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레이저 발생장치(1)에서 조사된 빛을 동기화광(10)과 제1측정광(20)으로 분광시키는 제1분광단계(S1);상기 동기화광(10) 중 미리 정해진 파장을 반사해 트리거신호로 변환하는 제1변환단계(S2);상기 제1측정광(20)을 기준광(30)과 제2측정광(40)으로 분광시키는 제2분광단계(S3);상기 기준광(30)의 주파수를 변환 후 반사시켜 되돌리는 기준광반사단계(S4);상기 제2측정광(40)을 제1측광(41)과 제2측광(42)으로 분광시키고, 미러부(540)를 통해 굴절시켜 서로 공간적 간격을 갖도록 측정대상(O)에 조사 및 반사시키고, 반사된 두 개의 빛을 하나로 합쳐서 되돌리는 측정광반사단계(S5);상기 기준광반사단계(S4)와 상기 측정광반사단계(S5)에서 되돌려진 빛을 같은 출력으로 합쳐 간섭신호를 발생시키고, 상기 제1변환단계(S2)에서 변환된 트리거신호를 사용하여 발생한 간섭신호를 디지털신호로 변환하는 제2변환단계(S6); 및상기 제2변환단계(S6)에서 변환된 디지털신호를 이미지로 만드는 이미지화단계(S7);를 포함하여 이루어지며,상기 측정광반사단계(S5)는 상기 미러부(540)의 스캔속도를 조절하여 상기 측정대상(O)의 표면에 상기 제1측광(41)이 조사된 후 상기 제2측광(42)이 동일 위치에 조사되는 시간간격을 조절하는 것을 특징으로 하는 혼합 빔 스캐닝 광 가간섭 단층촬영 방법
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제 1항에 있어서, 상기 측정광반사단계(S5)는상기 측정대상(O) 표면상 한쪽 방향을 X방향, 상기 X방향에 수직한 방향을 Y방향이라고 할 때,상기 제1측광(41)과 상기 제2측광(42)이 상기 미러부(540)의 움직임을 통해 상기 측정대상(O)의 표면 중 X방향 한쪽 끝에서 다른 한쪽 끝까지 미리 정해진 시간간격을 두고 조사 및 반사되는 제1측정단계(S5-1);미리 정해진 횟수만큼 상기 제1측정단계(S5-1)를 반복 수행하며, 반복 수행할 때 마다 상기 미러부(540)의 스캔속도를 변화시켜 상기 제1측광(41)과 상기 제2측광(42)이 조사되는 시간간격을 조절하는 제2측정단계(S5-2);상기 제2측정단계(S5-2)가 완료된 후, 상기 미러부(540)의 스캔속도를 고정하고, 상기 제1측광(41)과 상기 제2측광(42)이 상기 측정대상(O)의 표면 중 X방향 한쪽 끝에서 다른 한쪽 끝까지 미리 정해진 횟수만큼 반복하여 조사 및 반사하는 제3측정단계(S5-3);상기 제3측정단계(S5-3)가 완료된 후, 측정하는 위치를 Y방향으로 이동시켜 상기 제1측정단계(S5-1), 상기 제2측정단계(S5-2) 및 상기 제3측정단계(S5-3)을 반복 수행하는 제4측정단계 (S5-4); 및반사되는 상기 제1측광(41)과 상기 제2측광(42)을 하나로 합치는 제5측정단계(S5-5);를 포함하여 이루어지는 혼합 빔 스캐닝 광 가간섭 단층촬영 방법
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제 1항 내지 제 2항 중 선택되는 어느 한 항에 기재된 혼합 빔 스캐닝 광 가간섭 단층촬영 방법을 사용하는 혼합 빔 스캐너 광 가간섭 단층 촬영장치에 있어서,시간에 따라 파장이 변화하는 레이저를 조사하는 레이저 발생장치(1);상기 레이저 발생장치(1)에서 조사되는 빛을 동기화광(10)과 제1측정광(20)으로 분광시키는 제1분광부(100);미리 정해진 파장의 상기 동기화광(10)을 트리거 신호로 전환하는 동기화부(200);상기 제1측정광(20)을 기준광(30)과 제2측정광(40)으로 분광시키는 제2분광부(300);상기 기준광(30)의 주파수를 변환하는 주파수변환기(400);상기 주파수가 변한 기준광(30)을 반사시켜 되돌리는 레퍼런스미러(410);상기 제2측정광(40)을 상기 제1측광(41) 및 상기 제2측광(42)으로 분광하며 측정대상(O)에 공간적 간격을 갖도록 조사시키고 반사되는 상기 제1측광(41) 및 상기 제2측광(42)을 하나로 합쳐 되돌리는 측정부(500);상기 레퍼런스미러(410)에 반사되어 되돌려진 빛과 상기 측정부(500)를 통해 되돌려진 빛을 서로 같은 출력으로 입사시키며 발생하는 간섭 신호를 디지털신호로 변환시키는 광변환부(600);상기 동기화부(200) 및 상기 광변환부(600)의 디지털신호를 획득해 영상으로 변환하는 영상변환부(700); 및상기 측정부(500)를 제어하는 제어부(800);를 포함하는 것을 특징으로 하는 혼합 빔 스캐닝 광 가간섭 단층촬영 장치
