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인덕턴스와 커패시턴스가 동시에 변화하는 가변 수동 소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015119417
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가변 수동 소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 가변 수동 소자는 절연기판, 절연기판상에 형성된 바닥전극부, 바닥전극부상에서 바닥전극부와 대향 이격되도록 형성되고, 바닥전극부와 함께 커패시터를 구성하는 금속층, 금속층상에서 금속층과 대향 이격되도록 형성된 나선형 인덕터 및, 절연기판 및 금속층 사이에 형성되어 금속층이 바닥전극부 및 나선형 인덕터와 이격되도록 지지하고, 온도 변화에 따라 금속층을 절연기판에 대하여 수직방향으로 위치 이동시키는 열 구동부를 포함하며, 금속층이 위치 이동함에 따라 인덕턴스 및 커패시턴스가 동시에 가변되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 단일 소자로서 인덕턴스와 커패시턴스를 동시에 변화시킬 수 있기 때문에 가변 인덕터와 가변 커패시터를 각각 따로 제작하는 방법에 비해 소요면적을 최소화 할 수 있으므로 제작비용을 절감할 수 있다. 또한, 가변 커패시터와 가변 인덕터가 하나의 구동 회로로서 동작하기 때문에 구동 회로를 집적화 할 수 있다. MEMS, 가변 수동 소자,가변 인덕터, 가변 커패시터
Int. CL H01L 27/02 (2006.01)
CPC H01L 27/0288(2013.01) H01L 27/0288(2013.01) H01L 27/0288(2013.01) H01L 27/0288(2013.01)
출원번호/일자 1020090057474 (2009.06.26)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1029239-0000 (2011.04.07)
공개번호/일자 10-2011-0000103 (2011.01.03) 문서열기
공고번호/일자 (20110418) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020110009427;
심사청구여부/일자 Y (2009.06.26)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤준보 대한민국 대전 유성구
2 이형석 대한민국 대전 유성구
3 최동훈 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성호 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2009-0388907-08
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0549868-52
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0015165-37
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.01.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0015173-03
5 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0076413-29
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0187382-18
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
절연기판; 상기 절연기판상에 형성된 바닥전극부; 상기 바닥전극부상에서 상기 바닥전극부와 대향 이격되도록 형성되고, 상기 바닥전극부와 함께 커패시터를 구성하는 금속층; 상기 금속층상에서 상기 금속층과 대향 이격되도록 형성된 나선형 인덕터; 및 상기 절연기판 및 상기 금속층 사이에 형성되어 상기 금속층이 상기 바닥전극부 및 상기 나선형 인덕터와 이격되도록 지지하고, 온도 변화에 따라 상기 금속층을 상기 절연기판에 대하여 수직방향으로 위치 이동시키는 열 구동부를 포함하며, 상기 금속층이 위치 이동함에 따라 인덕턴스 및 커패시턴스가 동시에 변화되는 것을 특징으로 하는 가변 수동 소자
2 2
제1항에 있어서, 상기 금속층과 대향 이격되도록 상기 나선형 인덕터를 상기 절연기판으로부터 지지하는 지지부를 더 포함하는, 가변 수동 소자
3 3
제1항에 있어서, 상기 바닥전극부는, 상기 절연기판상에서 이격되어 형성된 제1 바닥전극 및 제2 바닥전극을 포함하는, 가변 수동 소자
4 4
