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변압기오일내의수소발생을감시하는FET형수소센서

  • 기술번호 : KST2015224943
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 변압기 오일 내의 수소 발생을 감시하는 FET형 수소센서에 관한 것이다. 본 발명 FET형 수소 센서는, 동일 기판에 형성되는 수소 압력에 의해 게이트 전압이 변화되는 센싱 트랜지스터와 상시 고정된 게이트 전압을 갖는 레퍼런스 트랜지스터를 갖춘다. 양 트랜지스터의 게이트 절연층은 두 개의 절연층 구조로 되어 있으며, 센싱 트랜지스터는 파라듐/백금의 적층으로된 게이트를 갖춘다. 이러한 본 발명 FET형 수소 센서는 먼저, 구조가 간단하기 때문에 유지 보수가 용이하고, 그 특성이 안정되어 정밀한 수소 농도의 측정이 가능하다.또한 지속적으로 수소 농도를 측정할 수 있기 때문에 실시간 원거리에서의 감시가 가능하다. 또한 가격면에 있어서도 매우 저렴함은 물론 대량 생산이 가능하므로 경제적인 측면에서의 큰 이익이 기대된다.
Int. CL G01N 27/414 (2006.01.01) G01N 33/28 (2006.01.01) H01F 27/40 (2006.01.01) H01F 27/12 (2006.01.01)
CPC G01N 27/4141(2013.01) G01N 27/4141(2013.01) G01N 27/4141(2013.01) G01N 27/4141(2013.01)
출원번호/일자 1019950001074 (1995.01.23)
출원인 대한민국(경북대학교 총장), 한국전력공사
등록번호/일자 10-0155307-0000 (1998.07.14)
공개번호/일자 10-1996-0030269 (1996.08.17) 문서열기
공고번호/일자 (19981116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.01.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(경북대학교 총장) 대한민국 대구광역시 북구
2 한국전력공사 대한민국 전라남도 나주시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최시영 대한민국 대구직할시남구
2 남창현 대한민국 대전광역시서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노민식 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, 이영필 특허법률사무소 (서초동, 청화빌딩)
2 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
3 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
4 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
5 윤창일 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)
6 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전력공사 대한민국 서울특별시강남구
2 경북대학교 대한민국 대구광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1995.01.23 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004896-70
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.01.23 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004895-24
3 특허출원서
Patent Application		 1995.01.23 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004894-89
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1996.06.18 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004897-15
5 출원인명의변경신고서
Applicant change Notification		 1996.06.18 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004899-17
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1996.06.18 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004900-76
7 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1996.06.18 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004898-61
8 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.19 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004901-11
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1997.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0002500-63
10 의견서
Written Opinion		 1998.02.16 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004902-67
11 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.02.16 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004903-13
12 등록사정서
Decision to grant		 1998.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0002501-19
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.09.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0113412-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.10.04 수리 (Accepted) 4-1-1999-0124000-77
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.10.05 수리 (Accepted) 4-1-1999-0124229-14
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2001-0141382-18
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.10.16 수리 (Accepted) 4-1-2007-5156605-02
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5153448-46
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2019-5136129-26
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5136893-80
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.03.27 수리 (Accepted) 4-1-2020-5072225-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

상면이 변압기의 오일에 접촉하도록 된 하나의 반도체 기판과; 상기 반도체 기판에 마련되는 제1채널, 상기 채널의 양측에 마련되는 제1소오스와 제1드레인, 상기 제1채널의 상부에 마련되는 하부의 제1하부 게이트 절연층, 상기 제1하부 게이트 절연층의 위에 마련되는 금속성 제1상부 게이트 절연층, 제1상부 게이트 절연층의 위에 형성되는 제1게이트를 구비한 레퍼런스 트랜지스터와; 상기 제1채널로부터 소정 거리 이격된 위치에 마련되는 제2채널, 상기 제2채널의 양측에 마련되는 제2소오스와 제2드레인, 상기 제2채널의 상부에 마련되는 제2하부 게이트 절연층, 상기 제2하부 게이트 절연층의 위에 형성되는 제2상부 게이트 절연층, 상기 제2상부 게이트 절연층의 상부에 마련되는 파라듐(Pd) 또는 백금(Pt)으로 된 제2하부 게이트층과, 상기 하부 게이트층의 위에 마련되는 파라듐(Pd) 또는 백금(Pt)으로 된 제2상부 게이트층을 구비한 센싱 트랜지스터를 갖추는 것을 특징으로 하는 변압기 오일 내의 수소 발생을 감시하는 FET형 수소 센서

2 2

제1항에 있어서, 상기 제2하부 게이트층은 백금으로 이루어지고, 제2상부 게이트층은 파라듐으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 변압기 오일 내의 수소 발생을 감시하는 FET형 수소 센서

3 3

제1항 또는 제2항에 있어서, 오일의 직접 접촉에 의한 소자의 열화를 방지하는 다공성 멤브레인 층이 상기 적층의 최상위층에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 변압기 오일 내의 수소 발생을 감시하는 FET형 수소 센서

4 4

제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1하부 게이트 절연층과 제2하부 게이트 절연층은 SiO2로 이루어지고, 제1상부 게이트 절연층과 제2상부 게이트 절연층은 Si3N4로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 변압기 오일 내의 수소 발생을 감시하는 FET형 수소 센서

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.