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투명 전도성 산화물층 및 상기 투명 전도성 산화물층과 접하는 금속층을 포함하고, 상기 금속층의 상하면에 상기 투명 전도성 산화물층이 적층된 2n+1층(n은 1 이상의 정수)의 샌드위치 구조를 갖는 다층 투명 전도막; 및상기 다층 투명 전도막의 일면에 접하는 복수의 금속선;을 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극
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제 1 항에 있어서,상기 다층 투명 전도막은 그 두께가 일정하고, 상기 복수의 금속선을 부분적으로 감쌀 수 있도록 상기 복수의 금속선에 대응하는 부분이 상기 금속선의 두께에 대응하는 높이로 융기된 것을 특징으로 하는 투명전극
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제 1 항에 있어서,상기 금속층과 상기 금속선은 동일한 금속 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 투명전극
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제 3 항에 있어서,상기 금속 물질은 Ag, Au, Cu, Al
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 금속선은 일정한 형태의 메시를 형성하는 그물망 구조로 배치되는 것을 특징으로 하는 투명전극
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 금속선 중 일부는 제 1 방향으로 배치되고, 나머지 일부는 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 투명전극
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투명 기판;상기 투명 기판 위에 놓이는 복수의 금속선; 및상기 투명 기판 위에 적층되어 상기 복수의 금속선을 덮고, 투명 전도성 산화물층 및 상기 투명 전도성 산화물층과 접하는 금속층을 포함하되, 상기 금속층의 상하면에 상기 투명 전도성 산화물층이 적층된 2n+1층(n은 1 이상의 정수)의 샌드위치 구조를 갖는 다층 투명 전도막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 안테나
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기판 위에 복수의 금속선을 형성하는 단계; 및상기 복수의 금속선이 형성된 상기 기판 위에 상기 복수의 금속선을 덮도록 다층 투명 전도막을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 다층 투명 전도막을 형성하는 단계는,상기 복수의 금속선이 형성된 상기 기판 위에 상기 복수의 금속선을 덮도록 투명 전도성 산화물층을 형성하는 단계,상기 투명 전도성 산화물층 위에 금속층을 형성하는 단계, 및상기 금속층 위에 투명 전도성 산화물층을 형성하는 단계를 포함하되,상기 금속층의 상하면에 상기 투명 전도성 산화물층이 배치되어 전체적으로 2n+1층(n은 1 이상의 정수)의 샌드위치 구조가 되도록 상기 투명 전도성 산화물층 및 상기 금속층을 적층하는 것을 특징으로 하는 투명전극의 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 금속선을 형성하는 단계는,상기 복수의 금속선의 배치 구조에 대응하는 패턴홈을 갖는 패턴 마스크를 상기 기판 위에 배치하는 단계, 및상기 금속층과 같은 재질의 금속 타겟을 이용한 스퍼터 공정을 통해 상기 금속 타겟의 입자를 상기 패턴홈을 통과시켜 상기 기판 위에 입사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극의 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 금속선을 형성하는 단계는,상기 기판 위에 포토레지스트층을 형성하는 단계,상기 복수의 금속선의 배치 구조에 대응하는 패턴을 갖는 포토 마스크를 상기 포토레지스트층 위에 배치하고, 상기 포토 마스크의 패턴에 따라 상기 포토레지스트층을 노광하는 단계,상기 포토레지스트층을 현상하여 상기 포토레지스트층에 상기 복수의 금속선의 배치 구조에 대응하는 패턴홈을 형성하는 단계,상기 패턴홈에 상기 금속선을 구성하기 위한 금속 물질을 도포하는 단계, 및상기 포토레지스트층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극의 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 투명 전도막을 형성하는 각각의 단계는, 상기 투명 전도성 산화물층과 동일한 재질의 산화물 타겟과 상기 금속층과 동일한 재질의 금속 타겟을 이용한 스퍼터 공정을 통해 차례로 수행되는 것을 특징으로 하는 투명전극의 제조방법
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제 11 항에 있어서,상기 스퍼터 공정은,상기 복수의 금속선이 형성된 상기 기판, 상기 산화물 타겟이 구비된 제 1 스퍼터건, 상기 금속 타겟이 구비된 제 2 스퍼터건을 같은 진공 챔버에 넣고, 상기 제 1 스퍼터건 및 상기 제 2 스퍼터건을 교대로 작동시켜 상기 기판 위에 상기 투명 전도성 산화물층 및 상기 금속층을 차례로 적층하는 것을 특징으로 하는 투명전극의 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 기판으로 필름형의 플렉시블 기판을 이용하고,상기 플렉시블 기판의 이동 경로 중에 상기 금속선과 동일한 재질의 금속 타겟을 갖는 제 1 스퍼터건과 상기 투명 전도 산화물층과 동일한 재질의 산화물 타겟을 갖는 제 2 스퍼터건과 상기 금속층과 동일한 재질의 금속 타겟을 갖는 제 3 스퍼터건과 상기 산화물 타겟을 갖는 제 4 스퍼터건을 차례로 배치하되, 상기 플렉시블 기판과 상기 제 1 스퍼터건 사이에는 상기 복수의 금속선의 배치 구조에 대응하는 패턴홈을 갖는 패턴 마스크를 배치하고,상기 플렉시블 기판을 이동시키면서 상기 제 1 스퍼터건, 상기 제 2 스퍼터건, 상기 제 3 스퍼터건 및 상기 제 4 스퍼터건을 작동시켜 상기 플렉시블 기판 위에 상기 복수의 금속선, 상기 투명 전도 산화물층, 상기 금속층 및 상기 투명 전도 산화물층을 형성하는 것을 특징으로 하는 투명전극의 제조방법
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