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파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2019003455
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치가 개시된다. 3차원 광조형 방법은, 조형하고자 하는 3차원 형상의 물체(object)의 3차원 빛의 세기 분포를 제어하기 위한 2차원 파면을 계산하는 단계, 계산된 상기 2차원 파면을 파면 제어기에 투영하는 단계, 및 상기 파면 제어기를 통해 파면이 제어된 빛을 상기 3차원 형상의 물체에 위치한 감광성 수지에 노광하여 3차원 형상의 물체(object)를 조형하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL G02B 26/06 (2006.01.01) G02B 3/00 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC G02B 26/06(2013.01) G02B 26/06(2013.01) G02B 26/06(2013.01)
출원번호/일자 1020170129744 (2017.10.11)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-2005632-0000 (2019.07.24)
공개번호/일자 10-2019-0040587 (2019.04.19) 문서열기
공고번호/일자 (20190731) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.11)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박용근 대전광역시 유성구
2 김규현 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0978857-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.07.31 수리 (Accepted) 9-1-2018-0037147-36
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0739907-99
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-1282529-24
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-0060487-65
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0060489-56
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0308739-62
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0550752-75
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.05.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0550753-10
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.06.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0423606-18
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
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조형하고자 하는 3차원 형상의 물체(object)의 3차원 빛의 세기 분포를 제어하기 위한 2차원 파면을 계산하는 단계;계산된 상기 2차원 파면을 파면 제어기에 투영하는 단계; 및상기 파면 제어기를 통해 파면이 제어된 빛을 상기 3차원 형상의 물체에 위치한 감광성 수지에 노광하여 3차원 형상의 물체(object)를 조형하는 단계를 포함하고, 상기 2차원 파면을 계산하는 단계는,상기 3차원 빛의 세기 분포에 3차원 역 푸리에 변환(Inverse Fourier Transfer)을 수행하여 3차원 푸리에 스펙트럼(spectrum)을 계산하는 단계; 계산된 상기 3차원 푸리에 스펙트럼 중 에발트(Ewald) 구면 상에 위치한 푸리에 스펙트럼을 사영(projection)하여 2차원 푸리에 스펙트럼을 계산하는 단계; 계산된 상기 2차원 푸리에 스펙트럼 중 세기(amplitude) 부분을 상기 파면 제어기로 입사하는 빛의 세기로 대체하는 단계; 계산된 상기 2차원 푸리에 스펙트럼을 3차원 푸리에 공간 내의 에발트 구면 상의 좌표로 사영(projection)하는 단계;상기 3차원 푸리에 공간에 기반하는 3차원 형상의 물체의 근사 세기를 계산하는 단계;계산된 상기 근사 세기와 조형하고자 하는 상기 3차원 형상의 물체(object)의 빛의 세기 간 오차를 계산하는 단계; 및 계산된 상기 오차와 미리 정의된 기준값에 기초하여 상기 근사 세기를 상기 조형하고자 하는 3차원 형상의 물체의 빛의 세기로 대체하는 단계를 포함하며, 계산된 상기 오차가 미리 정의된 기준값보다 큰 경우, 상기 근사 세기를 상기 조형하고자 하는 3차원 형상의 물체의 빛의 세기로 대체한 이후, 상기 오차가 미리 정의된 기준값 이하가 될 때까지 다시 상기 2차원 파면을 계산하는 프로세스를 반복 수행하며, 상기 파면 제어기로 입사하는 빛의 세기로 대체하는 단계는, 상기 파면 제어기로 평면파가 입사하는 경우, 상기 에발트 구면에 해당하는 전 영역이 동일한 세기가 되도록 미리 정의된 특정 세기로 대체하고, 