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기판 내에 복수의 패턴을 형성하는 것;상기 기판 내의 제1 영역 내지 제n 영역(n은 2 이상의 자연수)에 각각에 대한 제1 이미지 내지 제n 이미지를 생성하는 것, 상기 제1 영역 내지 제n 영역은 서로 중첩되지 않고, 상기 제1 영역 내지 제n 영역은 각각 상기 복수의 패턴 중 적어도 일부를 포함하고;상기 제1 이미지 내지 제n 이미지에 대한 병합 이미지를 생성하는 것; 및상기 병합 이미지를 이용하여 상기 복수의 패턴 중 측정 대상에 대한 CD를 측정하는 것을 포함하며,상기 병합 이미지는 상기 제1 이미지 내지 상기 제n 이미지 각각보다 해상도가 높은, CD 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 이미지 내지 상기 제n 이미지를 생성하는 것은,상기 제1 영역 내지 상기 제n 영역에 각각에 대하여 주사 전자 현미경을 이용하여 주사 방향을 제1 방향으로 하여 스캔하는 것을 포함하고,상기 CD를 측정하는 것은,상기 측정 대상에 대한 제2 방향의 CD를 측정하는 것을 포함하는, CD 측정 방법
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제2항에 있어서,상기 제2 방향은 상기 제1 방향과 직교하는, CD 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 이미지 내지 상기 제n 이미지를 생성하는 것은,상기 제1 영역 내지 상기 제n 영역 중 일부에 대하여는 주사 전자 현미경을 이용하여 주사 방향을 제1 방향으로 하여 스캔하는 것, 및상기 제1 영역 내지 상기 제n 영역 중 다른 일부에 대하여는 주사 전자 현미경을 이용하여 주사 방향을 제2 방향으로 하여 스캔하는 것을 포함하며,상기 제1 방향과 제2 방향은 서로 직교하는, CD 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 이미지 내지 상기 제n 이미지를 생성하는 것은,상기 제1 영역 내지 상기 제n 영역 각각을 동일한 조건 하에서 주사 전자 현미경으로 스캔하는 것을 포함하는, CD 측정 방법
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제5항에 있어서,상기 동일한 조건은, 배율, 밝기 및 픽셀 사이즈 포함하는, CD 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 스크라이브 레인으로 분리되는 복수의 칩 영역을 포함하고,상기 제1 영역 내지 상기 제n 영역은 각각 서로 다른 칩 영역에 포함되는, CD 측정 방법
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제7항에 있어서,상기 제1 영역 내지 상기 제n 영역은 각각 서로 다른 칩 영역 내에서 상대적 위치가 동일한, CD 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 영역 내지 제n 영역은 각각 서로 동일한 패턴을 적어도 하나 포함하는, CD 측정 방법
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기판 내에 복수의 패턴을 형성하는 것;상기 기판 내의 제1 영역 내지 제n 영역(n은 2 이상의 자연수)에 각각에 대한 제1 이미지 내지 제n 이미지를 생성하는 것, 상기 제1 영역 내지 제n 영역은 서로 중첩되지 않고, 상기 제1 영역 내지 제n 영역은 각각 상기 복수의 패턴 중 적어도 일부를 포함하고;상기 제1 이미지 내지 제n 이미지에 대한 병합 이미지를 생성하는 것; 및상기 병합 이미지를 이용하여 상기 복수의 패턴 중 측정 대상에 대한 CD를 측정하는 것을 포함하며,상기 제1 이미지 내지 상기 제n 이미지를 생성하는 것은,상기 제1 영역 내지 상기 제n 영역에 각각에 대하여 주사 전자 현미경을 이용하여 주사 방향을 제1 방향으로 하여 스캔하는 것을 포함하고,상기 CD를 측정하는 것은,상기 측정 대상에 대한 제2 방향의 CD를 측정하는 것을 포함하며,상기 기판은 스크라이브 레인으로 분리되는 복수의 칩 영역을 포함하고,상기 제1 영역 내지 상기 제n 영역은 각각 서로 다른 칩 영역에 포함되고,상기 병합 이미지는 상기 제1 이미지 내지 상기 제n 이미지 각각보다 해상도가 높은, CD 측정 방법
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