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윈도우 구조의 제조 방법 및 이 윈도우 구조를 고정하기위한 장치

  • 기술번호 : KST2015144987
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광소자용 패키지에 장착되는 윈도우 구조의 제조 방법 및 이 윈도우 구조를 고정하기 위한 장치에 관한 것으로, 광소자 패키지의 윈도우로 사용할 디스크 상부면의 중앙부분에 마스크 페이스트을 프린팅하고 건조시키는 제 1 단계와; 상기 마스크 페이스트가 건조된 후에, 상기 디스크의 상부면에 금속을 증착하는 제 2 단계와; 상기 마스크 페이스트의 상부에 증착된 금속과 마스크 페이스를 제거시켜 상기 디스크의 상부에 상기 금속으로 둘러쌓인 요홈을 형성하는 제 3 단계로 구성함으로써, 고가인 포토레지스트를 사용하지 않아 제조 경비를 줄일 수 있고, 사진식각 공정을 수행하질 않아서, 제조 공정을 단순화할 수 있고, 미세 크기의 복수 디스크들을 이탈없이 스크린 프린팅을 수행할 수 있는 효과가 발생한다.광소자, 패키지, 윈도우, 마스크, 금속, 흡입, 홀더, 장착
Int. CL H01L 23/28 (2006.01)
CPC H01L 33/483(2013.01)
출원번호/일자 1020010074238 (2001.11.27)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0453970-0000 (2004.10.12)
공개번호/일자 10-2003-0043187 (2003.06.02) 문서열기
공고번호/일자 (20041020) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.11.27)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강남기 대한민국 서울특별시서초구
2 조현민 대한민국 경기도용인시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박미숙 대한민국 경기도 남양주시 경춘로 ***(가운동, 브릭스타워)*층 ***호(해솔국제특허법률사무소)
2 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
3 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기 평택시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2001-0310226-76
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2001.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2001-5328936-78
3 보정통지서
Request for Amendment		 2001.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2001-0062451-29
4 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2001.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2001-5352773-30
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2003-0040376-27
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0473307-14
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.01.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0030492-17
9 의견서
Written Opinion		 2004.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2004-0030493-63
10 등록결정서
Decision to grant		 2004.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0300849-71
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

광소자 패키지의 윈도우로 사용할 디스크 상부면의 중앙부분에 마스크 페이스트를 프린팅하고 건조시키는 제 1 단계와;

상기 마스크 페이스트가 건조된 후에, 상기 디스크의 상부면에 금속을 증착하는 제 2 단계와;

상기 마스크 페이스트의 상부에 증착된 금속과 마스크 페이스트를 제거시켜 상기 디스크의 상부에 상기 금속으로 둘러쌓인 요홈을 형성하는 제 3 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 윈도우 구조의 제조 방법

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 마스크 페이스트의 점도는 2000cps ~ 300,000cps 인 것을 특징으로 하는 윈도우 구조의 제조 방법

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 제 2 단계의 금속 증착은 Cr/Pt/Au의 층을 형성하는 것을 특징으로 하는 윈도우 구조의 제조 방법

4 4

제 1 항에 있어서,

상기 제 2 단계에 증착되는 금속은,

Ni, Au, Cr, Pt와 Ta 중 선택한 어느 하나인 것을 특징으로 하는 윈도우 구조의 제조 방법

5 5

제 1 항 내지 제 4 항의 어느 한 항에 있어서,

상기 디스크는,

사파이어인 것을 특징으로 하는 윈도우 구조의 제조 방법

6 6

광소자 패키지의 윈도우로 사용할 복수의 디스크들을 흡착하는 복수의 흡입공들이 형성되어 있는 윈도우 홀더와;

상기 윈도우 홀더를 안착시키고, 상기 복수의 디스크들을 흡착시키며, 증착되는 금속을 마스킹할 수 있는 마스크 페이스트를 스크린 프린팅하기 위한 스크린 마스크를 장착할 수 있는 윈도우 홀더 장착 지그로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 윈도우 구조를 고정하기 위한 장치

7 7

제 6 항에 있어서,

상기 윈도우 홀더 장착 지그는,

상기 마스크 페이스트를 스크린 프린팅하기 위한 스크린 마스크를 올려놓는 지지부와;

상기 지지부의 내측에 요홈형상으로 형성되어 상기 윈도우 홀더를 안착시키는 안착부와;

상기 안착부의 중앙에 형성되어, 상기 윈도우 홀더의 복수 흡입공을 통하여 진공으로 상기 디스크들을 흡착시킬 수 있는 흡입구로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 윈도우 구조를 고정하기 위한 장치

8 8

제 6 항에 있어서,

상기 복수의 흡입공들은,

상부는 디스크를 올려놓을 디스크 안착부가 있고, 이 디스크 안착부의 직경보다 작은 중앙 통로가 있으며, 상기 중앙 통로와 이어진 하부는 진공흡입을 원활히 하도록 상기 중앙 통로보다 큰 직경을 갖는 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 윈도우 구조를 고정하기 위한 장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.