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기판의 제조 공정을 수행하는 단계; 및 상기 기판의 검사 공정을 수행하는 단계를 포함하되,상기 기판의 검사 공정을 수행하는 단계는:상기 기판 상의 다이들을 측정하여 다이 이미지들을 획득하는 단계;상기 다이 이미지들에 서로 다른 색상들을 부여하여 컬러 이미지들을 획득하는 단계;상기 컬러 이미지들을 중첩하여 상기 색상들의 혼합 색상을 갖는 중첩 이미지를 획득하는 단계; 및상기 중첩 이미지 내에서 상기 컬러 이미지들의 색상들 중 어느 하나와 동일한 색상을 갖는 결함 이미지가 있는지를 판별하는 단계를 포함하는 기판 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 다이들은 제 1 내지 제 3 다이들을 포함하고,상기 다이 이미지들은 상기 제 1 내지 제 3 다이들에 각각 대응되는 제 1 내지 제 3 다이 이미지들을 포함하고,상기 컬러 이미지들은 상기 제 1 내지 제 3 다이 이미지들에 각각 대응되는 제 1 내지 제 3 컬러 이미지들을 포함하고, 상기 컬러 이미지들은 각각 빨간색, 녹색, 및 파란색을 갖는 제 1 내지 제 3 배경 컬러 이미지들과, 상기 제 1 내지 제 3 배경 컬러 이미지들 내의 표시되어 흑색을 갖는 제 1 내지 제 3 패턴 이미지들을 포함하는 기판 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 중첩 이미지는:상기 제 1 내지 제 3 배경 컬러 이미지들의 중첩에 의해 획득되는 중첩 배경 이미지; 및상기 중첩 배경 이미지 내에 배치되고, 상기 제 1 내지 제 3 패턴 이미지들의 중첩에 의해 획득되는 중첩 패턴 이미지를 더 포함하는 기판 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 중첩 이미지가 상기 제 1 내지 제 3 컬러 이미지들 중 2개의 중첩에 의해 획득될 경우, 상기 중첩 배경 이미지는 노란색, 분홍색, 또는 청록색의 색상을 갖고, 상기 결함 이미지는 빨간색, 녹색, 또는 파란색의 색상을 갖는 기판 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 중첩 이미지가 상기 제 1 내지 제 3 컬러 이미지들의 중첩에 의해 획득될 경우, 상기 결함 이미지가 있는지를 판별하는 단계는 상기 중첩 이미지 내에 싱글 결함 이미지가 있는지를 판별하는 단계인 기판 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 중첩 배경 이미지는 백색의 색상을 갖는 기판 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 중첩 이미지 내에 상기 컬러 이미지들의 색상들의 중간 혼합 색상을 갖는 이중 결함 이미지가 있는지를 판별하는 단계를 더 포함하는 기판 제조 방법
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8
제 7 항에 있어서,상기 이중 결함 이미지는 노란색, 분홍색, 또는 청록색의 색상을 갖는 기판 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 이중 결함 이미지가 발생된 상기 다이들을 불량으로 표시하는 단계를 더 포함하고, 상기 이중 결함 이미지가 노란색의 색상을 가질 경우, 제 1 및 제 2 다이들은 불량으로 표시되고,상기 이중 결함 이미지가 분홍색의 색상을 가질 경우, 제 1 및 제 3 다이들은 불량으로 표시되고,상기 이중 결함 이미지가 청록색의 색상을 가질 경우, 제 2 및 제 3 다이들은 불량으로 표시되는 기판 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 결함 이미지에 근거하여 상기 제조 공정이 비정상적인지를 판별하는 단계;상기 비정상적인 제조 공정의 불량 원인을 도출하는 단계; 및상기 불량 원인에 따라 상기 제조 공정의 조건 일부를 변경하는 단계를 더 포함하는 기판 제조 방법
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