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환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법 및 이를 통해 제조된 환원된 그래핀 옥사이드를 포함하는 박막 트랜지스터

  • 기술번호 : KST2019012945
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법 및 이를 통해 제조된 환원된 그래핀 옥사이드를 포함하는 박막 트랜지스터를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법은 그라파이트를 산화시켜 그라파이트 옥사이드를 제조하는 단계, 그라파이트 옥사이드를 박리 및 분산시켜 그래핀 옥사이드를 포함하는 분산 용액을 제조하는 단계 및 그래핀 옥사이드를 부분적으로 환원시키기 위하여, 그래핀 옥사이드를 포함하는 분산 용액에 할로겐산을 투입하고 가열하는 단계를 포함한다.
Int. CL C01B 32/198 (2017.01.01) H01L 29/16 (2006.01.01) H01L 29/786 (2006.01.01)
CPC C01B 32/198(2013.01) C01B 32/198(2013.01) C01B 32/198(2013.01)
출원번호/일자 1020170182341 (2017.12.28)
출원인 엘지디스플레이 주식회사, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0080107 (2019.07.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장용균 경기도 파주시
2 박종래 서울특별시 영등포구
3 김창은 경기도 파주시
4 박지수 경기도 고양시 덕양구
5 김유리 강원도 원주시 시청로 ***, *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인인벤싱크 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층 (역삼동, 아레나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-1304041-27
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
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번호 청구항
1 1
그라파이트를 산화시켜 그라파이트 옥사이드를 제조하는 단계; 상기 그라파이트 옥사이드를 박리 및 분산시켜 그래핀 옥사이드를 포함하는 분산 용액을 제조하는 단계; 및상기 그래핀 옥사이드를 부분적으로 환원시키기 위하여, 상기 그래핀 옥사이드를 포함하는 분산 용액에 할로겐산을 투입하고 가열하는 단계를 포함하는, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 그라파이트 옥사이드를 제조하는 단계는,분말 형태의 상기 그라파이트를 산 처리하는 단계; 및과산화수소를 과량 투입하여 산화를 중단하는 단계를 포함하는, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
3 3
제2 항에 있어서, 상기 그라파이트 옥사이드를 제조하는 단계는,증류수를 이용하여 불순물을 제거하기 위한 세척 및 여과하는 단계; 및분말 형태의 그라파이트 옥사이드를 제조하기 위하여 상기 그라파이트 옥사이드를 건조하는 단계를 더 포함하는, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
4 4
제1 항에 있어서, 상기 할로겐산은 염산(HCl), 브롬산(HBr) 및 요오드산(HI)로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나인, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
5 5
제1 항에 있어서, 상기 할로겐산의 농도는 1M 내지 10M인, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
6 6
제1 항에 있어서, 상기 할로겐산을 투입하고 가열하는 단계는 50℃ 내지 100℃의 온도에서 진행되는, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
7 7
제6 항에 있어서, 상기 할로겐산을 투입하고 가열하는 단계는 상기 그래핀 옥사이드와 상기 할로겐산의 반응을 위해 1시간 내지 48시간 동안 유지되는, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
8 8
그라파이트를 산화시켜 그라파이트 옥사이드를 포함하는 분산 용액을 제조하는 단계;상기 분산 용액에 할로겐산을 투입하고 가열하여, 상기 그라파이트 옥사이드의 적어도 일부를 환원시키는 단계; 및상기 환원된 그라파이트 옥사이드를 용매하에서 박리하여 환원된 그래핀 옥사이드를 제조하는 단계를 포함하는, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
9 9
제8 항에 있어서, 상기 그라파이트 옥사이드를 포함하는 분산 용액을 제조하는 단계는,상기 그라파이트를 산 처리하는 단계; 과산화수소를 과량 투입하여 그라파이트의 산화 반응을 중단하는 단계; 및증류수 또는 산을 이용하여 불순물을 제거하기 위한 세척 및 여과하는 단계를 포함하는, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
10 10
제9 항에 있어서, 상기 할로겐산은 염산(HCl), 브롬산(HBr) 및 요오드산(HI)로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나인, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
11 11
제9 항에 있어서, 상기 할로겐산의 농도는 1M 내지 10M인, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
12 12
제9 항에 있어서, 상기 그라파이트 옥사이드의 적어도 일부를 환원시키는 단계는 50℃ 내지 100℃의 온도에서 1시간 내지 48시간 동안 진행되는, 환원된 그래핀 옥사이드의 제조 방법
13 13
상기 제1항 내지 상기 제12항 중 어느 한 항의 제조 방법에 의해 제조된 환원된 그래핀 옥사이드 및 반도체 물질을 포함하는 액티브층;상기 액티브층 상에 배치되는 게이트 절연층;상기 게이트 절연막 상에 베치되는 게이트 전극; 및상기 액티브층에 접촉되는 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는, 박막 트랜지스터
14 14
기판;상기 기판 상에 배치되고, 환원된 그래핀 옥사이드 및 반도체 물질을 포함하는 액티브층;상기 액티브층 상에 배치되는 게이트 절연층;상기 게이트 절연막 상에 베치되는 게이트 전극; 및상기 액티브층에 접촉되는 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는, 박막 트랜지스터
15 15
제14 항에 있어서, 상기 환원된 그래핀 옥사이드의 산소/탄소 원자 비율은 1
16 16
제14 항에 있어서, 상기 환원된 그래핀 옥사이드는 하기 수학식 1로 표시되는 라만 R값이 1
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.