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수소이온 감지센서

  • 기술번호 : KST2015162297
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 수소이온 감지센서에 관한 것으로, 수소이온 감지센서는, 제1 도전형의 기판(substrate); 기판상에 형성되는 제2 도전형의 웰(well) 및 제1 도전형의 제1 컨택(contact); 웰 상에 형성되는 제2 도전형의 제2 컨택과, 제1 도전형의 제3 컨택, 제4 컨택 및 제5 컨택; 제4 컨택과 제5 컨택 사이의 영역 상에 형성되는 제1 게이트 절연막(gate insulation layer); 제1 게이트 절연막 상에 형성되는 제1 도전막; 제3 컨택과 상기 제4 컨택 사이의 영역 상에 형성되는 제2 게이트 절연막; 제2 게이트 절연막 상에 형성되는 제2 도전막; 그리고 제1 게이트 절연막 상에 형성되며 대상 물질의 수소이온 농도에 따라 조절되는 전압 레벨을 제1 게이트 절연막으로 전달하는 수소이온 감지부를 포함한다.
Int. CL G01N 27/414 (2006.01) G01N 27/30 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130140109 (2013.11.18)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1515491-0000 (2015.04.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150506) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.11.18)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강신원 대한민국 대구 수성구
2 정현민 대한민국 대구 동구
3 윤현지 대한민국 대구 달서구
4 권혁춘 대한민국 경상북도 영주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
2 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-1048320-84
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0896365-97
3 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0060426-42
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.03.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0205163-41
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-0205161-50
6 등록결정서
Decision to grant		 2015.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0182517-73
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 도전형의 기판;상기 기판상에 형성되는 제2 도전형의 웰(well) 및 제1 도전형의 제1 컨택(contact);상기 웰 상에 형성되는 제2 도전형의 제2 컨택과, 제1 도전형의 제3 컨택, 제4 컨택 및 제5 컨택;상기 제4 컨택과 제5 컨택 사이의 영역 상에 형성되는 제1 게이트 절연막;상기 제3 컨택과 상기 제4 컨택 사이의 영역 상에 형성되는 제2 게이트 절연막; 그리고상기 제1 게이트 절연막 상에 형성되는 수소이온 감지부를 포함하며,상기 제2 컨택과 상기 제5 컨택은 상기 웰 상에서 이격되어 형성되고,상기 제3 컨택은 상기 제2 컨택과 상기 제5 컨택 사이에 형성되고,상기 제4 컨택은 상기 제3 컨택과 상기 제5 컨택 사이에 형성되며,상기 수소이온 감지부는 대상 물질의 수소이온 농도에 따라 조절되는 전압 레벨을 상기 제1 게이트 절연막으로 전달하는 수소이온 감지센서
2 2
제1 항에 있어서,상기 제1 게이트 절연막 상에 형성되는 제1 도전막; 그리고상기 제2 게이트 절연막 상에 형성되는 제2 도전막을 더 포함하는 수소이온 감지센서
3 3
제2 항에 있어서,상기 제1 게이트 절연막 및 상기 제1 도전막은 상기 제5 컨택을 둘러싸는 고리 형상을 갖도록 형성되고,상기 제2 게이트 절연막 및 상기 제2 도전막은 상기 제4 컨택을 둘러싸는 고리 형상을 갖도록 형성되는 수소이온 감지센서
4 4
제2 항에 있어서,상기 수소이온 감지부는,상기 대상 물질에 접촉하도록 구성되고, 미리 설정된 기준 전압이 인가되는 기준 전극;상기 수소이온 농도에 따라 조절되는 상기 전압 레벨을 측정하는 측정 전극; 그리고상기 제1 게이트 절연막 상에 형성되고, 상기 전압 레벨을 상기 제1 도전막으로 전달하는 플로팅 게이트(floating gate)를 포함하는 수소이온 감지센서
5 5
제4 항에 있어서,상기 측정 전극은,금속층; 그리고상기 금속층 상에 형성되는 패시베이션막을 포함하며,상기 패시베이션막은 질화 실리콘층을 포함하는 수소이온 감지센서
6 6
제4 항에 있어서,상기 플로팅 게이트는 비아(via)를 통해 연결되는 다수의 금속막을 포함하는 수소이온 감지센서
7 7
제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 웰, 상기 제4 컨택, 상기 제5 컨택 및 상기 제1 게이트 절연막은 제1 전계효과 트랜지스터(field effect transistor)를 구성하고,상기 웰, 상기 제2 컨택, 상기 제4 컨택 및 상기 제5 컨택은 제1 양극성 접합 트랜지스터(bipolar junction transistor)를 구성하며,상기 기판, 상기 웰, 상기 제1 컨택, 상기 제2 컨택 및 상기 제5 컨택은 제2 양극성 접합 트랜지스터를 구성하며,상기 웰, 상기 제3 컨택, 상기 제4 컨택 및 상기 제2 게이트 절연막은 상기 제1 전계효과 트랜지스터 및 상기 제1 양극성 접합 트랜지스터와 캐스코드(cascode) 구조로 연결되는 제2 전계효과 트랜지스터를 구성하는 수소이온 감지센서
8 8
제7 항에 있어서,상기 제2 전계효과 트랜지스터는 N채널형 또는 P채널형의 전계효과 트랜지스터인 수소이온 감지센서
9 9
제7 항에 있어서,상기 제1 컨택은 상기 제2 양극성 접합 트랜지스터의 컬렉터단으로 동작하고,상기 제2 컨택은 상기 제1 양극성 접합 트랜지스터 및 상기 제2 양극성 접합 트랜지스터의 베이스단으로 동작하고,상기 제3 컨택은 상기 제2 전계효과 트랜지스터의 드레인단으로 동작하고,상기 제4 컨택은 상기 제1 전계효과 트랜지스터의 드레인단, 상기 제2 전계효과 트랜지스터의 소스단 및 상기 제1 양극성 접합 트랜지스터의 컬렉터단으로 동작하고,상기 제5 컨택은 상기 제1 전계효과 트랜지스터의 소스단, 상기 제1 양극성 접합 트랜지스터 및 상기 제2 양극성 접합 트랜지스터의 이미터단으로 동작하는 수소이온 감지센서
10 10
제9 항에 있어서,상기 제2 컨택에 인가되는 바이어스 전류에 의하여 상기 제1 양극성 접합 트랜지스터 및 상기 제2 양극성 접합 트랜지스터의 동작점이 조절되는 수소이온 감지센서
11 11
제9 항에 있어서,상기 제5 컨택을 통해 흐르는 전류의 양을 검출함으로써 상기 수소이온의 농도를 검출하는 수소이온 감지센서
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 경북대학교 산학협력단 기능성소자 융합 플랫폼 센터 고기능의 휴대형 환경계측용 가스센서 개발