요약 | 본 발명은 ISFET의 인캡슐레이션방법 및 인캡슐레이션용 측정회로에 관한 것으로, 감이온게이트가 없는 측의 ISFET소자를 용액상태의 절연물질에 담아 도포하되 감이온게이트가 도포되지 않도록 하고, 도포된 ISFET소자에 측정회로를 연결하여 이온의 농도를 측정하고자 하는 용액(피측정용액)에 넣어 이온의 농도를 측정함으로써 p형웰과 n형기판이 역바이어스 상태로 되어 ISFET소자와 피측정용액의 전기적 절연을 실현하는 p-n접합을 이용한 ISFET의 인캡슐레이션방법 및 인캡슐레이션방법이다. |
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Int. CL | G01N 27/414 (2006.01) |
CPC | G01N 27/4148(2013.01) |
출원번호/일자 | 1019930004344 (1993.03.20) |
출원인 | 대한민국경북대학교센서기술연구소 |
등록번호/일자 | 10-0113869-0000 (1997.04.04) |
공개번호/일자 | 10-1994-0022085 (1994.10.20) 문서열기 |
공고번호/일자 | 1019960007788 (19960612) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (1993.03.20) |
심사청구항수 | 1 |