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제 1 도전형의 기판;상기 기판 상에 제공되는 제 2 도전형의 웰 및 제 1 도전형의 제 1 컨택;상기 웰 상에 제공되는 제 2 도전형의 제 2 컨택 그리고 제 1 도전형의 제 3 컨택 및 제 4 컨택;상기 제 3 컨택 및 제 4 컨택 사이의 영역에 제공되는 게이트 절연막 및 게이트 도전막; 그리고상기 게이트 도전막 상에 제공되는 감지부를 포함하고,상기 감지부는 대상 물질 중 바이오 물질의 존재 여부에 따라 상기 게이트 도전막에 전달되는 전압 레벨을 조절하도록 구성되는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 감지부는상기 대상 물질에 접촉하도록 구성되는 기준 전극;상기 대상 물질 중 상기 바이오 물질과 반응하도록 구성되는 반응막;상기 반응막 하부에 제공되는 도전막; 그리고상기 게이트 도전막 및 상기 도전막 사이에 제공되는 절연막을 포함하고,상기 도전막 및 상기 게이트 도전막은 용량성 결합(capacitive coupling)을 형성하는 바이오 센서
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제 2 항에 있어서,상기 반응막은 상기 도전막 상에 자기 조립 단분자막(SAM, Self-Assembled Monolayer)으로 형성되는 바이오 센서
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제 2 항에 있어서,상기 반응막은 항체를 포함하고,상기 감지부는 상기 항체에 대응하는 항원을 검출하도록 구성되는 바이오 센서
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제 2 항에 있어서,상기 반응막은 C 반응성 단백(C-reactive protein)을 포함하고,상기 감지부는 C 다당체(C-polysaccharide)를 검출하도록 구성되는 바이오 센서
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제 2 항에 있어서,상기 반응막은 수용기(receptor)를 포함하고,상기 감지부는 상기 수용기에 대응하는 단백질(protein)을 검출하도록 구성되는 바이오 센서
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제 2 항에 있어서,상기 반응막은 조효소를 포함하고,상기 감지부는 상기 조효소에 대응하는 효소를 검출하도록 구성되는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 게이트 도전막, 상기 게이트 절연막, 그리고 상기 제 3 컨택 및 제 4 컨택은 전계효과 트랜지스터(FET, Field Effect Transistor)를 구성하는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 웰, 제 3 컨택, 그리고 제 4 컨택은 바이폴라 정션(bipolar junction)을 구성하는 바이오 센서
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제 9 항에 있어서,상기 웰은 베이스, 상기 제 3 컨택은 컬렉터, 그리고 상기 제 4 컨택은 에미터로 동작하도록 바이어스되는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 기판, 그리고 상기 웰 및 제 4 컨택은 바이폴라 정션(bipolar junction)을 구성하는 바이오 센서
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제 11 항에 있어서,상기 기판은 컬렉터, 상기 웰은 베이스, 그리고 상기 제 4 컨택은 에미터로 동작하도록 바이어스되는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 4 컨택을 통해 흐르는 전류의 양을 검출함으로써, 상기 대상 물질 중 상기 바이오 물질의 존재 여부를 검출하도록 구성되는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 컨택에 바이어스 전류를 인가함으로써 동작점이 조절되는 바이오 센서
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