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노광 장치 및 이를 이용한 노광 방법

  • 기술번호 : KST2015158129
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르면, 감광 재료가 도포된 기판 표면을 노광하는 디지털 마이크로 미러(Digital Micro-mirror)를 구비한 빔 조사부; 상기 빔 조사부와 인접 배치되어 상기 기판 표면에 형성된 전사 노광 패턴의 경계를 검출하는 검출 센서; 상기 빔 조사부 및 상기 검출 센서를 수평 방향으로 이송하는 수평이송부; 상기 빔 조사부와 이격 배치되고, 상기 기판을 고정하여 수평 방향으로 이송시키는 이송 테이블; 및 입력된 이미지 데이터에 대응하여 상기 빔 조사부에 의해 조사되는 빔 형태를 제어하고, 상기 검출 센서에서 제공된 상기 전사 노광 패턴의 경계 정보에 대응하여 조사 노광 경로를 설정하며, 상기 조사 노광 경로를 따라 상기 빔 조사부와 기판을 상대적으로 이송시키도록 제어하는 제어부를 포함하는 노광 장치 및 이를 이용한 노광 방법이 제공된다.이와 같은 노광 장치 및 이를 이용한 노광 방법에 의하면, 소량의 이미지 파일만으로 노광이 가능하여 알고리즘이 간소화시킬 수 있고, 알고리즘 간소화로 인한 노광 장치 구축의 비용이 절감된다. 또한 알고리즘의 간소화에도 불구하고 노광 패턴의 사선 또는 곡선 부분의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
Int. CL G03F 7/26 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01)
출원번호/일자 1020130127814 (2013.10.25)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1429406-0000 (2014.08.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140813) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.25)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조명우 대한민국 서울 양천구
2 이정원 대한민국 강원 원주시 천사
3 하석재 대한민국 인천 연수구
4 조용규 대한민국 인천광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 조명우 서울특별시 양천구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0968481-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.04.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.05.13 수리 (Accepted) 9-1-2014-0038178-71
4 등록결정서
Decision to grant		 2014.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0499507-27
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
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번호 청구항
1 1
감광 재료가 도포된 기판 표면을 노광하는 디지털 마이크로 미러(Digital Micro-mirror)를 구비한 빔 조사부;상기 빔 조사부와 인접 배치되어 상기 기판 표면에 형성된 전사 노광 패턴의 경계를 검출하는 검출 센서;상기 빔 조사부 및 상기 검출 센서를 수평 방향으로 이송하는 수평이송부;상기 빔 조사부와 이격 배치되고, 상기 기판을 고정하여 수평 방향으로 이송시키는 이송 테이블; 및입력된 이미지 데이터에 대응하여 상기 빔 조사부에 의해 조사되는 빔 형태를 제어하고, 상기 검출 센서에서 제공된 상기 전사 노광 패턴의 경계 정보에 대응하여 조사 노광 경로를 설정하며, 상기 조사 노광 경로를 따라 상기 빔 조사부와 기판을 상대적으로 이송시키도록 제어하는 제어부를 포함하는 노광 장치
2 2
청구항 1에 있어서,상기 제어부는,상기 조사 노광 경로를 따라, 상기 디지털 마이크로 미러에서 선택된 하나의 마이크로 미러의 각도를 조절하고, 상기 빔 조사부를 이송하여, 상기 전사 노광 패턴이 형성된 상기 기판 표면을 조사 노광하도록 제어하는 노광 장치
3 3
청구항 1에 있어서,상기 제어부는,상기 조사 노광 경로를 따라 상기 전사 노광 패턴이 형성된 상기 기판을 이송하여 상기 기판 표면을 조사 노광하도록 제어하는 노광 장치
4 4
디지털 마이크로 미러(Digital Micro-mirror)를 구비한 노광 장치를 이용한 노광 방법에 있어서,(a) 감광 재료가 도포된 기판 표면을 전사 노광하는 단계;(b) 상기 기판 표면에 형성된 전사 노광 패턴의 경계를 검출하는 단계;(c) 검출된 상기 전사 노광 패턴의 경계에 대응되는 조사 노광 경로를 설정하는 단계; 및(d) 상기 조사 노광 경로를 따라, 상기 전사 노광 패턴이 형성된 상기 기판 표면을 조사 노광하는 단계를 포함하는 노광 방법
5 5
청구항 4에 있어서,상기 (c) 단계는,상기 전사 노광 패턴의 경계에 대응되는 상기 디지털 마이크로 미러 에서 선택된 하나의 마이크로 미러에 대한 상기 조사 노광 경로를 설정하고,상기 (d) 단계는,상기 조사 노광 경로를 따라, 상기 디지털 마이크로 미러에서 선택된 하나의 마이크로 미러를 이송하여, 상기 전사 노광 패턴이 형성된 상기 기판 표면을 조사 노광하는 노광 방법
6 6
청구항 4에 있어서,상기 (c) 단계는,상기 전사 노광 패턴의 경계에 대응되는 상기 디지털 마이크로 미러 에서 선택된 하나의 마이크로 미러에 대한 상기 조사 노광 경로를 설정하고,상기 (d) 단계는,상기 조사 노광 경로를 따라, 상기 전사 노광 패턴이 형성된 상기 기판을 이송하여 조사 노광하는 노광 방법
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국가 R&D 정보가 없습니다.