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서로 다른 제1파장(λ1) 및 제2파장(λ2)을 가지는 두 개의 레이저 광이 피측정물을 향하여 조사되도록 형성하는 광원부;상기 광원부 및 상기 피측정물 사이의 광경로 상에 배치되어 광의 일부는 반사시키고 나머지 일부는 통과시킴으로써 광을 분할하는 분할부;상기 분할부에서 반사되어 분할된 광의 광경로 상에 배치되는 반사부;상기 분할부에서 반사 - 상기 반사부에서 반사 - 상기 분할부를 통과하는 과정을 순차적으로 진행하여 입사되는 참조광 및 상기 분할부를 통과 - 상기 피측정물에서 반사 - 상기 분할부에서 반사되는 과정을 순차적으로 진행하여 입사되는 측정광을 측정하는 측정부;상기 측정부에서 측정된 참조광 및 측정광을 비교하여 상기 피측정물까지의 기하학적 길이(L)를 산출하는 계산부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 길이 측정 장치는하기의 식을 사용하여 기하학적 길이(L)를 산출하는 것을 특징으로 하는 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 광원부는주파수 영역에서 일정 간격으로 서로 이격되는 다수 개의 기준주파수들을 가지는 레이저 광을 발생시키는 광 빗(optical comb) 및 외부 레이저를 포함하여 이루어져,상기 광 빗에서 발생된 레이저 광의 주파수를 이용하여 상기 외부 레이저에서 발생된 레이저 광의 주파수가 미리 결정된 주파수로 안정화되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치
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제 3항에 있어서, 상기 광원부는상기 광 빗에 연결되는 원자시계과, 상기 원자시계에 연결되는 위상잠금회로(PLL, Phase Locked Loop)를 더 포함하여 이루어지며, 상기 외부 레이저는 상기 위상잠금회로에 연결되어,상기 광 빗에서 발생되는 레이저 광 및 상기 외부 레이저에서 발생되는 레이저 광이 동기화됨으로써 상기 외부 레이저에서 발생되는 레이저 광의 주파수가 안정화되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치
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제 4항에 있어서, 상기 광원부는상기 외부 레이저에서 발생되는 레이저 광의 주파수가 하기의 식에 따라 안정화되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치
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제 3항에 있어서, 상기 광원부는상기 광 빗에 연결되는 원자시계과, 상기 광 빗에 연결되는 페브리-페로 필터(Fabry-Perot filter) 및 상기 페브리-페로 필터에 연결되는 FBG(Fiber Bragg Grating)로 이루어지는 필터부를 더 포함하여 이루어지며,상기 광 빗에서 발생되는 레이저 광이 상기 필터부를 통과함으로서 일부 모드만이 선택되며, 상기 일부 모드만 선택된 레이저 광이 서큘레이터에 의하여 상기 외부 레이저로 입사됨으로써 상기 외부 레이저에서 발생되는 레이저 광의 주파수가 안정화되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치
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제 6항에 있어서, 상기 광원부는상기 외부 레이저에서 발생되는 레이저 광의 주파수가 하기의 식에 따라 안정화되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치
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제 3항에 있어서, 상기 광원부는상기 외부 레이저에서 발생되며 상기 광 빗에 의해 안정화된 주파수를 가진 레이저 광을 분할하여 진행시키는 광 커플러(OC, Optic Coupler), 입사되는 광의 2차 조화파를 생성함으로써 통과되는 광의 파장을 반으로 접어주는 PPLN(Periodically Poled Lithium Niobate), 파장에 따라 광을 통과 또는 반사시키는 이색거울(DM, Dichroic Mirror)을 더 포함하여 이루어지며,상기 광 커플러에서 분할된 광 중 하나는 상기 이색거울을 향하여 진행되어 상기 이색거울을 통과하며, 상기 광 커플러에서 분할된 광 중 다른 하나는 상기 PPLN을 통과한 후 상기 이색거울을 향하여 진행되어 상기 이색거울에서 반사되어, 상기 이색거울을 통과한 광 및 상기 이색거울에서 반사된 광이 동일 광경로로 진행하도록 이루어져,상기 광원부에서 조사되는 광이 제1파장(λ1) 및 제2파장(λ2)의 두 파장을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치
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제 2항에 있어서, 상기 길이 측정 장치는측정된 기하학적 길이(L) 값 및 하기의 식을 사용하여 매질의 굴절률(n)을 산출하는 것을 특징으로 하는 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 길이 측정 장치는상기 측정부로 입사되는 레이저 광의 위상(φ)을 측정하도록 형성되며,하기의 식을 이용하여 광로길이(D)를 산출하는 것을 특징으로 하는 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 길이 측정 장치는상기 측정부로 입사되는 레이저 광의 주파수(f)를 측정하도록 형성되며,하기의 식을 이용하여 광로길이(D)를 산출하는 것을 특징으로 하는 두 파장 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 장치
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