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제 3항에 있어서, 상기 혼합 빔 스캐닝 광 가간섭 단층촬영 장치는상기 제2분광부(300)와 상기 주파수변환기(400) 및 상기 측정부(500) 사이에 각각 구비되어 상기 레퍼런스미러(410)와 상기 측정부(500)를 통해 되돌려지는 빛을 굴절시키는 서큘레이터(50)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 혼합 빔 스캐닝 광 가간섭 단측촬영 장치
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제 3항에 있어서, 상기 동기화부(200)는상기 동기화광(10)의 미리 정해진 파장을 반사하는 FBG(Fiber bragg grating)(210); 및상기 FBG(210)에서 반사된 빛을 트리거 신호로 변환하는 트리거회로(220);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 혼합 빔 스캐닝 광 가간섭 단층촬영 장치
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제 3항에 있어서, 상기 측정부(500)는상기 제2측정광(40)을 상기 제1측광(41) 및 상기 제2측광(42)으로 분광시키고, 상기 측정대상(O)에 반사되어 되돌려지는 빛을 하나로 합치는 제3분광부(510);상기 제1측광(41) 및 상기 제2측광(42)이 이루는 각도를 평행하게 조절하는 제1렌즈(520);상기 제1렌즈(520)를 상기 제1측광(41)과 상기 제2측광(42)을 한 점에 입사되도록 각도를 조절하는 제2렌즈(530);상기 제2렌즈(530)를 통과해 한 점에 입사된 빛의 각도를 조절하여 상기 측정대상(O)의 표면에 입사시키는 미러부(540); 및상기 미러부(540)를 통해 굴절된 빛을 평행하게 각도를 조절하는 제3렌즈(550);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 혼합 빔 스캐닝 광 가간섭 단층촬영 장치
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제 3항에 있어서, 상기 광 변환부(600)는상기 레퍼런스미러(410) 및 상기 측정부(500)에서 반사된 빛을 동일한 정도로 입력시켜 간섭신호를 발생시키는 광커플러(610); 및상기 광커플러(610)에서 일어나는 간섭신호를 디지털신호로 변환하는 광검출기(620);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 혼합 빔 스캐너 광 가간섭 단층 촬영 장치
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제 3항에 있어서, 상기 레이저 발생장치(1)에서 조사되는 빛은대역폭과 간섭신호의 윈도우 형태를 조정하여 깊이방향 해상도가 조절된 것을 특징으로 하는 혼합 빔 스캐너 광 가간섭 단층 촬영 장치
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제 6항에 있어서, 상기 제3렌즈(550)는 렌즈의 배율을 조정하여 통과하는 빛의 횡방향 해상도를 조절하는 것을 특징으로 하는 혼합 빔 스캐너 광 가간섭 단층 촬영 장치
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