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나노와이어 압전소자의 제조방법에 있어서,오목부가 형성된 나노와이어 어레이 템플릿 상에 자외선 경화수지를 주입하여 상기 오목부에 대응하는 볼록부를 갖는 폴리머 기판을 생성하는 폴리머 기판 생성단계;상기 폴리머 기판을 상기 나노와이어 어레이 템플릿으로부터 분리하는 분리단계;상기 폴리머 기판의 볼록부 상에만 압전 물질이 증착되도록 상기 폴리머 기판을 소정 각도 기울인 상태에서 상기 압전 물질을 증착하는 증착단계; 및상기 압전 물질 상에 전극을 생성하고, 상기 전극을 패터닝하는 패터닝단계; 를 포함하는, 나노와이어 어레이 압전소자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 폴리머 기판 생성단계는,상기 자외선 경화수지 상에 압력수지를 배치시키고, 상기 압력수지 상에서 상기 나노와이어 어레이 템플릿 방향으로 압력을 가하고, 상기 자외선 경화수지를 경화시켜 상기 폴리머 기판을 생성하는 단계인, 나노와이어 어레이 압전소자의 제조방법
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나노와이어 어레이 압전소자의 제조방법에 있어서,오목부가 형성된 나노와이어 어레이 템플릿 상에 전기도금(electroplating)을 하여 상기 오목부에 대응하는 볼록부를 갖는 금속 필름을 생성하는 금속 필름 생성단계;상기 금속 필름을 상기 나노와이어 어레이 템플릿으로부터 분리하는 분리단계;상기 금속 필름 상에 압전 물질을 증착하는 증착단계;상기 압전 물질이 증착된 상기 금속 필름 상에 자외선 경화수지를 주입하여 상기 볼록부에 대응하는 오목부가 형성된 폴리머 기판을 생성하는 폴리머 기판 생성단계; 및상기 금속 필름을 패터닝하는 패터닝단계; 를 포함하는, 나노와이어 어레이 압전소자의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 증착단계는,상기 볼록부 상에만 상기 압전 물질이 증착되도록 상기 금속 필름을 소정 각도 기울인 상태에서 상기 압전 물질을 증착하는 단계인, 나노와이어 어레이 압전소자의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 금속 필름 생성 단계이전에는,상기 나노와이어 어레이 템플릿의 볼록부 상에만 시드(seed)가 증착되도록 상기 나노와이어 어레이 템플릿을 소정 각도 기울인 상태에서 상기 시드를 증착하는 시드 증착단계; 를 더 포함하는, 나노와이어 어레이 압전소자의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 폴리머 기판 생성단계는,상기 자외선 경화수지 상에 압력수지를 배치시키고, 상기 압력수지 상에서 상기 금속 필름 방향으로 압력을 가하고, 상기 자외선 경화수지를 경화시켜 상기 폴리머 기판을 생성하는 단계인, 나노와이어 어레이 압전소자의 제조방법
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제4항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 증착단계와 상기 폴리머 기판 생성단계 사이에는,상기 압전 물질이 티탄산바륨(BaTiO3), 티탄산 지르콘산 연(PZT, lead zirconate titanate) 및 페로브스카이트(perovskite) 계열 중 적어도 하나를 포함하는 경우, 상기 금속 필름을 어닐링(annealing)하는 어닐링 단계; 를 더 포함하는, 나노와이어 어레이 압전소자의 제조방법
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