요약 | 본 발명은 전자 소자 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 전자 소자의 제조 방법은, 촉매 금속층 상에 그래핀층을 형성하는 단계, 그래핀층의 적어도 일부를 덮는 스터핑층을 형성하는 단계, 그래핀층 상에 캐리어층을 형성하는 단계, 그래핀층의 하면으로부터 촉매 금속층을 제거하는 단계, 및 그래핀층을 기판 상에 전사하는 단계를 포함한다. |
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Int. CL | H01L 21/28 (2006.01) H01L 29/16 (2006.01) H01L 27/04 (2006.01) |
CPC | H01L 21/28(2013.01) H01L 21/28(2013.01) H01L 21/28(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020150072838 (2015.05.26) |
출원인 | 서울대학교산학협력단 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2016-0139086 (2016.12.07) 문서열기 |
공고번호/일자 | 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2015.05.26) |
심사청구항수 | 4 |