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상면이 복수의 돌기 형상으로 형성된 기판;상기 기판의 상면의 일측에 형성된 제1 전극;상기 기판의 상면의 타측에 상기 제1 전극과 이격되어 형성된 제2 전극; 및상기 기판의 상면에 형성되고, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 공간을 채우고, 나노 파티클을 포함하는 유전물질층;을 포함하고,상기 기판의 상면에 수직인 방향에서 가해지는 압력에 의해 상기 유전물질층의 유전율이 증가되고, 상기 유전율 증가에 따라 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 형성되는 정전용량 값의 증가를 감지하여 상기 압력의 크기를 센싱하는, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서
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제 1항에 있어서, 상기 유전물질층은 상기 기판의 상면에 컨포말(conformal)하게 형성된, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서
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제 1항에 있어서, 상기 나노 파티클은 금속 물질인, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서
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제 1항에 있어서, 상기 기판의 상면은 돌출부와 오목부를 포함하고,상기 압력이 가해지는 경우, 상기 돌출부의 모서리부에서 응력(stress)이 증가하는, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서
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제 1항에 있어서,상기 제1 전극은 상기 기판 상에 상기 돌기 형상이 계속하여 배열되는 제1 방향 또는 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 연장되어 형성된, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서
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제 6항에 있어서,상기 제2 전극은 상기 기판 상에 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 연장되어 형성된, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서
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제 1항에 있어서,상기 돌기 형상은 응력 집중 구조를 형성하며, 상기 응력 집중 구조를 통해 상기 기판의 상면에서의 빛의 반사를 감소시켜 투과도를 향상시키는, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서
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플렉시블 특성을 가지며 제1 돌기 형상을 갖는 제1 기판을 형성하는 단계;상기 제1 기판 상에 전극 패턴을 패터닝하는 단계; 및상기 제1 기판 및 상기 전극 패턴 상에 패시배이션(passivation) 물질을 도포하는 단계;를 포함하고,상기 제1 기판을 형성하는 단계는, 상기 제1 돌기 형상에 대응되는 제2 돌기 형상이 형성된 제2 기판을 준비하고, 상기 제2 기판 상에 플렉시블 특성을 갖는 물질을 도포하고, 상기 플렉시블 특성을 갖는 물질을 경화시키고 상기 제2 기판을 제거하여 상기 제1 기판을 완성하는 것을 포함하는, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제 9항에 있어서,경화된 상기 패시배이션 물질의 일부를 제거하여, 상기 전극 패턴의 일부를 외부로 노출시키는 단계;를 더 포함하는, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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플렉시블 특성을 가지며 제1 돌기 형상을 갖는 제1 기판을 형성하는 단계;상기 제1 기판 상에 전극 패턴을 패터닝하는 단계; 및상기 제1 기판 및 상기 전극 패턴 상에 패시배이션(passivation) 물질을 도포하는 단계;를 포함하고,상기 제1 기판 상에 상기 전극 패턴을 패터닝하는 단계는, 상기 제1 기판 상에, 상기 전극 패턴 형상이 음각 형성된 감광막 패턴을 형성하는 단계;상기 감광막 패턴 상에 전극 물질을 도포하는 단계; 및상기 감광막 패턴 및 상기 감광막 패턴 상에 형성된 전극 물질을 제거하여 상기 제1 기판 상에 상기 전극 패턴을 완성하는 단계;를 포함하는, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제 12항에 있어서,상기 감광막 패턴 및 상기 감광막 패턴 상에 형성된 전극 물질을 제거하는 단계는, 리프트 오프(lift-off) 공정을 이용하는, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제 9항 또는 제 12항에 있어서,상기 패시배이션 물질은 유전체 물질을 포함하는, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제 14항에 있어서,상기 패시배이션 물질은 나노 파티클(nano particle)을 포함하는, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제 9항 또는 제 12항에 있어서,상기 전극 패턴은 상기 제1 기판 상에 상기 제1 돌기 형상을 따라 컨포말하게 형성된, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제 16항에 있어서,상기 전극 패턴은 빗(comb) 형상을 포함하여 형성된, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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상기 제 1항, 제 2항, 제 4항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 따른 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서가 어레이(array) 형태로 배열된 압력 센서 어레이; 상기 압력 센서 어레이를 전체적으로 덮는 커버부; 및상기 커버부 상에 형성된 범프구조체;를 포함하는 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서를 이용한 다축 촉각 센서
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제 18항에 있어서,상기 압력 센서 어레이는 2×2의 배열을 갖도록 상기 압력 센서가 배치된, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서를 이용한 다축 촉각 센서
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제 18항에 있어서,상기 다축 촉각 센서는 외부압력이 작용하는 제3 방향을 따라 배치된 압력 센서에는 압축력(compressive force)이 가해지고, 상기 제3 방향과 반대 방향인 제4 방향을 따라 배치된 압력 센서에는 인장력(tensile force)이 작용하도록 동작하는, 동일 평면 상의 수평 배치형 전극을 포함하는 압력 센서를 이용한 다축 촉각 센서
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