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정전인력을 이용하여 구동하는 빗살형 마이크로액츄에이터에 있어서,소정의 평편도를 가지는 플레이트;빗살형상을 이루도록 나란하게 배열되며 양 측면에 비대칭 돌출부가 형성된 다수개의 핑거를 일측에 구비하여, 상기 플레이트의 상부면에 고정설치되는 고정자;빗살형상을 이루도록 나란하게 배열된 다수개의 핑거를 일측에 구비하여, 상기 핑거가 고정자 핑거들사이를 종방향으로 왕복운동하면서 교합 및 이탈될 수 있도록 상기 고정자에 대향하여 플레이트의 상부면에 배치되는 이동자;상기 이동자의 왕복운동시 복원력을 제공하도록 이동자의 일측면에서 횡방향으로 연장된 탄성부재;상기 탄성부재의 양단부와 연결되어 탄성부재를 지지하는 지지부재; 및상기 고정자 및 이동자에 전압을 인가하는 전원; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터
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제1항에 있어서,상기 고정자 핑거의 양 측면에 형성된 비대칭 돌출부는 그 산을 이루는 두 변의 길이가 동일하지 않은 톱니형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터
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제1항에 있어서,상기 다수개의 고정자 핑거는 정전인력이 균형을 이루도록 일정배수 간격의 핑거마다 비대칭 돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터
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제3항에 있어서,상기 고정자 핑거의 양 측면에 형성된 비대칭 돌출부는 그 산을 이루는 두 변의 길이가 동일하지 않은 톱니형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터
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정전인력을 이용하여 구동하는 빗살형 마이크로액츄에이터에 있어서,소정의 평편도를 가지는 플레이트;빗살형상을 이루도록 나란하게 배열된 다수개의 핑거를 일측에 구비하여, 상기 플레이트의 상부면에 고정설치되는 고정자;빗살형상을 이루도록 나란하게 배열되며 양 측면에 비대칭 돌출부가 형성된 다수개의 핑거를 일측에 구비하여, 상기 핑거가 고정자 핑거들사이를 종방향으로 왕복운동하면서 교합 및 이탈될 수 있도록 상기 고정자에 대향하여 플레이트의 상부면에 배치되는 이동자;상기 이동자의 왕복운동시 복원력을 제공하도록 이동자의 일측면에서 횡방향으로 연장된 탄성부재;상기 탄성부재의 양단부와 연결되어 탄성부재를 지지하는 지지부재; 및상기 고정자 및 이동자에 전압을 인가하는 전원; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터
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제5항에 있어서,상기 이동자 핑거의 양 측면에 형성된 비대칭 돌출부는 그 산을 이루는 두 변의 길이가 동일하지 않은 톱니형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터
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제5항에 있어서,상기 다수개의 이동자 핑거는 정전인력이 균형을 이루도록 일정배수 간격의 핑거마다 비대칭 돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터
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정전인력을 이용하여 구동하는 빗살형 마이크로액츄에이터에 있어서,소정의 평편도를 가지는 플레이트;빗살형상을 이루도록 나란하게 배열되며 양 측면에 비대칭 돌출부가 형성된 다수개의 핑거를 일측에 구비하여, 상기 플레이트의 상부면에 고정설치되는 고정자;빗살형상을 이루도록 나란하게 배열되며 양 측면에 비대칭 돌출부가 형성된 다수개의 핑거를 일측에 구비하여, 상기 핑거가 고정자 핑거들사이를 종방향으로 왕복운동하면서 교합 및 이탈될 수 있도록 상기 고정자에 대향하여 플레이트의 상부면에 배치되는 이동자;상기 이동자의 왕복운동시 복원력을 제공하도록 이동자의 일측면에서 횡방향으로 연장된 탄성부재;상기 탄성부재의 양단부와 연결되어 탄성부재를 지지하는 지지부재; 및상기 고정자 및 이동자에 전압을 인가하는 전원; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터
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제9항에 있어서,상기 고정자 및 이동자 핑거의 양 측면에 형성된 비대칭 돌출부는 그 산을 이루는 두 변의 길이가 동일하지 않은 톱니형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터
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제9항에 있어서,상기 다수개의 고정자 및 이동자 핑거는 정전인력이 평형을 이루도록 일정배수 간격의 핑거마다 비대칭 돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터
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제11항에 있어서,상기 고정자 및 이동자 핑거의 양 측면에 형성된 비대칭 돌출부는 그 산을 이루는 두 변의 길이가 동일하지 않은 톱니형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터
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세척된 <100>결정면을 갖는 p-type SOI(Silicon On Insulator) 웨이퍼에 PR(photo resist)층의 접착을 도와주도록 HMDS(hexamethyldisilazane)와 PR을 스핀코팅(spin coating)하는 단계;상기 PR층을 건조시킨 후 이미지 공정으로 상기 PR층을 소정의 형상으로 패터닝하는 단계;상기 처리된 웨이퍼를 DRIE(Deep Reactive Ion Etching) 공정을 통하여 이방성 건식식각을 하는 단계;상기 처리된 웨이퍼로부터 현상공정에 의하여 PR층을 제거하는 단계;불산(HF)을 이용하여 상기 처리된 웨이퍼의 노출된 실리콘산화막(SiO2)을 습식식각 공정으로 식각하는 단계;상기 처리된 웨이퍼를 액화된 p-DCB(paradichlorobenzene)에 담근 후 냉각하여 p-DCB를 고체화시키는 단계; 및상기 고체화된 p-DCB를 가온하여 승화시키는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 빗살형 마이크로액츄에이터 핑거 측면에 대한 비대칭 돌출부 형성방법
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