제1항에 있어서, 상기 열 구동부는, 상기 절연기판 및 상기 금속층 사이에 각각 형성된 복수의 단위 열 구동부를 포함하고, 상기 단위 열 구동부 각각은, 일측이 상기 절연기판에 고정되고, 타측이 상기 금속층과 연결되며, 절연물질을 포함하여 형성된 제1 구동부; 상기 제1 구동부상에 형성되며, 상기 금속층과 절연된 제2 구동부; 및 상기 제2 구동부의 양단에 각각 전기적으로 연결된 도선부를 포함하며, 상기 제2 구동부는 상기 제1 구동부의 열팽창계수와 다른 물질로 구성된, 가변 수동 소자
5 5
제1항에 있어서, 상기 열 구동부는, 상기 절연기판 및 상기 금속층 사이에 각각 형성된 복수의 단위 열 구동부를 포함하고, 상기 단위 열 구동부 각각은, 일측이 상기 절연기판에 고정된 제1 구동부; 상기 제1 구동부상에 형성된 제2 구동부; 상기 제1 구동부의 타측과 상기 금속층 사이를 연결하고, 절연물질로 형성된 연결부; 및 상기 제2 구동부의 양단에 각각 전기적으로 연결된 도선부를 포함하며, 상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부는 열팽창계수가 상이한 물질로 구성된, 가변 수동 소자
6 6
절연기판; 상기 절연기판상에 형성된 바닥전극부; 상기 바닥전극부상에서 상기 바닥전극부와 대향 이격되도록 형성되고, 상기 바닥전극부와 함께 커패시터를 구성하는 금속층; 상기 금속층상에서 상기 금속층과 대향 이격되도록 형성된 나선형 인덕터; 및 상기 절연기판 및 상기 금속층 사이에 형성되어 상기 금속층이 상기 바닥전극부 및 상기 나선형 인덕터와 이격되도록 지지하고, 상기 금속층 및 상기 바닥전극부의 이격 거리 및 상기 금속층 및 상기 나선형 인덕터의 이격 거리가 조절되도록 형성된 정전 구동부를 포함하고, 상기 금속층은 상기 바닥전극부와의 전압 차에 따라 상기 절연기판에 대하여 수직방향으로 위치 이동하며, 상기 금속층이 위치 이동함에 따라 인덕턴스 및 커패시턴스 동시에 가변되는 것을 특징으로 하는 가변 수동 소자
7 7
제6항에 있어서, 상기 금속층과 대향 이격되도록 상기 나선형 인덕터를 상기 절연기판으로부터 지지하는 지지부를 더 포함하는, 가변 수동 소자
8 8
제6항에 있어서, 상기 정전 구동부는, 상기 절연기판 및 상기 금속층 사이에 각각 형성된 복수의 단위 정전 구동부를 포함하며, 상기 단위 정전 구동부는 상기 금속층과 각각 전기적으로 연결되고, 상기 금속층은 상기 정전 구동부를 통해 전압을 인가 받고, 상기 바닥전극부와의 전압 차에 따라 발생되는 정전기력에 의해 위치 이동하는, 가변 수동 소자
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
제1항의 가변 수동 소자를 제조하는 방법으로서, (a) 절연기판상에 상기 바닥전극부를 형성하는 단계; (b) 상기 절연기판 및 상기 바닥전극부상에 희생층을 형성하고, 상기 절연기판의 일부분이 드러나도록 상기 희생층을 패터닝하는 단계; (c) 상기 절연기판의 일부분 및 상기 희생층상에 절연물질을 증착하고 패터닝하여 제1 구동층을 형성하는 단계; (d) 상기 제1 구동층상에 상기 제1 구동층의 열팽창계수와 다른 열팽창계수를 갖는 물질을 증착하여 제2 구동층을 형성하고, 상기 제1 구동층과 상기 제2 구동층으로 구성된 상기 열 구동부가 복수 개 형성되도록 상기 제2 구동층을 패터닝하여 상기 복수의 열 구동부를 형성하는 단계; (e) 상기 절연기판상으로 금속물질을 증착하고, 상기 제2 구동층과 분리되어 접촉되지 않도록 패터닝하여 상기 바닥전극부 상부에 위치한 상기 제1 구동층상에 상기 금속층을 형성하는 단계; (f) 상기 금속층이 덮이도록 상기 절연기판상으로 제1 포토레지스트를 형성하고, 상기 나선형 인덕터를 상기 금속층과 이격시키고, 상기 절연기판상에서 지지하기 위한 지지부의 패턴이 형성되도록 패터닝하는 단계; (g) 상기 패터닝 된 제1 포토레지스트상에 금속물질을 증착하고 패터닝하여 상기 지지부를 형성하는 단계; (h) 상기 제1 포토레지스트상에 제2 포토레지스트를 형성하고, 상기 나선형 인덕터의 패턴이 형성되도록 패터닝하는 단계; (i) 상기 패터닝 된 제2 포토레지스트상에 금속물질을 증착하고 패터닝하여 상기 나선형 인덕터를 형성하는 단계; 및 (j) 상기 제2 포토레지스트, 상기 제1 포토레지스트 및, 상기 희생층을 식각 공정을 통해 순차적으로 제거하는 단계 를 포함하는 가변 수동 소자의 제조방법
13 13
제12항에 있어서, 상기 (a) 단계는, 상기 절연기판상에서 서로 이격된 제1 바닥전극 및 제2 바닥전극을 포함하는 상기 제2 바닥전극부를 형성하는, 가변 수동 소자의 제조방법
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