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반도체 집적 회로에서 형성되는 인덕터

  • 기술번호 : KST2015112730
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 반도체 집적회로에서 형성되는 인덕터에 대해 개시하고 있다. 본 발명의 가장 큰 특징은, 반도체 기판 상의 고주파 집적회로 등에서 사용되는 인덕터의 구성요소인 금속선(Metal Line)을 여러 갈래로 나누어 감아 준다는 것이다. 본 발명에 따르면, 높은 인덕턴스 값 및 높은 Q-인자(Quality factor)를 가지는 이점이 있다.반도체 집적회로, 고주파, 인덕터, Quality factor, 인덕턴스, 여러 가닥
Int. CL H01L 27/02 (2006.01)
CPC H01L 28/10(2013.01) H01L 28/10(2013.01) H01L 28/10(2013.01) H01L 28/10(2013.01) H01L 28/10(2013.01)
출원번호/일자 1020070044553 (2007.05.08)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0821618-0000 (2008.04.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080416) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.08)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍성철 대한민국 대전광역시 유성구
2 박창근 대한민국 경기 수원시 영통구
3 이유미 대한민국 대구 달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허진석 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주김장리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0341586-20
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.02.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.03.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0011991-01
4 등록결정서
Decision to grant		 2008.03.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0146107-92
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 집적 회로에서 형성되며 제1 단자 및 제2 단자를 가지는 인덕터에 있어서,상기 인덕터를 형성하는 금속선이, 상기 제1 단자 및 제2 단자 사이에서, 적어도 2가닥 이상으로 나뉘어진 형태로 반도체 집적 회로의 동일한 면 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 인덕터
2 2
제1항에 있어서, 상기 금속선이:한 가닥으로 이루어져 감기는 제1 금속선 부분과;두 가닥으로 이루어져, 상기 두 가닥 중 하나는 상기 제1 금속선 부분의 내측으로 감기고, 상기 두 가닥 중 다른 하나는 상기 제1 금속선 부분의 외측으로 감기는 제2 금속선 부분;을 포함하는 것을 특징으로 하는 인덕터
3 3
반도체 기판과;상기 반도체 기판 상에 형성된 제1 절연체층과;상기 제1 절연체층 상에 소정의 폭과 길이로 각각 분리되게 형성된 제1 하부 금속선 및 제2 하부 금속선과;상기 제1 하부 금속선 및 제2 하부 금속선을 덮도록 형성된 제2 절연체층과;상기 제2 절연체층에 형성되되, 한 가닥으로 이루어져 감기는 제1 금속선 부분과, 두 가닥으로 이루어져 상기 두 가닥 중 하나는 상기 제1 금속선 부분의 내측으로 감기고, 상기 두 가닥 중 다른 하나는 상기 제1 금속선 부분의 외측으로 감기는 제2 금속선 부분을 포함하는 상부 금속선과;상기 제2 절연체층에 형성되며, 상기 제1 하부 금속선과 비아 콘택으로 연결되는 제1 단자와;상기 제2 절연체층에 형성되며, 상기 제2 하부 금속선과 비아 콘택으로 연결되는 제2 단자와;상기 상부 금속선의 제1 금속선 부분과 상기 제1 하부 금속선을 연결하는 제1 비아 콘택과;상기 상부 금속선의 제2 금속선 부분과 상기 제2 하부 금속선을 연결하는 제2 비아 콘택;을 구비하는 인덕터
4 4
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 인덕터가 CMOS 소자 제조공정에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 인덕터
5 5
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 인덕터가 화합물 반도체 소자 제조공정에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 인덕터
6 6
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 인덕터의 금속선이 그라운드 실드 패턴의 상부에 형성된 것을 특징으로 하는 인덕터
7 7
반도체 기판과;상기 반도체 기판 상에 분리된 다수의 패턴 영역을 갖도록 형성된 그라운드 실드 패턴들과;상기 그라운드 실드 패턴들을 덮도록 형성된 최하부 절연체층과;상기 그라운드 실드 패턴들을 서로 연결하기 위해 상기 최하부 절연체층 상에 형성되는 연결 금속선과;상기 그라운드 실드 패턴들과 상기 연결 금속선을 서로 연결시키기 위한 하부 비아 콘택과;상기 연결 금속선을 덮도록 형성된 제1 절연체층과;상기 제1 절연체층 상에 소정의 폭과 길이로 각각 분리되게 형성된 제1 하부 금속선 및 제2 하부 금속선과;상기 제1 하부 금속선 및 제2 하부 금속선을 덮도록 형성된 제2 절연체층과;상기 제2 절연체층에 형성되되, 한 가닥으로 이루어져 감기는 제1 금속선 부분과, 두 가닥으로 이루어져 상기 두 가닥 중 하나는 상기 제1 금속선 부분의 내측으로 감기고, 상기 두 가닥 중 다른 하나는 상기 제1 금속선 부분의 외측으로 감기는 제2 금속선 부분을 포함하는 상부 금속선과;상기 제2 절연체층에 형성되며, 상기 제1 하부 금속선과 비아 콘택으로 연결되는 제1 단자와;상기 제2 절연체층에 형성되며, 상기 제2 하부 금속선과 비아 콘택으로 연결되는 제2 단자와;상기 상부 금속선의 제1 금속선 부분과 상기 제1 하부 금속선을 연결하는 제1 비아 콘택과;상기 상부 금속선의 제2 금속선 부분과 상기 제2 하부 금속선을 연결하는 제2 비아 콘택;을 구비하는 인덕터
8 8
제7항에 있어서, 상기 그라운드 실드 패턴들의 각각이 상기 상부 금속선이 감긴 방향과 직각을 이루도록 형성된 것을 특징으로 하는 인덕터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.