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투명전극 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014059338
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 투명 전도성 산화물과 전도도가 우수한 금속선을 결합함으로써 낮은 비저항 및 투과도를 확보할 수 있는 새로운 구조의 투명전극 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다. 본 발명에 의한 투명전극은, 전도성과 투과성을 갖는 투명 전도성 산화물층, 투명 전도성 산화물층의 일면에 접하여 금속선층을 형성하는 복수의 금속선을 포함하고, 금속선층의 상하면에 투명 전도성 산화물층이 적층된 2n+1층(n은 1 이상의 정수)의 샌드위치 구조를 갖는다. 본 발명에 의한 투명전극은 복수의 금속선을 투명 전도성 산화물층 사이에 삽입함으로써, 낮은 저항을 확보할 수 있고, 금속선의 폭, 두께, 배치 간격 조절을 통해 투과도를 확보할 수 있다. 따라서, 금속의 낮은 비저항 특성과 투명 전도성 산화물의 높은 투과도 특성을 동시에 가짐으로써 다양한 전자소자의 투명전극으로 이용될 수 있다.
Int. CL H01B 5/14 (2006.01) H01B 1/08 (2006.01)
CPC H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01)
출원번호/일자 1020110003248 (2011.01.12)
출원인 경희대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1260299-0000 (2013.04.26)
공개번호/일자 10-2012-0081876 (2012.07.20) 문서열기
공고번호/일자 (20130506) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.01.12)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김한기 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 정진아 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서재승 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***-*(논현동) ***호(스카이국제특허사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 경기도 용인시 기흥구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0026841-41
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2011-0338449-30
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.01.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.02.15 수리 (Accepted) 9-1-2012-0009298-03
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0447123-77
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0797164-56
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0894722-21
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0997327-37
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-1057840-80
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.12.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1057843-16
11 등록결정서
Decision to grant
2013.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0280240-28
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.09 수리 (Accepted) 4-1-2015-5029677-09
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164254-26
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번호 청구항
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(a) 기판 위에 투명 전도성 산화물 잉크를 잉크젯 방식으로 인쇄하여 투명 전도성 산화물층을 형성하는 단계;(b) 상기 투명 전도성 산화물층 위에 금속 잉크를 잉크젯 방식으로 인쇄하여 복수의 금속선을 인쇄하는 단계; 및(c) 상기 복수의 금속선으로 이루어진 금속선층 위에 상기 투명 전도성 산화물 잉크를 잉크젯 방식으로 인쇄하여 투명 전도성 산화물층을 형성하는 단계;를 포함하되,상기 금속선층의 상하면이 상기 투명 전도성 산화물층으로 덮여 전체적으로 2n+1층(n은 1 이상의 정수)의 샌드위치 구조가 되도록 상기 투명 전도성 산화물층 및 상기 금속선층을 형성하는 것을 특징으로 하는 투명전극의 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 복수의 금속선을 일정한 형태의 메시를 형성하는 그물망 구조로 형성하는 것을 특징으로 하는 투명전극의 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 복수의 금속선 중 일부를 제 1 방향으로 형성하고, 나머지 일부를 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 배치하는 것을 특징으로 하는 투명전극의 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 투명 전도성 산화물층은 ITO, IZO, IZTO, ATO, AZO, GZO, FTO, ZTO, ZnO, FZO, IGZO 중에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극의 제조방법
10 10
제 6 항에 있어서,상기 금속선은 Ag, Au, Cu, Al
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제 6 항에 있어서,상기 (c) 단계 이후, 상기 금속선층의 상하면이 상기 투명 전도성 산화물층으로 덮여 전체적으로 2n+1층(n은 1 이상의 정수)의 샌드위치 구조로 형성된 투명전극을 급속 열처리(rapid thermal annealing: RTA)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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1 경기도 경희대학교산학협력단 경기도 지역협력 연구센터 사업 (GRRC) 고효율 원통형 스퍼터를 이용한 Ga-doped ZnO(GZO)투명 전극 개발