상기 2차원 푸리에 스펙트럼을 3차원 푸리에 공간 내의 에발트 구면 상의 좌표로 사영(projection)하는 단계는, 상기 파면 제어기로 입사하는 빛의 세기로 대체된 2차원 푸리에 스펙트럼을 상기 에발트 구면 위의 좌표로 사영하며, 상기 3차원 형상의 물체(object)를 조형하는 단계는,상기 파면 제어기를 통해 제어된 빛의 크기가 광 집속 장치의 개구부(clear aperture)의 크기가 되도록 제어하는 단계를 포함하고, 계산된 상기 2차원 파면을 상기 파면 제어기에 투영함에 따라 빛이 조형하고자 하는 3차원 형태를 가지며 한번에 조형하며, 상기 조형하고자 하는 형상의 물체가 복수개인 경우, 형상이 서로 다른 복수의 3차원 형상의 물체 각각에 해당하는 상기 2차원 파면을 계산하고, 형상 별로 계산된 2차원 파면을 상기 파면 제어기에 투영하여 제어된 빛을 감광성 수지에 노광함에 따라 별도의 스캐닝(scanning) 없이 한 번의 노광으로 서로 다른 복수의 3차원 형상의 물체를 동시에 조형하는 것을 특징으로 하는 3차원 광조형 방법
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제1항에 있어서, 상기 제어하는 단계는,상기 파면 제어기와 광 집속 장치 사이에 위치하는 릴레이 렌즈군을 이용하여 상기 파면 제어기를 통해 제어된 빛의 크기가 상기 광 집속 장치의 개구부의 크기와 동일해지도록 제어하는 것을 특징으로 하는 3차원 광조형 방법
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제1항에 있어서, 상기 3차원 형상의 물체(object)는 미세 유체 챔버(microfluidic chamber) 또는 이동 스테이지(Translation Stage) 기법에 기초하여 형성되며, 상기 미세 유체 챔버 기법으로 제작되는 경우, 액상인 감광성 수지를 이동시키는 주사기 펌프의 주입 속도는 감광성 수지의 중합 속도에 따라 제어되는 것을 특징으로 하는 3차원 광조형 방법
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감광성 수지가 위치하는 시편부;상기 시편부에 해당하며 조형 대상인 3차원 형상의 물체(object)의 3차원 빛의 세기 분포를 제어하기 위한 2차원 파면을 계산하는 계산부; 및계산된 상기 2차원 파면을 파면 제어기에 투영하고, 상기 파면 제어기를 통해 파면이 제어된 빛을 상기 3차원 형상의 물체에 위치한 감광성 수지에 노광하여 3차원 형상의 물체(object)를 조형하는 광학부를 포함하고, 상기 계산부는,상기 3차원 빛의 세기 분포에 3차원 역 푸리에 변환(Inverse Fourier Transfer)을 수행하여 3차원 푸리에 스펙트럼(spectrum)을 계산하고, 계산된 상기 3차원 푸리에 스펙트럼 중 에발트(Ewald) 구면 상에 위치한 푸리에 스펙트럼을 사영(projection)하여 2차원 푸리에 스펙트럼을 계산하고, 계산된 상기 2차원 푸리에 스펙트럼을 3차원 푸리에 공간 내의 에발트 구면 상의 좌표로 사영(projection)하고, 상기 3차원 푸리에 공간에 기반하는 3차원 형상의 물체의 근사 세기를 계산하고, 계산된 상기 근사 세기와 조형하고자 하는 상기 3차원 형상의 물체(object)의 빛의 세기 간 오차를 계산하고, 계산된 상기 오차와 미리 정의된 기준값에 기초하여 상기 근사 세기를 상기 조형하고자 하는 3차원 형상의 물체의 빛의 세기로 대체하며, 계산된 상기 2차원 푸리에 스펙트럼 중 세기(amplitude) 부분을 상기 파면 제어기로 입사하는 빛의 세기로 대체하고, 상기 파면 제어기로 입사하는 빛의 세기로 대체된 2차원 푸리에 스펙트럼을 상기 에발트 구면 위의 좌표로 사영하며, 계산된 상기 오차가 미리 정의된 기준값보다 큰 경우, 상기 근사 세기를 상기 조형하고자 하는 3차원 형상의 물체의 빛의 세기로 대체한 이후, 상기 오차가 미리 정의된 기준값 이하가 될 때까지 다시 상기 2차원 파면을 계산하는 프로세스를 반복 수행하며, 상기 파면 제어기로 평면파가 입사하는 경우, 상기 에발트 구면에 해당하는 전 영역이 동일한 세기가 되도록 미리 정의된 특정 세기로 대체하고, 상기 조형하고자 하는 형상의 물체가 복수개인 경우, 형상이 서로 다른 복수의 3차원 형상의 물체 각각에 해당하는 상기 2차원 파면을 계산하고, 상기 광학부는, 상기 파면 제어기를 통해 제어된 빛의 크기가 광 집속 장치의 개구부(clear aperture)의 크기가 되도록 제어하여, 계산된 상기 2차원 파면을 상기 파면 제어기에 투영함에 따라 빛이 조형하고자 하는 3차원 형태를 가지며 한번에 조형하며, 상기 조형하고자 하는 형상의 물체가 복수개인 경우, 형상 별로 계산된 2차원 파면을 상기 파면 제어기에 투영하여 제어된 빛을 감광성 수지에 노광함에 따라 별도의 스캐닝(scanning) 없이 한 번의 노광으로 서로 다른 복수의 3차원 형상의 물체를 동시에 조형하는 것을 특징으로 하는 3차원 광조형 장치
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제12항에 있어서, 상기 광학부는,상기 파면 제어기와 광 집속 장치 사이에 위치하는 릴레이 렌즈군을 이용하여 상기 파면 제어기를 통해 제어된 빛의 크기가 광 집속 장치의 개구부(clear aperture)의 크기가 되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 3차원 광조형 장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업 시간 역행 반사 연구단(1단계1차년도)