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전자파 차폐필터의 제조방법에 있어서:
절연되는 투명재질을 가지며, 상부면에 일정깊이 및 일정폭으로 메쉬(mesh) 구조의 리세스(recess)가 형성된 베이스 기판을 형성하는 단계와;
상기 베이스 기판의 상부면에 제1도전물질을 증착하여 제1도전막을 형성하는 단계와;
상기 베이스 기판을 일정각도로 기울인 상태에서 회전상태로 드라이 에칭공정을 실시하여, 상기 리세스의 바닥면과 측면 일부 또는 상기 리세스의 바닥면을 제외한 나머지 부분의 상기 제1도전막을 제거하는 단계와;
상기 리세스의 바닥면에 남아있는 상기 제1도전막을 시드층(seed layer)으로 하여, 제2도전물질이 상기 리세스의 내부를 채우도록 전기도금공정을 수행하는 단계를 구비함을 특징으로 하는 전자파 차폐필터의 제조방법
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청구항 1에 있어서,
상기 베이스 기판은 폴리머(polymer) 재질을 가짐을 특징으로 하는 전자파 차폐필터의 제조방법
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청구항 1에 있어서
상기 제1도전물질 또는 상기 제2도전물질은 구리(Cu) 및 니켈(Ni)로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나의 도전물질임을 특징으로 하는 전자파 차폐필터의 제조방법
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청구항 3에 있어서,
상기 제1도전물질 및 상기 제2도전물질은 동일한 도전물질임을 특징으로 하는 전자파 차폐필터의 제조방법
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청구항 4에 있어서,
상기 제1도전막은 상기 제1도전물질을 스퍼터링하여 증착함으로써 형성됨을 특징으로 하는 전자파 차폐필터의 제조방법
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청구항 1에 있어서,
상기 드라이 에칭공정은 아르곤(Ar) 이온을 이용한 이온(ion) 에칭 공정임을 특징으로 하는 전자파 차폐필터의 제조방법
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청구항 6에 있어서,
상기 드라이 에칭공정 단계에서의 상기 베이스 기판의 기울기는, 상기 리세스의 종횡비(aspect ratio)를 바탕으로 하여 결정됨을 특징으로 하는 전자파 차폐필터의 제조방법
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청구항 7에 있어서,
상기 베이스 기판의 기울기는 바닥면을 기준으로 5∼45도의 기울기임을 특징으로 하는 전자파 차폐필터의 제조방법
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청구항 1에 있어서,
상기 베이스 기판은 임프린트(imprint) 공정을 통해 형성됨을 특징으로 하는 전자파 차폐필터의 제조방법
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청구항 9에 있어서, 상기 베이스 기판을 형성하는 단계는,
메쉬 패턴이 상부면에 돌출된 형태의 마스터(master) 기판을 형성하는 단계와;
상기 마스터 기판상의 한쪽 가장자리에 일정형태의 레진(resin) 덩어리를 놓은 상태에서, 롤러를 이용하여 다른쪽 가장자리 방향으로 롤링함에 의해 상기 메쉬 패턴부분에 대응하는 부위에 메쉬 형태의 리세스가 형성되도록 하여 상기 베이스 기판을 형성하는 단계와;
상기 마스터 기판과 상기 베이스 기판을 분리하는 단계를 구비함을 특징으로 하는 전자파 차폐필터의 제조방법
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청구항 9에 있어서, 상기 베이스 기판을 형성하는 단계는,
메쉬 패턴이 상부면에 돌출된 형태의 마스터(master) 기판을 형성하는 단계와;
상기 마스터 기판상에 상기 마스터 기판 상부 전체를 덮는 형태로 일정두께를 가지는 레진막을 위치시키고, 상기 레진막의 상부를 롤링(rolling) 및 프레싱(pressing)하여, 상기 레진막의 상기 메쉬 패턴부분에 대응하는 부위에 메쉬 형태의 리세스가 형성되도록 하여 상기 베이스 기판을 형성하는 단계와;
상기 마스터 기판과 상기 베이스 기판을 분리하는 단계를 구비함을 특징으로 하는 전자파 차폐필터의 제조방법
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전자파 차폐필터에 있어서:
절연되는 투명재질을 가지며, 상부면에 일정깊이 및 일정폭으로 메쉬(mesh) 구조의 리세스(recess)가 형성된 베이스 기판과;
상기 리세스의 바닥면과 측면 일부 또는 상기 리세스의 바닥면에 증착된 제1도전막과;
상기 제1도전막과 함께 상기 리세스의 내부에 채워진 형태의 제2도전막을 구비함을 특징으로 하는 전자파 차폐필터
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청구항 12에 있어서,
상기 베이스 기판은 폴리머(polymer) 재질을 가짐을 특징으로 하는 전자파 차폐필터
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청구항 12에 있어서
상기 제1도전막 또는 상기 제2도전막은 구리(Cu) 및 니켈(Ni)로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나의 도전물질로 구성됨을 특징으로 하는 전자파 차폐필터
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청구항 14에 있어서,
상기 제1도전막 및 상기 제2도전막은 동일한 재질임을 특징으로 하는 전자파 차폐필터
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