층을 플라즈마 기상 증착방법으로 증착하여 표면에 요철구조를 갖는 절연층을 형성하되, 상기 접착층 및 전극층이 패터닝된 부분 위에 돌출부를 형성하고, 상기 접착층 및 전극층이 없는 부분 위에 비돌출부를 형성하는 단계(단계 4); 및상기 단계 4에서 증착된 절연층의 적어도 일부를 패터닝하여 상기 전극층의 일부가 외부로 노출되는 단계(단계 5);를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노지형구조 미세전극칩의 제조방법
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기판상에 접착층을 형성하는 단계(단계 1);상기 접착층상에 전극층을 형성하는 단계(단계 2);상기 접착층 및 전극층을 패터닝하는 단계(단계 3);상기 단계 3의 기판상에 절연층을 플라즈마 기상 증착방법으로 증착하여 표면에 요철구조를 갖는 절연층을 형성하되, 상기 접착층 및 전극층이 패터닝된 부분 위에 돌출부를 형성하고, 상기 접착층 및 전극층이 없는 부분 위에 비돌출부를 형성하는 단계(단계 4); 상기 단계 4에서 증착된 절연층의 적어도 일부를 패터닝하여 상기 전극층의 일부를 외부로 노출시키는 단계(단계 5);상기 단계 5의 기판상에 세포 친화성 고분자를 코팅하여 세포를 배양하는 단계(단계 6);를 포함하는 나노지형구조 미세전극칩을 이용한 세포 성장방법
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제 14항에 있어서, 상기 세포는, 미생물, 동식물 세포 및 신경세포 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 나노지형구조 미세전극칩을 이용한 세포 성장방법
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