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박막의 상변화를 이용한 물리적 박리를 통한 유연 전자소자의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020004862
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명인 박막의 상변화를 이용한 물리적 박리를 통한 유연 전자소자의 제조 방법은 모기판 상에 상변화물질 및 버퍼층을 순차적으로 증착하는 단계; 외력에 의해 상기 상변화물질 상으로 응력이 인가되고, 상기 상변화물질의 상이 변화되는 단계; 상기 버퍼층 상부에 무기물 기반의 고성능 전자소자를 제작하는 단계; 상기 전자소자에 캐리어 기판을 부착하여 물리적으로 소자를 박리하는 단계; 및 상기의 박리된 전자소자를 타겟 기판에 부착한 뒤, 상기 캐리어 기판을 제거하여 유연 전자소자를 제작하는 단계;를 포함한다.
Int. CL H01L 45/00 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020180168498 (2018.12.24)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0051446 (2020.05.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020180134130   |   2018.11.05
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.12.24)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이건재 대전광역시 유성구
2 김도현 대전광역시 유성구
3 이한얼 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울시 서초구 서운로**, ***호(서초동, 중앙로얄오피스텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-1298163-36
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2019-0038412-44
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0301981-11
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
8 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0671232-18
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.07.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0702065-17
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2020-0702066-52
11 등록결정서
Decision to grant		 2020.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0833702-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
모기판 상에 상변화물질 및 버퍼층을 순차적으로 증착하는 단계;외력에 의해 상기 상변화물질 상으로 응력이 인가되고, 상기 상변화물질의 상이 변화되는 단계;상기 버퍼층 상부에 제작된 전자소자 상에 캐리어 기판을 부착하여 물리적으로 소자를 박리하는 단계; 및상기의 박리된 전자소자를 타겟 기판에 부착한 뒤, 상기 캐리어 기판을 제거하여 유연 전자소자를 제작하는 단계;를 포함하는,박막의 상변화를 이용한 물리적 박리를 통한 유연 전자소자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 상변화 물질은 몰리브덴(Mo) 또는 텅스텐(W)을 포함하는 물질인,박막의 상변화를 이용한 물리적 박리를 통한 유연 전자소자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 버퍼층은 옥사이드, 나이트라이드 및 옥사이드와 나이트라이드의 조합물을 포함한 그룹 중 어느 하나인,박막의 상변화를 이용한 물리적 박리를 통한 유연 전자소자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 외력은 플라즈마, 열, 초음파, 자기장, 기계적 힘을 포함한 그룹 중 어느 하나인,박막의 상변화를 이용한 물리적 박리를 통한 유연 전자소자의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 버퍼층 상부 상에 전자소자의 제작은,응력 인가 전 또는 상기 상변화물질의 상 변화 후에 이루어지는,박막의 상변화를 이용한 물리적 박리를 통한 유연 전자소자의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.