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하면에는 접지층을 중앙에는 캐비티를 가지며 상기 캐비티의 양측에는 상호 이격된 한 쌍의 금속 단자를 각기 가진 제1시트 구조체를 형성하는 단계;중앙에 상기 캐비티와 동일한 형상의 캐비티를 가지며 그의 양측에 상기 금속 단자보다 짧은 길이의 한 쌍의 금속 단자를 가진 제2시트 구조체를 형성하는 단계;중앙에 상기 캐비티와 동일한 캐비티를 가지며 그의 양측에 급전선을 가진 제3시트 구조체를 형성하는 단계;중앙에 상기 캐비티보다 큰 크기의 캐비티를 가지며, 그 캐비티의 양측 각각에 소정 크기의 캐비티를 가진 제4시트 구조체를 형성하는 단계;상기 형성한 제1, 2, 3, 4 시트 구조체를 순차적으로 적층 합체하는 단계;상기 합체된 구조체를 소성하여 세라믹 구조체를 형성하는 단계;상기 단계에 따라 소성된 세라믹 구조체의 접지면을 둘레가 도금된 금속체와 접합하는 단계를 포함하여 이루어지는 고주파 통신 모듈의 패키징장치 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제1, 2, 3, 4시트는세라믹 그린 시트인 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징장치 제조방법
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둘레가 도금된 금속체;하면에 상기 금속체의 상면과 접합되는 접지층을 가지며, 중앙에 제1캐비티와 그 제1캐비티의 양측에 한 쌍의 제1금속단자를 구비한 제1시트구조체;상기 제1캐비티와 대응되는 위치에 제2캐비티를 가지며, 상기 제1금속단자와 대응되는 위치에 해당하는 상기 제2캐비티의 양측에 상기 제1금속단자보다 짧은 한 쌍의 제2금속단자를 구비하여 상기 제1시트구조체 상부에 형성된 제2시트구조체;상기 제1캐비티와 대응되는 위치에 제3캐비티를 가지며, 상기 제1금속단자와 대응되는 위치에 해당하는 상기 제3캐비티 양측에 급전선을 구비하여 상기 제2시트 구조체 상부에 형성된 제3시트구조체;상기 제1캐비티 보다 큰 제4캐비티와 상기 급전선의 대응되는 위치의 일부에 형성되는 제5캐비티를 구비하여 상기 제3시트구조체 상부에 형성된 제4시트구조체를 포함하여 이루어진 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 제 1 금속 단자는; 길이가 150㎛ ~ 300㎛이고, 선폭이 급전선 선폭보다 2배 ~ 10배정도 넓은 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 제 2 금속 단자는; 길이가 100㎛ ~ 150㎛이고, 선폭이 급전선 선폭보다 2배 ~ 6배정도 넓은 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 제 1 금속 단자와 제 2 금속 단자는; 금, 은, 구리 중에서 선택된 어느 하나의 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 금속체는; 그 둘레가 Ni 또는 Au 중에서 선택된 어느 하나 또는 두 종이 혼합된 것으로 도금된 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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7
제 3 항에 있어서, 상기 금속체는; 그 둘레가 Ni 또는 Au 중에서 선택된 어느 하나 또는 두 종이 혼합된 것으로 도금된 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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