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기술번호
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KST2014065638
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자료제공기관
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미래기술마당
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기술공급기관
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경북대학교
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기술명
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수직 공진 표면광 레이저를 이용한 간섭계
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기술개요
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본 발명은 기존의 He-Ne 레이저를 이용하는 간섭계 대신에 단일 모드 수직 공진 표면광 레이저를 이용한 간섭계를 제공하고 있다. 수직 공진 표면광 레이저는 표면에 수직으로 빛이 방출 되므로 미세 광학계 또는 회절 광학계와 결합이 용이하고 표면 실장이 용이하여 단순하면서도 소형화된 간섭계 구성을 제공한다. 본 발명은 하나의 예로써, 단일모드이며 웨이퍼로부터 수직방향인 평행빔을 발광하는 수직 공진 표면광 레이저(VCSEL); 상기 평행빔을 일부 반사 및 일부 투과하는 빔 분할기; 상기 평행빔의 경로와 수직인 위치에 고정 배열되며, 상기 빔 분할기에서 반사된 빔을 반사하는 제1 반사경; 상기 평행빔의 경로 상에 이동가능하도록 배열되며, 상기 빔 분할기를 투과한 빔을 반사하는 제2 반사경; 및 상기 평행빔의 경로와 수직인 위치에 배열되며, 상기 제1 반사경에서 반사되고 상기 빔 분할기에서 다시 투과된 빔 및 상기 제2 반사경에서 반사되고 상기 빔 분할기에서 다시 반사된 빔을 검출하여, 두 빔의 광 경로차에 따른 간섭무늬에 의해 상기 제2 반사경의 위치를 검출하는 광 검출기;를 포함하는 수직 공진 표면광 레이저를 이용한 간섭계를 제공한다.레이저, 수직공진표면광레이저, 간섭계, 반도체 레이저, VCSEL
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개발상태
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연구실환경 테스트
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기술의 우수성
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1) 단일 모드 수직 공진 표면광 레이저(VCSEL)를 광원으로 사용하여 간섭계 구성
2) 투과형 격자 및 반사형 격자를 일면에 형성한 기판을 구성
3) 큐브형 반사경는 같이 빔을 그대로 반사하는 것이 아니고 일정거리 수평하게 이동시켜 반사하도록 형성
4) 단일모드이며 웨이퍼로부터 수직방향인 평행빔을 발광하는 수직 공진 표면광 레이저(VCSEL) 평행빔을 일부 반사 및 일부 투과하는 빔 분할기 및 평행빔의 경로와 수직인 위치에 고정 배열
5) 정육면체 큐브형의 빔 분할기의 외측 표면에 VCSEL을 솔더범프를 통해 플립칩 본딩하여 표면실장할 수 있으며, 또한 포토다이오드를 광검출기로 사용할 경우, VCSEL과 마찬가지로 평면형 소자이기 때문에 빔 분할기 표면에 실장 가능
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응용분야
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광학, 반도체, 나노, 디스플레이, 레이저, 광학 설계, 열 설계, LED, OLED
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시장규모 및 동향
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희망거래유형
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사업화적용실적
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도입시고려사항
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