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박막의 두께를 측정하는 방법에 있어서, (a) 각각의 레퍼런스 물체에 대하여 스펙트로미터가 산출하는 레퍼런스 반사도 스펙트럼을 수집하는 단계;(b) 상기 수집된 레퍼런스 반사도 스펙트럼을 미리 설정된 패턴 수로 샘플링하는 단계; (c) 상기 샘플링된 데이터를 이용하여 미리 설정된 층으로 구성되는 신경망을 학습하는 단계; 및(d) 상기 학습된 신경망을 이용하여 시료의 박막 두께를 추론하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 방법
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제1항에 있어서, 상기 신경망은 노드를 포함하는 입력층, 은닉층 및 출력층을 포함하며, 상기 (c) 단계는 상기 입력층, 은닉층 및 출력층의 각 층 사이의 가중치를 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 방법
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제2항에 있어서, 상기 은닉층은 적어도 2 층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 방법
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제1항에 있어서, 상기 신경망은 입출력 값이 미리 결정된 전달 함수가 적용되는 것을 특징으로 하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 방법
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제4항에 있어서, 상기 전달 함수는 대칭형 시그모이드 함수인 것을 특징으로 하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 방법
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제4항에 있어서,상기 (d) 단계는, 상기 시료의 반사도 스펙트럼 데이터를 수집하는 단계;상기 반사도 스펙트럼 데이터를 미리 설정된 패턴 수로 샘플링하는 단계;상기 샘플링된 데이터를 상기 전달 함수에 허용되는 입출력 값으로 변환하는 선처리 단계; 상기 선처리된 데이터를 상기 학습된 신경망에 입력하여 박막 두께를 추론하는 단계; 및 상기 추론된 결과값을 박막 두께에 상응하는 값으로 변환하는 후처리 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 방법
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제1항 내지 제6항 중 하나에 따른 방법을 수행하는 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체
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박막 두께를 측정하는 장치에 있어서, 스펙트로미터가 산출하는 시료의 반사도 스펙트럼을 수집하는 스펙트럼 데이터 수집부;상기 수집된 반사도 스펙트럼을 미리 설정된 패턴 수로 샘플링하는 샘플링부; 및상기 샘플링된 데이터를 이용하여 상기 시료의 박막 두께를 추론하는 신경망을 포함하되, 상기 신경망은 미리 설정된 개수의 레퍼런스 물체의 레퍼런스 반사도 스펙트럼을 이용하여 학습되는 것을 특징으로 하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 장치
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제8항에 있어서, 상기 신경망은 노드를 포함하는 입력층, 은닉층 및 출력층을 포함하되, 상기 신경망은 상기 레퍼런스 반사도 스펙트럼을 이용하여 상기 입력층, 은닉층 및 출력층의 각 층 사이의 가중치를 결정하는 것을 특징으로 하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 장치
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제9항에 있어서, 상기 은닉층은 적어도 2 층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 장치
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제8항에 있어서, 상기 신경망은 입출력 값이 미리 결정된 전달 함수가 적용되는 것을 특징으로 하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 장치
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제11항에 있어서, 상기 전달 함수는 대칭형 시그모이드 함수인 것을 특징으로 하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 장치
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