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전도성을 가지는 전극층;알루미늄(Al)을 포함하도록 형성된 기판층; 및상기 전극층과 상기 기판층 사이에 배치되며, 외부로부터 기계적인 힘이 가해지면 압전 효과에 의해 전류를 발생시킬 수 있는 압전층을 포함하는, 알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자
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제 1 항에 있어서,상기 기판층 및 상기 전극층 사이에 배치되며, 인접한 층과의 접착력을 향상시킬 수 있는 접착층을 더 포함하는, 알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자
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제 1 항에 있어서,상기 기판층 및 상기 압전층 사이에 배치되며, 상기 압전층에서 발생하는 스크리닝 이펙트(Screening Effect)를 억제시킬 수 있는 절연층을 더 포함하는, 알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자
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제 1 항에 있어서,상기 압전층은 산화 아연(ZnO)을 포함하여 형성된, 알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자
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제 2 항에 있어서,상기 접착층은 크롬(Cr)을 포함하여 형성된, 알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자
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제 3 항에 있어서, 상기 절연층은 질화 알루미늄(AlN)을 포함하여 형성된,알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자
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제1 기판층, 제1 압전층 및 제1 전극층을 포함하는 제1 그룹층; 및제2 기판층, 제2 압전층 및 제2 전극층을 포함하고, 상기 제1 그룹층의 일측에 배치되는 제2 그룹층을 포함하고,상기 제1 그룹층은 상기 제1 압전층의 상기 일측에 상기 제1 기판층 및 상기 제1 전극층 중 어느 하나가 배치되고, 상기 제1 압전층의 타측에 상기 제1 기판층 및 상기 제1 전극층 중 다른 하나가 배치되며,상기 제2 그룹층은 상기 제2 압전층의 상기 일측에 상기 제2 기판층 및 상기 제2 전극층 중 어느 하나가 배치되고, 상기 제2 압전층의 상기 타측에 상기 제2 기판층 및 상기 제2 전극층 중 다른 하나가 배치된,알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자
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제 7 항에 있어서,상기 제1 기판층, 상기 제1 압전층 및 상기 제1 전극층이 상기 일 방향을 따라 순차적으로 배치되며,상기 제2 전극층, 상기 제2 압전층 및 상기 제2 기판층이 상기 일 방향을 따라 순차적으로 배치된,알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자
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제 8 항에 있어서,상기 제1 그룹층의 상기 제1 전극층은, 상기 제2 그룹층의 상기 제2 전극층과 접착되며, 접착된 상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층은 금속 페이스트로 형성된,알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자
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제 9 항에 있어서,상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층은 실버 페이스트(Ag paste)로 형성된,알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자
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알루미늄을 포함하는 기판층을 형성할 수 있는 기판층 형성 단계;전도성을 가지는 전극층을 형성할 수 있는 전극층 형성 단계; 및상기 기판층과 상기 전극층 사이에 배치되며, 외부로부터 기계적인 힘이 가해지면 압전 효과에 의해 전류를 발생시킬 수 있는 압전층을 형성할 수 있는 압전층 형성 단계를 포함하는,알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자 제조 방법
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제 11 항에 있어서,인접한 층과의 접착력을 증가시킬 수 있는 접착층을 상기 기판층 상부에 배치시키는 접착층 형성 단계; 및상기 압전층에서 발생하는 스크리닝 효과를 억제시킬 수 있는 절연층을 상기 접착층과 상기 압전층 사이에 배치시키는 절연층 형성 단계를 더 포함하는,알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 압전층, 상기 전극층 및 상기 절연층 중 하나를 상기 기판층, 상기 전극층 및 상기 절연층 중 하나에 적층시킬 때, 스퍼터링 방법을 통하여 적층시키는 스퍼터링 증착 단계를 더 포함하는,알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 기판층, 상기 압전층, 상기 접착층 및 상기 절연층 중 적어도 일부를 어닐링 방법을 통하여 가열하는 포스트 어닐링 단계를 더 포함하는,알루미늄 호일을 이용한 압전 에너지 하베스팅 소자 제조 방법
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