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다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019000276
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자 및 이의 제조 방법에서, 흑린 기반 전자 소자는 제1 반도체 영역 및 제1 반도체 영역과 나란히 배치되어 접합되고 제1 반도체 영역보다 낮은 정공 밀도를 갖는 제2 반도체 영역을 포함하는 흑린 기반 채널층; 제1 반도체 영역과 연결된 제1 전극; 제1 전극과 이격되고 제2 반도체 영역과 연결된 제2 전극; 제1 반도체 영역 상에 배치된 이온성 겔층; 및 게이트 전압을 인가받아 채널층에 전계를 형성하는 게이트 전극을 포함한다.
Int. CL H01L 29/16 (2006.01.01) H01L 29/78 (2006.01.01) H01L 21/38 (2006.01.01) H01L 29/861 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) C08L 33/12 (2006.01.01) C08K 5/43 (2006.01.01)
CPC H01L 29/1606(2013.01) H01L 29/1606(2013.01) H01L 29/1606(2013.01) H01L 29/1606(2013.01) H01L 29/1606(2013.01) H01L 29/1606(2013.01) H01L 29/1606(2013.01)
출원번호/일자 1020170094933 (2017.07.26)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0012050 (2019.02.08) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.07.26)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성주 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 가정원 중국 경기도 수원시 장안구
3 쉬 자오 중국 경기도 수원시 장안구
4 전수민 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0721998-86
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.11.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2017-0042946-83
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0492313-18
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0932452-08
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1032999-17
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.11.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1147249-67
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1147248-11
9 등록결정서
Decision to grant
2019.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0207012-08
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 반도체 영역 및 상기 제1 반도체 영역과 나란히 배치되어 접합되고 상기 제1 반도체 영역보다 낮은 정공 밀도를 갖는 제2 반도체 영역을 포함하는 흑린 기반 단일 채널층;상기 제1 반도체 영역과 연결된 제1 전극;상기 제1 전극과 이격되고 상기 제2 반도체 영역과 연결된 제2 전극;상기 제1 반도체 영역 상에 배치된 이온성 겔층; 및게이트 전압을 인가받아 상기 채널층에 전계를 형성하는 게이트 전극을 포함하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 반도체 영역의 정공 밀도(hole carrier density)가 도핑에 의해 1011 cm-2 내지 1013 cm-2 로 조절되는 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자
3 3
제1항에 있어서,상기 제1 반도체 영역의 정공 밀도가 높을수록 상기 이온성 겔층의 이온성 화합물의 농도가 높은 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자
4 4
제1항에 있어서,상기 이온성 겔층은고분자 화합물이 형성하는 매트릭스 내에 이온성 화합물이 배치된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는, 다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자
5 5
제4항에 있어서,상기 고분자 화합물은 PMMA(polymethyl methacrylate)이고,상기 이온성 겔층에 포함된 이온성 화합물은 1-에틸-3-메틸이미다졸리움 비스(트리플루오로메탄술포닐) 이미드 [1-ethyl-3-methylimidazolium bis(trifluoromethanesulfonyl) imide (EMIM:TFSI)]인 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자
6 6
제1항에 있어서,상기 제1 반도체 영역은 P+ 영역이고,상기 제2 반도체 영역은 게이트 전극의 게이팅에 따라 P 영역, N 영역 또는 N+ 영역인 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자
7 7
제6항에 있어서,상기 제1 반도체 영역은 P+ 영역이고, 상기 제2 반도체 영역은 P 영역인 P+-P 접합 광소자이거나,상기 제1 반도체 영역은 P+ 영역이고, 상기 제2 반도체 영역은 N 영역인 P+-N 접합 광소자 (photodiode)인 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자
8 8
제6항에 있어서,상기 제1 반도체 영역은 P+ 영역이고, 상기 제2 반도체 영역은 N+ 영역이며,상온에서 음의 차등 저항(negative differential resistance, NDR) 특성을 보이는 터너링(tunneling) 소자인 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자
9 9
채널층, 상기 채널층과 이격되어 배치된 2개의 전극들 및 상기 채널층에 전계를 형성하는 게이트 전극을 포함하는 전자 소자의 제조 방법에 있어서,상기 채널층을 형성하는 단계는흑린층을 형성하는 단계;상기 흑린층의 일 영역에 마스크 패턴을 배치하는 단계; 및상기 마스크 패턴으로 커버되지 않은 상기 흑린층의 다른 영역에 이온성 화합물을 포함하는 혼합물을 도포하여 상기 혼합물이 도포된 영역의 흑린층이 정전기적 도핑되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자의 제조 방법
10 10
제9항에 있어서,상기 흑린층이 정전기적 도핑되는 단계에서 상기 흑린층에 제1 반도체 영역이 형성되고,상기 혼합물이 비도포된 영역은 상기 제1 반도체 영역보다 낮은 정공 밀도를 갖는 제2 반도체 영역이 되는 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자의 제조 방법
11 11
제10항에 있어서,상기 흑린층이 정전기적 도핑되는 단계에서 상기 제1 반도체 영역 상에 이온성 겔층이 형성되는 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자의 제조 방법
12 12
제9항에 있어서,상기 이온성 화합물은 1-에틸-3-메틸이미다졸리움 비스(트리플루오로메탄술포닐) 이미드 [1-ethyl-3-methylimidazolium bis(trifluoromethanesulfonyl) imide (EMIM:TFSI)]이고,상기 이온성 화합물이 PMMA(polymethyl methacrylate)와 혼합되어 상기 혼합물로 준비된 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자의 제조 방법
13 13
제9항에 있어서,상기 흑린층이 정전기적 도핑되는 단계에서 도핑 효과에 의해 정공 밀도(hole carrier density)는 1011 cm-2 내지 1013 cm-2인 정전기적 도핑된 흑린층이 형성되는 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자의 제조 방법
14 14
제9항에 있어서,상기 흑린층이 정전기적 도핑되는 단계는상기 혼합물의 이온성 화합물이 흑린층의 표면에 흡수되어 전기적 이중층(electric double layer)과 트랩 자리(trap site)를 형성하는 단계; 및상기 혼합물과 상기 흑린층의 접촉면에 전하 축척(charge accumulation) 현상이 유도되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 마스크 패턴은 PMMA(polymethyl methacrylate)으로 형성된 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자의 제조 방법
16 16
제9항에 있어서,상기 혼합물의 이온성 화합물의 농도가 높아짐에 따라 상기 혼합물이 도포된 영역의 정공 농도가 증가하는 것을 특징으로 하는,다기능성 단일 채널 흑린 기반 전자 소자의 제조 방법
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2 미래창조과학부 광주과학기술원 글로벌프론티어연구개발사업(하이브리드 인터페이스 기반 미래소재연구) 인공두뇌급 고성능 소자구현을 위한 3D 직접반도체 원천기술개발
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