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압전 나노 자가발전 소자 및 그 제조 방법(DEVICE AND FABRICATION METHOD OF PIEZOELECTRIC NANOGENERATORS)

  • 기술번호 : KST2016017638
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 압전 나노 자가발전 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 개시된 압전 나노 자가발전 소자는 기판 상에 형성된 제 1 전극과, 제 1 전극의 상부에 형성된 제 2 전극과, 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 형성된 압전물질 나노 구조층 및 질소 화합물층을 포함한다. 압전물질 나노 구조층과 함께 질소 화합물층을 전극 사이에 형성함으로써, 전극에 대한 보다 신뢰성 있는 전위 장벽을 형성하여 내부로의 누설 전류의 흐름을 억제할 수 있으며, 전극에서의 전하의 누적을 향상시키고, 압전물질 나노 구조층과 질소 화합물층의 연속된 에피성장시 압전물질의 결정성 및 압전성 향상에 기여하여 결과적으로 향상된 압전 출력을 제공하는 이점이 있다.
Int. CL H01L 41/18 (2006.01) H01L 41/113 (2006.01) H01L 41/02 (2006.01) H01L 41/22 (2006.01)
CPC H02N 2/18(2013.01) H02N 2/18(2013.01) H02N 2/18(2013.01) H02N 2/18(2013.01)
출원번호/일자 1020150045284 (2015.03.31)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0117793 (2016.10.11) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.03.31)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤기완 대한민국 대전광역시 유성구
2 이은주 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 제일특허법인(유) 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2015-0315586-42
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.12.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0010250-57
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0082550-92
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0292612-03
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0390932-74
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2016-0522397-54
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0641255-93
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.07.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0641267-30
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0862533-00
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2017.01.02 수리 (Accepted) 7-1-2017-0000008-40
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.01.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0100274-06
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0100273-50
14 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0132203-16
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
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압전 나노 자가발전 소자의 제조 방법으로서,기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계와,상기 제 1 전극의 상부에 압전 구조체를 형성하는 단계와,상기 압전 구조체의 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하며,상기 압전 구조체를 형성하는 단계는, 복수의 압전물질 나노 구조층 사이에 질소 화합물층을 포함하는 상기 압전 구조체를 이종 접합의 연속된 에피 성장을 통해 형성하고,상기 압전물질 나노 구조층과 상기 질소 화합물층의 상대적인 두께 비율 또는/및 상대적인 위치의 변경에 따라, 외부 자극이 가해진 경우의 출력 전압 또는 출력 파형 형태를 조절 가능하며,상기 질소 화합물층은 상기 압전 나노 자가발전 소자에 기계적 자극이 가해지면 전위 장벽을 형성하는압전 나노 자가발전 소자의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 질소 화합물층은 상기 압전물질 나노 구조층보다 더 넓은 밴드갭을 가지고 절대값이 더 작은 전자친화도를 가지는 것을 특징으로 하는 압전 나노 자가발전 소자의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 질소 화합물층은 질화알루미늄을 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 압전 나노 자가발전 소자의 제조 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업/일반연구자지원사업/기본연구지원사업 압전체 나노 구조체 및 이를 이용한 고효율 마이크로 에너지 하베스팅 소자