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다음 단계를 포함하는 다성분계 나노패턴의 제조방법:(a) 프리패턴이 형성된 기판에 유기 또는 무기물질로 구성된 군에서 선택된 2종 이상의 다성분 물질의 필름을 증착하는 단계; 및(b) 이온식각공정을 통해 상기 다성분 물질을 프리패턴의 측면에 재증착하여 다성분계 나노패턴을 형성하는 단계
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다음 단계를 포함하는 다성분계 나노패턴의 제조방법:(a) 기판에 유기 또는 무기물질로 구성된 군에서 선택된 2종 이상의 다성분 물질의 필름을 도포한 다음, 고분자 패턴을 형성하는 단계;(b) 상기 고분자 패턴의 측면에 이온식각공정을 통해 상기 다성분 물질을 재증착하여 나노 두께의 다성분계 나노패턴을 형성하는 단계
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 (a) 단계의 고분자 패턴은 기판 상에 고분자를 증착시키고 리소그래피 또는 임프린팅 공정을 수행하여 형성하는 것을 특징으로 하는 다성분계 나노패턴의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 (a) 단계의 다성분 물질의 필름은 다성분 물질로 구성된 단층구조의 필름 또는 다성분 물질이 포함된 다층구조의 필름인 것을 특징으로 하는 다성분계 나노패턴의 제조방법
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5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 (b) 단계 이후에 (c) 이온식각공정을 통해 다성분 물질의 필름의 잔여층을 제거하는 단계를 추가로 포함하는 다성분계 나노패턴의 제조방법
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6
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 (b) 단계의 이온식각공정은 밀링 또는 스퍼터링으로 수행하는 것을 특징으로 하는 다성분계 나노패턴의 제조방법
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7
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 이온식각공정은 0
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8
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유기물질은 고분자이고, 무기물질은 금속, 금속산화물 또는 금속황화물인 것을 특징으로 하는 다성분계 나노패턴의 제조방법
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9
제8항에 있어서, 상기 금속은 Au, Ag, Cu, Al, Ni, Pt, Pd, Sn, Mo, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Zn, In, W, Ir 및 Si으로 구성된 군에서 2종 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 다성분계 나노패턴의 제조방법
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10
제9항에 있어서, 상기 금속은 Au-Cu, Au-Pt, Au-Ni, Au-Ag, Au-Pd, Pd-Ag, Ni-Sn, Mo-Ni, Au-Al, Au-Sn, Au-Mo, Au-Ti, Au-Cr, Au-Mn, Au-Fe, Au-Co, Au-Zn, Au-In, Au-W, Au-Ir, Au-Si, Ag-Cu, Ag-Al, Ag-Ni, Ag-Pt, Ag-Pd, Ag-Sn, Ag-Mo, Ag-Ti, Ag-Cr, Ag-Mn, Ag-Fe, Ag-Zn, Ag-In, Ag-W, Ag-Ir 및 Ag-Si으로 구성된 군에서 선택된 2성분 물질 또는 Au-Ag-Cu, Au-Cu-Pt, Au-Ag-Pt, Au-Ag-Pd, Au-Cu-Pd, Ag-Cu-Pt 및 Ag-Cu-Pd으로 구성된 군에서 선택된 3성분 물질인 것을 특징으로 하는 다성분계 나노패턴의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프리패턴은 폴리스티렌, 키토산, 폴리비닐알코올(polyvinylalcohol), 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA), 폴리비닐 피롤리돈(polyvinyl pyrrolidone), 포토레지스트(photoresist, PR) 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 하는 다성분계 나노패턴의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 단층구조 또는 다층구조의 필름의 두께는 0
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제1항 또는 제2항의 방법에 의해 제조되고, 금속, 금속산화물, 금속황화물 및 고분자로 구성된 군에서 선택된 2종 이상의 다성분 물질로 구성된 다성분계 나노패턴
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제13항의 다성분계 나노패턴을 포함하는 촉매
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제13항의 다성분계 나노패턴을 포함하는 센서
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