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소자용 봉지구조체 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015143696
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 소자 봉지용 봉지구조체 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반응물질로 실란 화합물과 질소 함유 가스를 저온에서 증착시켜 형성된 유동성 산화물 박막으로 유기층의 핀홀을 채움으로써 기존 ALD 증착법 보다 증착속도 향상으로 인한 생산속도가 개선되고, 낮은 온도에서 증착 공정이 가능하여 소자의 손상 정도를 현저히 줄일 수 있다. 특히, 벤딩 시 막 깨짐 현상이 개선되어 플렉시블 디스플레이 적용에 유리한 발광 소자를 개발할 수 있다.
Int. CL H05B 33/04 (2006.01) H01L 51/52 (2006.01)
CPC H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01)
출원번호/일자 1020120016565 (2012.02.17)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1351109-0000 (2014.01.07)
공개번호/일자 10-2012-0094874 (2012.08.27) 문서열기
공고번호/일자 (20140115) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020110014258   |   2011.02.17
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.17)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 채희엽 대한민국 경기 안양시 동안구
2 김대경 대한민국 서울 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0130697-69
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.09.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.10.15 수리 (Accepted) 9-1-2012-0077896-13
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0397215-07
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0720668-18
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.08.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0720669-53
10 등록결정서
Decision to grant		 2013.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0900157-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소자가 형성된 기판 상에 유기층 및 무기층이 형성된 봉지층을 포함하는 소자용 봉지구조체에 있어서, 상기 무기층은 실란계 화합물과 질소 함유 라디칼을 진공 및 5 내지 50 ℃에서 증착시켜 형성된 유동성 산화물 박막인 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이(flexible display) 소자용 봉지구조체
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 봉지구조체는 OLED(유기발광소자), OPV(유기태양전지), QD-LED(양자점-엘이디), QD-Solar Cell(양자점-태양전지) 또는 OTFT(유기 트랜지스터)에 적용 가능한 플렉시블 디스플레이(flexible display) 소자용 봉지구조체
4 4
소자가 형성된 기판 상에 유기층을 형성시키는 단계; 및 상기 유기층 상에 실란계 화합물과 질소 함유 가스를 진공 및 5 내지 50 ℃의 조건 하에서 리모트-플라즈마(Remote-plasma) 처리로 증착시켜 유동성 산화물 박막을 형성시키는 단계를 포함하는 플렉시블 디스플레이(flexible display) 소자용 봉지구조체의 제조방법
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제 4 항에 있어서,상기 증착은 20 ~ 150 nm/min의 증착속도로 수행되는 플렉시블 디스플레이(flexible display) 소자용 봉지구조체의 제조방법
10 10
제 1 항에 따른 봉지구조체 또는 제 4 항에 따른 방법으로 제조된 봉지구조체를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이(flexible display)
11 11
기판 상에 봉지층이 형성되어 있고 상기 봉지층에 생긴 갭에 실란계 화합물과 질소 함유 가스를 진공 및 5 내지 50 ℃의 조건 하에서 리모트-플라즈마(Remote-plasma) 처리로 증착시켜 유동성 산화물 박막을 형성하는 방법
12 12
제 4 항에 따른 방법으로 제조된 플렉시블 디스플레이(flexible display) 소자용 봉지구조체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 성균관대학교 산학협력단 산학협력중심대학육성사업 플렉서블 디스플레이용 플라스틱 기반의 보호막 개발 연구